NL1028723C2

NL1028723C2 - Differentiele interferometers welke gewenste bundelpatronen verschaffen.

Info

Publication number: NL1028723C2
Application number: NL1028723A
Authority: NL
Inventors: Kevin Richard Fine; Greg Charles Felix; John Joseph Bockman; Douglas Peter Woolverton
Original assignee: Agilent Technologies Inc
Priority date: 2004-07-28
Filing date: 2005-04-08
Publication date: 2007-03-27
Also published as: NL1028723A1; JP2006038869A; US7212290B2; CN1727837A; DE102005017306A1; US20060039005A1

Description

Korte aanduiding: Differentiële interferometers welke gewenste bundel patronen verschaffen.

BESCHRIJVING

5 In sommige differentiële interferometertoepassingen is het gewenst een gealligneerd bundel patroon te hebben welke bestaat uit twee referentiebundeldoorgangen tussen twee meetbundeldoorgangen (of vice versa) of een tweedimensionaal bundel patroon bestaande uit linksboven en rechtsonder meetbundeldoorgangen en rechtsboven en linksonder referentielij bundel doorgangen (of vice versa). Amerikaans octrooi nr. 4,693,605 ("Sommargren") openbaart een wijze van het vervaardigen van een differentiaal interferometersysteem met behulp van een afschuifplaat en een gescheiden polarisatiebundelsplitssamenstelling (PBS) voor het verkrijgen van het gewenste tweedimensionale bundel patroon. In 15 Sommargren, worden halflambdaplaten in gevoegd tussen de afschuifplaat en de polariserende bundelsplitser voor een geschikte werking. Dit is een gecompliceerde en kostbare wijze van het voortbrengen van een gewenst metings- en referentiebundelpatroon. Wat derhalve nodig is, is een eenvoudiger interferometersysteem welke de separate polariserende 20 bundelsplitsersamenstelling elimineert, terwijl het het gewenste bundel-splitspatroon realiseert met minimaal gebruik van glas.

i

Samenvatting van de uitvinding In een uitvoeringsvorm van de uitvinding omvat een 25 interferometersysteem een eerste optische stapeling en tweede optische stapeling welke daarop bevestigd is. De eerste optische stapeling omvat een eerste prisma omvattende een hoeks vlak (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden) bevestigd op een hoeks vlak (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden) van een tweede prisma. Het grensvlak tussen deze hoekse 30 vlakken omvat een eerste polariserende bundelsplitser. De tweede optische stapeling omvat een derde prisma met een hoeks vlak (bijvoorbeeld onder 1028723 2 een hoek van 45 graden) bevestigd op een hoeks vlak (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden) van het vierde prisma. Het grensvlak tussen deze hoekse vlakken omvat een tweede polariserende bundelsplitser. De hoekse vlakken van de eerste prisma en de tweede prisma zijn uitgelijnd met de 5 hoekse vlakken van het vierde prisma. Eerste, tweede, derde en vierde lambdaplaatelementen bevinden zich in bundel paden tussen de romboïde samenstelling en ten minste één van een metingsoptiek en een referentie-optiek. Een richtingswijzigingsoptiek bevindt zich ten minste aangrenzend aan de verticale vlakken van de eerste en de derde prisma's.

10 Korte omschrijving van de tekeningen

Figuren 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8A, 8B, 8C, 9A, 9B en 9C tonen interferometersystemen in uitvoeringsvormen van de uitvinding.

Het gebruik van gelijke verwijzingscijfers in verschillende figuren geeft gelijke of identieke elementen aan.

15 Gedetailleerde beschrijving

Overeenkomstig de uitvoeringsvormen van de uitvinding verschaffen differentiaal interferometersystemen de functies van de afschuifplaat en de polariserende bundelsplitser (PBS) met een romboïde samentelling of een afschuifplaatsamenstelling, zodat de grote vierkante 20 polariserende bundelsplitsers en de bijbehorende grote kubusachtige hoekretroreflexie-elementen welke gewoonlijk te vinden zijn in conventionele interferometersystemen overbodig worden. Deze systemen verschaffen de gewenst bundel patronen met minimaal gebruik van glas. Voorts zijn deze systemen inherent kleiner en kunnen ze dicht bij elkaar 25 geplaatst worden en worden opgestapeld voor multi-asmetingen.

Overeenkomstig worden kleinere, lichtere en minder kostbare i nterferometersystemen verschaft.

Figuur 1 toont een differentiaal interferometersysteem 100 in een uitvoeringsvorm van de uitvinding. Interferometersysteem 100 30 omvat een romboïde samenstelling met een bovenste optische stapeling bevestigd bovenop een onderste optische stapeling. De onderste optische _1028723 3 i stapeling omvat een prisma 102 en een prisma 104. Prisma 102 omvat een verticaal vlak 102A, een horizontaal vlak 102B en een hoeks vlak 102C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden). Prisma 104 heeft een hoeks vlak 104A (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), een hoeks vlak 5 104B, een hoeks vlak 104C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden) en een horizontaal vlak 104D. Een optisch raam 115A met antireflectiedeklaag (AR, verder te noemen "AR-raam") is bevestigd aan horizontaal vlak 104D om te dienen als ingangspoort voor een binnenkomende bundel 105A. Merk op dat hoeks vlak 1014C dient als volledige interne reflectiespi egel (VIR). 10 Prisma 102 is geplaatst op prisma 104 door het fixeren (bijvoorbeeld lijmen) van hoeks vlak 102C op hoeks vlak 104A. Polariserende bundelsplitser 106 (PBS) wordt vervormd op het grensvlak tussen de prisma's 102 en 104. In een uitvoeringsvorm is polariserende bundelsplitser 106 een polariserende bundel splitsende deklaag gevormd op 15 ofwel hoeks vlak 102C of 104A.

De bovenste optische stapeling omvat een prisma 112 en een prisma 114. Prisma 112 heeft een verticaal vlak 112A, een horizontaal vlak 112B, een hoeks vlak 112C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), en een horizontaal vlak 112D. Prisma 114 heeft een hoeks vlak 20 114A (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), een horizontaal vlak 114B, een hoeks vlak 114C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), en een horizontaal vlak 114D. Een antireflectieraam 115B is bevestigd op horizontaal vlak 114D om te dienen als uitgangspoort voor een uitgaande bundel 105B. Merk op de hoeks vlak 114C dient als een volledige interne 25 reflectiespiegel (VIR).

Prisma 112 is bevestigd op prisma 114 door het fixeren van hoeks vlak 112A aan hoeks vlak 114A. Een polariserende bundelsplitser 116 is gevormd op het grensvlak tussen prisma's 112 en 114. In een uitvoeringsvorm is polariserende bundelsplitser 116 een polariserende 30 bundel splitsende deklaag gevormd op ofwel hoeks vlak 112C of 114A. Polariserende bundelsplitser 116 en 106 verschaffen isolatie en _1 0 2 R 7 2 3 4 recombinatie van het pad door het doen voortplanten van een lineaire polarisatie (bijvoorbeeld verticale polarisatie) en het reflecteren van een verdere orthogonale lineaire polarisatie (bijvoorbeeld horizontale polarisatie). Merk op dat hoeks vlak 112C zich in lijn bevindt met hoeks 5 vlak 104C.

De bovenste optische stapeling is bevestigd bovenop de onderste optische stapeling middels het fixeren van horizontaalvlak 112D met horizontale vlakken 102B en 104B.

Kwartlambdaplaatelementen 122, 124 en 126 zijn rechtstreeks 10 bovenop of indirect boven horizontaal vlak 112B bevestigd tegenover respectievelijk polariserende bundelsplitser 106, spiegel 104C en polariserende bundelsplitser 116. Een kwartlambdaplaat (KGP) element 128 is direct bovenop of indirect boven horizontaal vlak 114B bevestigd tegenover spiegel 114C. Een kwartlambdaplaat 130 is direct op of indirect 15 aangrenzend aan verticale vlakken 102A en 112A bevestigd. Een richtingswijzigingsoptiek 132 (bijvoorbeeld een reteroreflectie-elemenent van het kubushoektype) is met zijn ingangs-, uitgangsvlak direct bevestigd op of indirect bevestigd aangrenzend aan kwartlambdaplaat 130. Hoewel individueel getoond kunnen kwartlambdaplaatelementen 122, 124, 126 20 en 128 individuele kwartlambdaplaten zijn of delen van een enkele kwartlambdaplaat.

Het pad door interferometer 100 wordt hierna beschreven. Een laserbron (niet getoond) verschaft een coherente, gecollimeerde ingangsbundel 105A aan ingangspoort 115A. Ingangsbundel 105A bestaat uit 25 twee orthogonaal gepolariseerde frequentiecomponenten. Een frequentiecomponent fA (bijvoorbeeld een lineair gepolariseerde meetbundel welk initieel een horizontale polarisatie omvat en als dikke stippellijn wordt getoond) treedt het meetpad van het systeem binnen terwijl de andere frequentie component fB (bijvoorbeeld een lineair 30 gepolariseerde referentiebundel welk initieel een verticale polarisatie heeft en wordt getoond als doorlopende dunne lijn) treedt het 1028723 5 referentiepad van het systeem binnen.

In het meetpad plant ingangsbundel 105 zich voort door ingangspoort 115 en valt op polariserende bundelsplitser 106. De meetbundel plant zich voort door polariserende bundelsplitser 106 terwijl 5 de referentiebundel wordt gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 106, waarbij de initiële polarisaties behoudend blijven. De meetbundel plant zich vervolgens voort door kwartlambdaplaat 122 en op een vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142, welke gewoonlijk bevestigd is op een mobiele trap, reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf en door 10 kwartlambdaplaat 122. Aangezien de meetbundel de kwartlambdaplaat 122 twee keer passeert is de teruggaande polarisatie 90 graden geroteerd en de thans verticaal gepolariseerde meetbundel wordt orthogonaal gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 106 door kwartlambdaplaat 130 en in retroreflectie-element 132.

15 Retroreflectie-element 132 retourneert de meetbundel in een verschoven maar evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 130. Aangezien de meetbundel twee keer door kwartlambdaplaat 130 gaat is de terugkomende polarisatie 90 graden geroteerd en plant de thans horizontale gepolariseerde meetbundel zich door polariserende bundelsplitser 116 20 voort en valt op spiegel 114C. Spiegel 114C reflecteert de meetbundel orthogonaal door kwartlambdaplaat 128 en op vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf en de meetbundel volgt zijn spoor terug naar polariserende bundelsplitser 116. Na twee keer door kwartlambdaplaat 128 zijn getreden reflecteert de 25 nu verticaal gepolariseerde meetbundel vanaf polariserende bundelsplitser 116, zodat het zich voortplant door uitgangspoort 115 B en in een (niet getoonde) detector.

In het referentiepad reflecteert polariserende bundelsplitser 106 de referentiebundel orthogonaal in de richting van 30 spiegel 104C. Spiegel 104C reflecteert de referentiebundel orthogonaal door kwartlambdaplaat 124 en op een stationaire vlakke referentiespi egel 102872¾ 6 144. Vlakke referentiespi egel '144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf en de referentiebundel volgt zijn spoor terug naar polariserende bundelsplitser 116. Nadat het twee keer kwartlambdaplaat 124 gepasseerd is plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel 5 zich voort door polariserende bundelsplitser 106 en kwartlambdaplaat 130 in retroreflectie-element 132.

Retroreflectie-element 132 retourneert de referentiebundel in een verschoven maar evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 130. Nadat het kwartlambdaplaat 130 twee keer gepasseerd is reflecteert de nu 10 verticaal gepolariseerde referentiebundel vanuit polariserende bundel splitser 116 zodanig dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 126 en op vlakke referentiespi egel 144. Vlakke referentiespi egel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 126 en terug naar polariserende bundel splitser 116. 15 Nadat het twee keer kwartlambdaplaat 126 gepasseerd is plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort door polariserende bundelsplitser 116 en recombineert met de meetbundel ten einde de uitgangsbundel 105B te vormen. Uitgangsbundel 105B plant zich vervolgens voort door uitgangspoort 115B en in de detector. De detector kan de 20 faseveranderingen detecteren voor het bepalen van een verandering in de verplaatsing van vlakke meetspiegel 142.

Zoals hierboven beschreven verschaft interferometer 100 een bundel patroon waarin twee doorgangen van een referentiebundel worden 'gesandwiched' tussen twee doorgangen van een meetbundel. Natuurlijk 25 kunnen de richtingen van de meet- en referentiepaden worden omgedraaid zodat de ingangsbundel 105A poort 115B binnentreed en de uitgangsbundel 105B poort 115A uittreedt. Voorts kunnen de meet- en referentiepaden met elkaar worden verwisseld zodanig dat de twee doorgangen van de meetbundel worden 'gesandwiched' tussen de twee doorgangen van de referentiebundel. 30 In een uitvoeringsvorm wordt kwartlambdaplaat 130 vervangen door een halflambdaplaat (HGP) welke direct is bevestigd op of indirect 1028723 7 is bevestigd aangrenzend aan ofwel verticaal vlak 102A of 112A voor het voortbrengen van hetzelfde bundel patroon. In een andere uitvoeringsvorm wordt kwartlambdaplaat 130 in zijn geheel verwijderd voor het voortbrengen van een ander bundel patroon bestaande uit een eerste 5 meetbundel doorgang, een eerste referentiebundeldoorgang, een tweede meetbundeldoorgang en een tweede referentiebundeldoorgang.

Figuur 2 toont een differentiaal interferometersysteem 200 in een uitvoeringsvorm van de uitvinding. Interferometersysteem 200 omvat een romboïde samenstelling omvattende een optische stapeling bestaande 10 uit prisma's 202, 204 en 206. Prisma 202 heeft een verticaal vlak 202A, een horizontaal vlak 202B en een hoeks vlak 202C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden). Prisma 204 heeft een hoeks vlak 204A (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), een horizontaal vlak 204B, een hoeks vlak 204C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden) en een horizontaal vlak 15 204D. Prisma 206 heeft een hoeks vlak 206A (bijvoorbeeld onder een hoek

van 45 graden), een horizontaal vlak 206B, een hoeks vlak 206C

(bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), en een horizontaal vlak 206D. Merk op dat hoeks vlak 206C als volledige interne reflectiespi egel (VIR) dient.

20 Prisma 202 is bevestigd op prisma 204 door het fixeren (bijvoorbeeld lijmen) van hoeks vlak 202C met hoeks vlak 204A. Een polariserende bundelsplitser 208 wordt gevormd in de onderste helft van het grensvlak tussen prisma's 202 en 204. In een uitvoeringsvorm is polariserende bundelsplitser 208 een polariserende bundelsplitsende 25 deklaag gevormd op ofwel een vlak 202C of 204A.

Prisma 204 is bevestigd op prisma 206 door het fixeren van hoeks vlak 204C met hoeks vlak 206A. Een polariserende bundelsplitser 210 wordt gevormd in de bovenste helft van het grensvlak tussen de prisma 204 en 206, en een spiegel 212 wordt gevormd in de onderste helft van het 30 grensvlak tussen de prisma's 204 em 206. In een uitvoeringsvorm is polariserende bundelsplitser 210 een polariserende bundelsplitsende 1028723 8 deklaag gevormd op ofwel vlak 204C of 206A, en spiegel 212 is een sterk of hoog reflectieve (HR) deklaag gevormd op ofwel vlak 204C of vlak 206A. Polariserende bundelsplitsers 210 en 208 verschaffen isolatie en recombinatie van paden door het doen voortplanten van een lineair 5 polarisatie (bijvoorbeeld verticale polarisatie) en het reflecteren van een andere orthogonale lineaire polarisatie (bijvoorbeeld horizontale polarisatie).

Een anti reflectie-(AR)-raam 215 is bevestigd op horizontale vlakken 204D en 206D ten einde te dienen als ingangs-/uitgangspoort voor 10 ingangs-/uitgangsbundels 105A en 105B.

Kwartlambdaplaatelementen 214 en 216 zijn direct bevestigd bovenop of indirect bevestigd boven horizontaal vlak 202B tegenover respectievelijk polariserende bundelsplitser 208 en spiegel 212. Een kwartlambdaplaat 218 is direct bevestigd bovenop of indirect boven 15 horizontaal vlak 204B tegenover polariserende bundelsplitser 210. Een kwartlambdaplaat 220 is direct bevestigd bovenop of indirect bevestigd boven horizontaal vlak 206B tegenover een bovenste deel van spiegel 206C. Hoewel individueel getoond, kunnen kwartlambdaplaatelementen 214, 216, 218 en 220 onderdeel uitmaken van een enkele kwartlambdaplaat bevestigd 20 op of boven de optische stapeling. Een halflambdaplaat 222 is direct geplaatst op of indirect geplaatst aangrenzend aan het bovenste gedeelte van de verticaal vlak 222A. In het alternatieve geval kan halflambdaplaat 222 worden vervangen door een kwartlambdaplaat welke het gehele verticale vlak 222A bedekt. Een richtingswijzigingsoptiek 224 (bijvoorbeeld een 25 retroreflectie-element van het hoekse kubustype) is met zijn ingangs-/uitgangsvlak direct geplaatst op of indirect geplaatste aangrenzend aan halflambdaplaat 222.

In het meetpad plant ingaande bundel 105A zich voort door antireflectieraam 215 en valt op polariserende bundelsplitser 208. De 30 meetbundel plant zich voort door polariserende bundelsplitser 208 terwijl de referentiebundel wordt gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 1028723 9 208, waarbij een initiële polarisatie behoudend blijven. De meetbundel plant zich vervolgens voort door kwartlambdaplaat 214 en op vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 214 en terug naar polariserende 5 bundels 208. Nadat het kwartlambdaplaat 214 twee keer gepasseerd is reflecteert de nu verticaal gepolariseerde meetbundel orthogonaal vanuit polariserende bundelsplitser 208 en plant zich voort in retroreflectie-element 224.

Retroreflectie-element 224 retourneert de meetbundel in een 10 verschoven maar evenwijdig pad door halflambdaplaat 222. Aangezien de meetbundel door halflambdaplaat 222 gaat, is zijn polarisatie 90 graden gedraaid en plant de nu horizontaal gepolariseerde meetbundel zich voort door polariserende bundelsplitser 210. De meetbundel plant zich vervolgens voort door een bovenste gedeelte van spiegel 206C. Spiegel 15 206C reflecteert de meetbundel orthogonaal door kwartlambdaplaat 220 en op vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf en de meetbundel volgt zijn spoor terug naar polariserende bundelsplUser 210. Nadat het twee keer kwartlambdaplaat 220 gepasseerd is reflecteert de nu verticaal 20 gepolariseerde meetbundel orthogonaal vanuit polariserende bundelsplitser 210 en plant zich voort naar een lager gedeelte van spiegel 206C. Spiegel 206C reflecteert de meetbundel orthogonaal op spiegel 212, welke de meetbundel orthogonaal reflecteert door antireflectieraam 215 en in een detector.

25 In het referentiepad reflecteert polariserende bundelsplitser 208 de referent!ebundel orthogonaal naar spiegel 212. Spiegel 212 reflecteert de referent!ebundel orthogonaal door kwartlambdaplaat 216 en op vlakke referentiespi egel 144. Vlakke referentiespi egel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar 30 zichzelf» door kwartlambdaplaat 216 en terug naar spiegel 212. Spiegel 212 reflecteert de referentiebundel orthogonaal terug naar polariserende 1 028723 10 bundelsplUser 208. Nadat het twee keer kwartlambdaplaat 216 gepasseerd is plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort door polariserende bundelsplitser 208 in retroreflectie-element 224.

Retroreflectie-element 224 retourneert de referentiebundel 5 in een verschoven maar evenwijdig pad door halflambdaplaat 222. Nadat het halflambdaplaat 222 gepasseerd is reflecteert polariserende bundelsplitser 210 de nu verticaal gepolariseerde referentiebundel zodanig dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 218 en op vlakke referentiespi egel 144 valt. Vlakke referentiespi egel 144 reflecteert de 10 referentiebundel terug naar zichzelf door kwartlambdaplaat 218 en terug naar polariserende bundelsplitser 210. Nadat het twee keer kwartlambdaplaat 218 gepasseerd is plant de nieuwe horizontaal gepolariseerde referentiebundels zich voort door polariserende bundelsplitser 210 en recombineert met de meetbundel voor het vormen van 15 een uitgaande of uitgangsbundel 105B. Spiegel 206C reflecteert uitgaande bundel 105B orthogonaal op spiegel 212, welke uitgaande bundel 105B orthogonaal reflecteert door antireflectieraam 215 en in de detector.

Zoals hierboven beschreven, verschaft interferometer 200 een bundel patroon waarin twee referentiebundeldoorgangen worden 20 'gesandwiched' tussen twee meetbundeldoorgangen. Natuurlijk kunnen de richtingen van de meet- en referentiepaden worden omgedraaid en kunnen de meet- en referentiepaden worden verwisseld. In een andere uitvoeringsvorm wordt halflambdaplaat 222 vervangen door een kwartlambdaplaat welke direct is bevestigd aan of indirect bevestigd is aangrenzend aan het 25 volledige verticale vlak 202A voor het voortbrengen van het zelfde bundel patroon. In een andere uitvoeringsvorm wordt halflambdaplaat 222 in zijn geheel verwijderd voor het verschaffen van een ander bundel patroon bestaande uit een eerste meetbundeldoorgang, een eerste referentiebundeldoorgang, een tweede meetbundeldoorgang en een tweede 30 referentie bundel doorgang.

Figuur 3 toont een differentiaal interferometersysteem 300 1028723, 11 in een uitvoeringsvorm van de uitvinding. Interferometersysteem 300 is soortgelijk aan interferometersysteem 200 (figuur 2) met uitzondering van prisma 206 welke is vervangen door een korter prisma 306 zodat een lager gedeelte van hoeks vlak 204C wordt blootgesteld aan een verder medium 5 (bijvoorbeeld lucht). Het lagere gedeelte van hoeks vlak 204C dient derhalve als een volledige interne reflectiespi egel (VIR). Merk op dat een hoeks vlak 306C van prisma 306 dient als volledige interne reflectie-spiegel. Verder is een antireflectieraam 315A bevestigd aan horizontaal vlak 204D om te dienen als ingangspoort voor ingangsbundel 105A, en een 10 antireflectieraam 315 is bevestigd aan horizontaal vlak 306D om te dienen als uitgangspoort voor uitgaande bundel 105B.

In het meetpad plant ingaande bundel 105A zich door ingangspoort 315A en valt op polariserende bundelsplUser 208. De meetbundel plant zich voort door polariserende bundelsplitser 208 terwijl 15 de referentiebundel door polariserende bundelsplitser 208 gereflecteerd wordt, waarbij de initiële polarisaties behouden blijven. De meetbundel plant zich vervolgens voort door kwartlambdaplaat 214 en op vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug i naar zichzelf door kwartlambdaplaat 214 en terug naar polariserende 20 bundelsplitser 208. Nadat het kwartlambdaplaat 214 twee keer gepasseerd is wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel orthogonaal gereflecteerd door polariserende bundel splitser 208 en plant zich voort in retroreflectie-element 224.

Retroreflectie-element 224 retourneert de meetbundel in een 25 verschoven maar evenwijdig pad door halflambdaplaat 222. Nadat het door halflambdaplaat 222 is doorgelaten plant de nu horizontaal gepolariseerde meetbundel zich voort door polariserende bundelsplitser 210 en op spiegel 306C. Spiegel 306C reflecteert de meetbundel orthogonaal door kwartlambdaplaat 220 en op vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 30 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 220 en terug naar spiegel 306C. Spiegel 306C reflecteert de meetbundel 1028723 12 vervolgens orthogonaal naar polariserende bundelsplitser 210. Nadat het kwartlambdaplaat 220 twee keer gepasseerd is, wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel orthogonaal gereflecteerd door polariserende bundelsplUser 210 zodanig dat het zich voortplant naar uitgangspoort 5 315B en in een detector.

In het referentiepad reflecteert polariserende bundelsplitser 208 de referentiebundel naar spiegel 204C. Spiegel 204C reflecteert de referentiebundel door kwartlambdaplaat 216 en op vlakke referentiespi egel 144. Vlakke referentiespiegel 144 reflecteert de 10 referentiebundel terug naar zichzelf door kwartlambdaplaat 216 en terug naar spiegel 204C. Spiegel 204C reflecteert de referentiebundel orthogonaal terug naar polariserende bundelsplitser 208. Nadat het twee keer door kwartlambdaplaat 216 is doorgelaten, plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort door polariserende i 15 bundelsplitser 208 en in retroreflectie-element 224. !

Retroreflectie-element 224 retourneert de referentiebundel i in een verschoven maar evenwijdig pad door halflambdaplaat 222. Nadat het j door halflambdaplaat 222 is doorgelaten, wordt de nu verticaal gepolariseerde referentiebundel gereflecteerd door polariserende 20 bundelsplitser 210 zodanig dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 218 en op vlakke referentiespi egel 144. Vlakke referentiespi egel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 218 en terug naar polariserende bundelsplitser 210.

Nadat het twee keer kwartlambdaplaat 218 gepasseerd is, plant de nu 25 horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort door polariserende bundelsplitser 210 en recombineert met de meetbundel voor het vormen van een uitgaande bundel 105B. Uitgaande bundel 105B plant zich vervolgens voort door uitgangspoort 315B en in de detector.

Zoals hierboven beschreven verschaft interferometersysteem 30 300 een bundel patroon waarin twee referentiebundeldoorgangen worden 'gesandwiched' tussen twee meetbundeldoorgangen. Natuurlijk kunnen de 1028723 13 richting van de meet- en referentiepaden worden omgedraaid en kan het meetpad met het referentiepad worden verwisseld. Zoals in interferometersysteem 200 kan halflambdaplaat 222 worden vervangen door een kwartlambdaplaat voor het voortbrengen van eenzelfde bundel patroon of 5 kan deze in zijn geheel worden verwijderd voor het voortbrengen van een verschillend bundel patroon bestaande uit een eerste meetbundeldoorgang, een eerste referentiebundeldoorgang, een tweede meetbundeldoorgang en een tweede referentiebundeldoorgang.

Figuur 4 toont een differentiaal interferometersysteem 400 10 in een uitvoeringsvorm van de uitvinding. Interferometersysteem 400 omvat een afschuifplaat 402 omvattende evenwijdige vlakken 404 en 414. Vlak 404 omvat een ingangspoort 406, een spiegel 407 welke aangrenzend is gelegen aan ingangspoort 406, een uitgangspoort 408 welke aangrenzend is gelegen aan spiegel 407 en een spiegel 409 welke aangrenzend is gelegen aan 15 uitgangspoort 408. Ingangspoort 406 en uitgangspoort 408 kunnen bestaan uit antireflectiedeklagen of antireflectieramen op vlak 404. Spiegels 407 en 409 kunnen bestaan uit hoogreflectieve deklagen of uit spiegel optica op vlak 404.

Vlak 414 omvat een polariserende bundelsplitser 416, een 20 tussenliggende poort 417 aangrenzend aan de polariserende bundelsplitser 416, een polariserende bundelsplitser 418 aangrenzend aan de tussenliggende poort 417 en een tussenliggende poort 419 aangrenzend aan polariserende bundel splitser 418. Polariserende bundelsplitsers 416 en 418 verschaffen isolatie en recombinatie van het pad door het doen 25 voortplanten van één lineaire polarisatie (bijvoorbeeld verticale polarisatie) en het reflecteren van een verdere orthogonale lineaire polarisatie (bijvoorbeeld horizontale polarisatie). Polariserende bundelsplitser 416 bevindt zich (1) tegenover ingangspoort 406 in een bundelpad dat evenwijdig is aan een richting A en (2) tegenover spiegel 30 407 in een bundelpad dat evenwijdig is aan richting B. Richtingen A en B

zijn in het uiterste geval afhankelijk van de hoek van afschuifplaat 402 1 Ö28723 14 relatief ten opzichte van invallende bundel 105A. Tussenliggende poort 417 bevindt zich tegenover spiegel 407 in een bundel pad evenwijdig aan richting A. Polariserende bundelsplitser 418 bevindt zich (1) tegenover uitgangspoort 408 in een bundelpad dat evenwijdig is aan richting A en 5 (2) tegenover spiegel 409 in een bundelpad dat evenwijdig is aan richting B. Tussenliggende poort 419 bevindt zich tegenover spiegel 409 in een bundel evenwijdig aan richting A. Polariserende bundelsplitser 416 en 418 kan bestaan uit een polariserende bundel splitsende deklaag of polariserende bundel splitsende optica op vlak 414. Tussenliggende poorten 10 417 en 419 kunnen bestaan uit antireflectiedeklagen of antireflectie- ramen op vlak 414.

Een kwartlambdaplaatelement 426 is geplaatst tussen polariserende bundelsplitser 416 en vlakke meetspiegel 142 in een meetbundelpad dat evenwijdig is aan een richting C. Richting C is de 15 oorspronkelijke richting van invallende bundel 105A. Een kwartlambdaplaat-element 427 is geplaatst tussen tussenliggende poort 417 en vlakke referentiespi egel 144 in een referent!ebundelpad evenwijdig aan richting C. Een kwartlambdaplaatelement 428 is geplaatst tussen polariserende bundelsplitser 418 en vlakke referentiespi egel 144 in een 20 verdere referentiebundel evenwijdig aan richting C. Een kwartlambdaplaatelement 429 is geplaatst tussen tussenliggende poort 419 en vlakke meetspiegel 142 in een verder meetbundelpad evenwijdig aan richting C. Kwartlambdaplaat-elementen 426, 427, 428 en 429 kunnen individuele kwartlambdaplaten zijn of deel uitmaken van een enkele 25 kwartlambdaplaat.

Een kwartlambdaplaat 430 en richtingswijzingsoptiek 432 (bijvoorbeeld een retroreflectie-element van het hoekse kubustype) zijn geplaatst tegenover polariserende bundelsplitsers 416 en 418 in bundel paden evenwijdig aan een richting D. Richting D is in het uiterste 30 geval afhankelijk van de hoek van afschuifplaat 402 relatief ten opzichte van invallende bundel 105A.

1 028 7 23 I - 15

In het meetpad breekt het lucht-glas-grensvlak in ingangspoort 406 invallende bundel 105A. Invallende bundel 105 plant zich voort door afschuifplaat 402 in de richting van polariserende bundelsplitser 416. De meetbundel plant zich voort door polariserende 5 bundelsplitser 416 en de referentiebundel wordt gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 416, terwijl hun initiële polarisaties behouden blijven. Bij polariserende bundel splitser 416 breekt het glas-lucht-grensvlak de meetbundel zodanig dat het zich door kwartlambdaplaat 426 voortplant en op vlakke meetspiegel 142 valt. Vlakke meetspiegel 142 10 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 416 en terug op polariserende bundelsplitser 416. Nadat het twee keer kwartlambdaplaat 416 gepasseerd is, wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel gereflecteerd door polariserende bundel splitser 416 zodanig dat het zich door kwartlambdaplaat 430 voortplant in retroreflectie-15 element 432.

Retroreflectie-element 432 retourneert de meetbundel in een verschoven maar evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 430 en op polariserende bundelsplitser 418. Nadat het twee keer kwartlambdaplaat 430 gepasseerd is, plant de nu horizontaal gepolariseerde meetbundel zich 20 voort door polariserende bundelsplitser 418. Bij polariserende bundelsplitser 418 breekt het lucht-glasgrensvlak de meetbundel zodanig dat het zich voortplant door de afschuifplaat 402 en op spiegel 409.

Spiegel 409 reflecteert de meetbundel naar tussenliggende poort 419. Bij tussenliggende poort 419 breekt het glas-lucht-grensvlak de meetbundel 25 zodanig dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 429 op vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf en de meetbundel volgt zijn spoor terug naar polariserende bundelsplitser 418. Nadat het kwartlambdaplaat 429 twee keer gepasseerd is, wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel nu door polariserende 30 bundelsplitser 418 gereflecteerd en plant zich voort naar uitgangspoort 408. Bij uitgangspoort 408 breekt het glas-lucht-grensvlak de meetbundel 1028723 16 zodanig dat het zich voortplant naar een detector.

In het referentiepad reflecteert polariserende bundelsplitser 416 de referentiebundel naar een spiegel 407 en spiegel 407 reflecteert de referentiebundel op tussenliggende poort 417. Bij 5 tussenliggende poort 417 breekt het glas-lucht-grensvlak de referentiebundel zodanig dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 427 en op vlakke referentiespi egel 144. Vlakke referentiespi egel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf en de referentiebundel volgt zijn spoor terug naar polariserende bundelsplitser 416. 10 Nadat het kwartlambdaplaat 427 twee keer gepasseerd is plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort door polariserende bundelsplitser 416. Bij polariserende bundelsplitser 416 breekt het glas-lucht-grensvlak de referentiebundel zodanig dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 430 in retroreflectie-element 432.

15 Retroreflectie-element 432 retourneert de referentiebundel in een verschoven maar evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 430 en op polariserende bundel spl itser 418. Nadat het twee keer kwartlambdaplaat 420 gepasseerd is, wordt de nu verticaal gepolariseerde referentiebundel gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 418 zodanig dat het zich 20 voortplant door kwartlambdaplaat 428 en op vlakke referentiespi egel 144. Vlakke referentiespi egel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf door kwartlambdaplaat 428 en terug naar polariserende bundelsplitser 418. Nadat het kwartlambdaplaat 428 twee keer gepasseerd is, plant de horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort door 25 polariserende bundelsplitser 418. Bij polariserende bundelsplitser 418 wordt de referentiebundel gebroken door het lucht-glasgrensvlak en vervolgengs gerecombineerd met de meetbundel voor het vormen van uitgangsbundel 105B. Uitgangsbundel 105B plant zich vervolgens voort door afschuifplaat 402 naar uitgangspoort 408. Bij uitgangspoort 408 breekt de 30 glas-lucht-grensvlak uitgaande bundel 105B zodanig, dat het zich voorplant naar de detector.

1028723 ! 17 i

Zoals bovenbeschreven verschaft interferometer ei bundel patroon waarin twee referentiebundeldoorgangen worden // 'gesandwiched' tussen twee meetbundeldoorgangen. Natuurlijk kunnen c richtingen van de meet- en referentiepaden worden omgedraaid en kan N 5 meetpad met het referentiepad worden verwisseld. In één uitvoeringsvor wordt kwartlambdaplaat 430 in zijn geheel verwijderd voor het verschaffi van een ander bundel patroon welke bestaat uit een eerst meetbundeldoorgang, een eerste referentiebundeldoorgang, een tweec meetbundeldoorgang en een tweede referentiebundeldoorgang.

10 Figuur 5 toont een differentiaal interferometersysteem 5( in een uitvoeringsvorm van de uitvinding. Interferometersysteem 500 omvi een afschuifplaat 502 omvattende evenwijdige vlakken 504 en 514. Vlak 5( omvat een ingangspoort 506A, een uitgangspoort 506B aangrenzend ai ingangspoort 506A, een spiegel element 508A aangrenzend aan uitgangspoor 15 506B, en een spiegel element 508B aangrenzend aan spiegel 508/

Ingangspoort 506A en uitgangspoort 506B kunnen bestaan uit dezelfde anti reflectieve deklaag of anti reflectief raam 506 op vlak 504 terwij spiegel elementen 508A en 508B kunnen bestaan uit dezelfde hoogreflecties deklaag of spiegeloptica 508 op vlak 504.

20 Vlak 514 omvat een polariserend bundel splitsend elemer 516A, een polariserend bundel splitsend element 516B aangrenzend ai polariserende bundelsplitser 516A, een tussengelegen poort 51£ aangrenzend aan polariserende bundelsplitser 516B, een tussengelegc poort 518B aangrenzend aan tussengelegen poort 518A. Polariserer 25 bundel splitsend element 516A bevindt zich (1) tegenover ingangspoort 50f in een bundel pad evenwijdig aan richting A en (2) tegenovi

spiegel element 508A in een bundel pad parallel aan een richting E

Richtingen A en B hangen in het uiterste geval af van de hoek van ( afschuifplaat 502 relatief ten opzichte van invallende bundel 105/ 30 Polariserend bundel splitsend element 516B bevindt zich (1) tegenovi uitgangspoort 506B in een bundel pad evenwijdig aan richting A en (2 1028723 18 tegenover spiegelement 508B in een bundel pad evenwijdig aan richting B. polariserende bundel splitsende elementen 516A en 516B verschaffen isolatie en recombinatie van paden door het doen voortplanten van één lineaire polarisatie (bijvoorbeeld verticale polarisatie) en het 5 reflecteren van een verdere orthogonale lineaire polarisatie (bijvoorbeeld horizontale polarisatie). Tussenliggende poort 518A bevindt zich tegenover spiegel element 508A in een bundel pad parallel aan richting A. Tussenliggende poort 518B bevindt zich tegenover spiegel element 508B in een bundelpad evenwijdig aan richting A. Polariserende 10 bundel splitsende elementen 516A en 516B kunnen bestaan uit dezelfde polariserende bundelsplitsende deklaag of polariserende bundel splitsende optica 516 op vlak 514, terwijl tussenliggende poorten 518A en 518B kunnen bestaan uit dezelfde anti reflectieve deklaag of anti reflectief raam 518 op vlak 514.

15 Een kwartlambdaplaatelement 522 wordt geplaatst tussen polariserend bundel splitsend element 516A en vlakke meetspiegel 142 in een meetbundelpad evenwijdig aan richting C. Richting C is de oorspronkelijke richting van invallende bundel 105A. Een kwartlambdaplaat-element 524 wordt geplaatst tussen polariserend 20 bundel splitsend element 516B en vlakke referent!espi egel 144 in een referent!ebundelpad parallel aan richting C. Een kwartlambdaplaatelement 526 wordt geplaatst tussen tussengelegen poort 518A en vlakke referentiespi egel 144 in een verder referent!ebundelpad evenwijdig aan richting C. Een kwartlambdaplaatelement 528 wordt geplaatst tussen 25 tussenliggende poort 518B en vlakke meetspiegel 144 in een verder meetbundelpad evenwijdig aan richting C. Kwartlambdaplaatelementen 522, 524, 526 en 528 kunnen individuele kwartlambdaplaten zijn of deel uitmaken van een enkele kwartlambdaplaat.

Een kwartlambdaplaat 530 en een richtingswijzingsoptiek 532 30 (bijvoorbeeld een retroreflectie-element van het hoekse kubustype) worden tegenover polariserende bundel elementen 516A en 516B geplaatst in 1028723 19 bundel paden evenwijdig aan een richting D. Richting O hangt in het uiterste geval af van de hoek van afschuifplaat relatief ten opzichte van j invallende bundel 105A.

In het meetpad wordt invallende bundel 105A gebroken door 5 het lucht-glas-grensvlak van ingangspoort 506A zodanig dat het zich voortplant naar afschuifplaat 502 en op polariserende bundelsplitser 516A. De meetbundel plant zich voort door polariserende bundelsplitser 516A en de referentiebundel wordt door polariserende bundelsplitser 516A gereflecteerd, waarbij hun initiële polarisaties behouden blijven. De 10 meetbundel plant zich vervolgens voort door kwartlambdaplaat 522 en op vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 522 en terug naar polariserende bundel splitser 516A. Nadat het kwartlambdaplaat 522 twee keer gepasseerd is wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel 15 gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 516A en plant zich voort door kwartlambdaplaat 530 in retroreflectie-element 532.

Retroreflectie-element 532 retourneert de meetbundel in een verschoven maar evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 530 en op polariserende bundel spl itser 516B. Nadat het kwartlambdaplaat 530 twee 20 keer gepasseerd is, plant de nu horizontaal gepolariseerde meetbundel zich voort door polariserende bundelsplitser 516B. Bij polariserende bundelsplitser 516 breekt het lucht-glas-grensvlak de meetbundel zodanig, dat het zich voortplant door afschuifplaat 502 en op spiegel 508B. Spiegel 508B reflecteert de meetbundel naar tussengelegen poort 518B. Bij 25 tussengelegen poort 518B breekt het glas-lucht-grensvlak de meetbundel zodanig dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 528 en op vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf en de meetbundel volgt zijn spoor terug naar polariserende bundelsplitser 516B. Nadat het twee keer kwartlambdaplaat 528 gepasseerd 30 is, wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel gereflecteerd door polariserende bundel splitser 516B en plant zich voort naar uitgangspoort 1028723 20 506B. Bij uitgangspoort 506B breekt het glas-lucht-grensvlak de meetbundel zodanig, dat deze zich voortplant naar een detector.

In het referentiepad reflecteert polariserende bundelsplitser 516A de referentiebundel naar spiegel 508A en spiegel 508A ! 5 reflecteert de referentiebundel op tussenliggende poort 518A. Bij tussenliggende poort 518A breekt het glas-lucht-grensvlak de referentiebundel zodanig, dat het zich voortplant naar kwartlambdaplaat 526 en op vlakke referentiespiegel 144. Vlakke referent!espi egel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf en de referentiebundel volgt zijn 10 spoor terug naar polariserende bundel splitser 516A. Nadat het kwartlambdaplaat 526 twee keer gepasseerd is, plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort door polariserende bundelsplitser 516A. Bij polariserende bundelsplitser 516A breekt het glas-lucht-grensvlak de referentiebundel zodanig, dat het zich voortplant 15 door kwartlambdaplaat 530 en in het retroreflectie-element 532.

Retroreflectie-element 532 retourneert de referentiebundel in een verschoven maar evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 530 en op polariserende bundelsplitser 516B. Nadat het kwartlambdaplaat 530 twee keer gepasseerd is, wordt de nu verticaal gepolariseerde referentiebundel 20 gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 516B zodanig, dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 524 en op vlakke referentiespiegel 144 valt. Vlakke referentiespiegel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 524 en terug naar polariserende bundel splitser 516B. Nadat het twee keer de 25 kwartlambdaplaat 524 gepasseerd is, plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort door polariserende bundelsplitser 516B. Bij polariserende bundelsplitser 516B wordt de referentiebundel gebroken door het lucht-glas-grensvlak en vervolgens gerecombineerd met de meetbundel voor het vormen van uitgaande bundel 30 105B. Uitgaande bundel 105B plant zich vervolgens voort door

afschuifplaat 502 en valt op uitgangspoort 506B. Bij uitgangspoort 506B

1028723 21 breekt het glas-lucht-grensvlak uitgaande bundel 105B zodanig, dat het zich voortplant naar de detector.

Zoals hierboven beschreven verschaft interferometer 500 een bundel patroon waarin twee referentiebundeldoorgangen worden 5 'gesandwiched' tussen twee meetbundeldoorgangen. Natuurlijk kunnen de richtingen van de meet- en de referentiepaden worden omgedraaid en kan het meetpad worden verwisseld met het referentiepad. In een uitvoeringsvorm wordt kwartlambdaplaat 530 in zijn geheel verwijderd voor het verschaffen van een ander bundel patroon bestaande uit een eerste 10 meetbundeldoorgang, een tweede meetbundeldoorgang, een eerste referentiebundeldoorgang en een tweede referentiebundeldoorgang.

Figuur 6 toont een differentiaal interferometersysteem 600 overeenkomstig een uitvoeringsvorm van de uitvinding. Interferometersysteem 600 omvat een romboïde samenstelling omvattende een 15 bovenste optische stapeling bevestigd bovenop een onderste optische stapeling. De onderste optische stapeling omvat een prisma 602 en een prisma 604. Prisma 602 heeft een verticaal vlak 602A, een horizontaal vlak 602B, een hoeks vlak 602C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), en een horizontaal vlak 602D. Een antireflectieraam 615 is 20 geplaatst op een linkergedeelte van horizontaal vlak 602D om te dienen als ingangspoort voor invallende bundel 105A. Prisma 604 heeft een hoeks vlak 604 (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), een horizontaal vlak 604B en een hoeks vlak 604C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), en een horizontaal vlak 604D. Een antireflectieraam 615B is 25 bevestigd op horizontaal vlak 604 om te dienen als uitgangspoort voor uitgaande bundel 105A. Merk op dat hoeks vlak 604C dient als volledige interne referentiespi egel (VIR).

Prisma 602 is bevestigd aan prisma 604 door het fixeren (bijvoorbeeld lijmen) van hoeks vlak 602C aan hoeks vlak 604A. Een 30 polariserende bundelsplitser 606 wordt gevormd op het grensvlak tussen 602 en 604. In een uitvoeringsvorm is polariserende bundelsplitser 606 1028723 22 een polariserende bundel splitsende deklaag gevormd op ofwel hoeks vlak 602C of 604A.

De bovenste optische stapeling omvat een prisma 612 en een prisma 614. Prisma 612 heeft een verticaal vlak 612A, een horizontaal 5 vlak 612B en een hoeks vlak 612C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden). Prisma 614 heeft een hoeks vlak 614A (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), een horizontaal vlak 614B en een hoeks vlak 614C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), en een horizontaal vlak 614D. Merk op dat dient als volledige interne referentiespi egel (VIR).

10 Prisma 612 is bevestigd aan prisma 614 door het fixeren van hoeks vlak 612C aan hoeks vlak 614A. Een polariserende bundelsplitser 616 wordt gevormd op het grensvlak tussen prisma 612 en 614. In één uitvoeringsvorm is polariserende bundelsplitser 616 een polariserende bundel splitsende deklaag gevormd op ofwel hoeks vlak 612C of 614A. 15 Polariserende bundelsplitsers 616 en 606 verschaffen isolatie en recombinatie van paden door het doen voortplanten van één lineaire polarisatie (bijvoorbeeld verticale polarisatie) en het reflecteren van een verdere orthogonale lineaire polarisatie (bijvoorbeeld horizontale polarisatie).

20 De bovenste optische stapeling is bevestigd bovenop de onderste optische stapeling door het fixeren van horizontaal vlak 614D aan linkergedeelte van horizontaal vlak 602B zodanig dat polariserende bundelsplitser 616 zich tegenover ingangspoort 615A bevindt.

Een kwartlambdaplaatelement 622 is direct geplaatst bovenop 25 of indirect geplaatst boven horizontaal vlak 612B tegenover polariserende bundelsplitser 616. Een kwartlambdaplaatelement 624 is direct bevestigd bovenop of indirect bevestigd boven horizontaal vlak 614B tegenover spiegel 614C. Een kwartlambdaplaatelement 626 wordt direct geplaatst bovenop of indirect boven een rechterdeel van horizontaal vlak 602B 30 tegenover polariserende bundelsplitser 606. Een kwartlambdaplaatelement 628 wordt direct bevestigd bovenop of indirect bevestigd boven 1028723 23 horizontaal 604B tegenover spiegel 604C. Hoewel individueel getoond, kunnen kwartlambdaplaatelementen 622, 624, 6626 en 628 onderdeel uitmaken van een enkele kwartlambdaplaat bevestigd boven de romboïde samenstelling. In het alternatieve geval kunnen kwartlambdaplaatelementen 5 622 en 624 een enkele kwartlambdaplaat zijn en kwartlambdaplaatelementen 626 en 628 kunnen een enkele kwartlambdaplaat zijn.

Een kwartlambdaplaat 630 wordt direct geplaatst op of indirect aangrenzend aan verticale vlakken 602A en 612A. Een richtingswijzingsoptiek 632 (bijvoorbeeld een retroreflectie-element van 10 het hoekse kubustype) is met zijn ingangs-/uitgangsvlak direct bevestigd aan of indirect bevestigd aangrenzend aan kwartlambdaplaat 630.

In het meetpad plant ingaande bundel 105A zich door ingangspoort 615A voort en valt op polariserende bundelsplitser 616. De meetbundel plant zich door polariserende bundelsplitser 616 voort en de 15 referentiebundel wordt door polariserende bundel splitser 616 gereflecteerd, waarbij hun initiële polariteit behouden blijft. De meetbundel plant zich vervolgens voort door kwartlambdaplaat 622 en op vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 622 en terug naar 20 polariserende bundelsplitser 616. Na twee keer door kwartlambdaplaat 622 te zijn getreden wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 616 zodanig, dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 630 en in retroreflectie-element 632.

Retroreflectie-element 632 retourneert de meetbundel in een 25 verschoven maar evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 630 en op polariserende bundelsplitser 606. Nadat het kwartlambdaplaat 630 twee keer gepasseerd is plant de nu horizontaal gepolariseerde meetbundel zich voort door polariserende bundelsplitser 606 en op spiegel 604C. Spiegel 604C reflecteert de meetbundel orthogonaal door kwartlambdaplaat 628 en 30 op vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf en de meetbundel volgt zijn spoor terug 1 02872 3 24 naar polariserende bundelsplitser 606. Na kwartlambdaplaat 628 twee keer gepasseerd te zijn wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 606 zodanig, dat het zich voortplant door uitgangspoort 615B en in een detector.

5 In het referentiepad reflecteert polariserende bundelsplitser 616 de referentie-bundel orthogonaal naar spiegel 614C. Spiegel 614C reflecteert de referentiebundel orthogonaal door kwartlambdaplaat 624 en op vlakke referentiespi egel 144. Referentiespi egel 144 reflecteert de referentie-bundel naar zichzelf en 10 de referentiebundel volgt zijn spoor polariserende bundelsplitser 616. Na kwartlambdaplaat 624 twee keer gepasseerd te zijn plant de nu horizontaal gepolariseerde referentie-bundel zich voort door polariserende bundelsplitser 616 en kwartlambdaplaat 630 en in retroreflectie-element 632.

15 Retroreflectie-element 632 retourneert de referentiebundel in een verschoven maar evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 630. Na kwartlambdaplaat 630 twee keer gepasseerd te zijn wordt de nu verticaal gepolariseerde referentiebundel gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 606 zodanig, dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 20 626 en op vlakke referentiespi egel 144. Vlakke referentiespi egel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 626 en terug op polariserende bundelsplitser 606. Na kwartlambdaplaat 626 twee keer gepasseerd te zijn, plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich door polariserende 25 bundelsplitser 606 en recombineert met de meetbundel voor het vormen van de uitgaande bundel 1058. Uitgaande bundel 105B plant zich vervolgens voort door uitgangspoort 615B en in de detector.

Zoals hierboven beschreven verschaft interferometer 600 een bundel patroon waarin twee referentiebundeldoorgangen worden 30 'gesandwiched' tussen twee meetbundeldoorgangen. Natuurlijk kan de richting van de meet- en referentiepaden worden omgedraaid en kan het 1028723 25 meetpad worden verwisseld met het referentiepad. In één uitvoeringsvorm wordt kwartlambdaplaat 630 in zijn geheel verwijderd voor het verschaffen van een ander bundel patroon bestaande uit een eerste meetbundeldoorgang, een eerste referentiebundel-doorgang, een tweede meetbundeldoorgang en 5 een tweede referentiebundel-doorgang.

Figuur 7 toont een differentiaal interferometersysteem 700 overeenkomstig een uitvoeringsvorm van de uitvinding. Interferometersysteem 700 omvat een romboïde samenstelling omvattende een bovenste optische stapeling bevestigd bovenop een onderste optische 10 stapeling. De onderste optische stapeling omvat een prisma 702 en een prisma 704. Prisma 702 omvat een verticaal vlak 702A, een horizontaal vlak 702B, een hoeks vlak 702C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), en een horizontaal vlak 702D. Prisma 704 heeft een hoeks vlak 704A (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), een horizontaal vlak 15 704B, een hoeks vlak 704C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden) en

een horizontaal vlak 704D. Een antireflectieraam 715 is bevestigd aan horizontaal vlak 702D en een linkergedeelte van horizontaal vlak 704D

i dient als ingangs/uitgangspoorten voor ingaande bundel 105A en uitgaande i bundel 105B. Merk op dat hoeks vlak 704C dient als volledige interne j 20 reflectie-spiegel (VIR).

Prisma 702 is bevestigd aan prisma 704 door het fixeren (bijvoorbeeld door lijmen) van hoeks vlak 702C aan hoeks vlak 704A. Een polariserende bundelsplitser 706 is gevormd op het grensvlak tussen prisma's 702 en 704. In één uitvoeringsvorm is polariserende I 25 bundelsplitser 706 een polariserende bundel splitsende deklaag gevormd op ofwel vlak 702C of 704A.

! ' De bovenste optische stapeling omvat een prisma 712 en een

prisma 714. Prisma 712 heeft een verticaal vlak 712A, een horizontaal vlak 712B en een hoeks vlak 712C (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 30 graden). Prisma 714 heeft een hoeks vlak 714A (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), een horizontaal vlak 714B, een hoeks vlak 714C

1028723 26 (bijvoorbeeld onder een hoek van 45 graden), en een horizontaal vlak 714D. Merk op dat hoeks vlak 714C dient als volledige interne reflect!espi egel en in uitgerust met hoekse vlakke 702C em 704A.

Prisma 712 is bevestigd aan prisma 714 door het fixeren van 5 hoeks vlak 712C aan hoeks vlak 714A. Een polariserende bundelsplitser 716 wordt gevormd op het grensvlak tussen de prisma's 712 en 714. In één uitvoeringsvorm is polariserende bundelsplitser 716 een polariserende bundel splitsende deklaag gevormd op ofwel hoeks vlak 712C of hoeks vlak 714A. Polariserende bundelsplitsers 716 en 706 verschaffen isolatie en 10 recombinatie van paden door het doen voortplanten van één lineaire polarisatie (bijvoorbeeld verticale polarisatie) en het reflecteren van een verder orthogonale lineaire polarisatie.

De bovenste optische stapeling is geplaatst bovenop de onderste optische stapeling door het fixeren van horizontaal vlak 714D aan het horizontale 15 vlak 702B.

Een kwartlambdaplaatelement 722 is direct geplaatst bovenop of indirect boven horizontaal vlak 712B tegenover polariserende bundelsplitser 716. Kwartlambdaplaatelementen 724 en 726 zijn direct bevestigd bovenop of indirect boven horizontaal vlak 714B tegenover 20 respectievelijk polariserende bundelsplitser 706 en spiegel 714C. Een kwartlambdaplaatelement 628 is direct bevestigd bovenop of indirect bevestigd boven een rechtergedeelte van een horizontaal vlak 704 tegenover spiegel 704C. Een kwartlambdaplaat 730 is direct geplaatst op of indirect bevestigd aan verticale vlakken 702A en 712A. Een 25 richtingswijzingsoptiek 732 (een retroreflectie-element van het hoekse kubustype) is met zijn ingangs/uitgangsvlak direct bevestigd aan of indirect bevestigd aangrenzend aan kwartlambdaplaat 730.

In het meetpad plant de invallende bundel 105A zich voort door antireflectieraam 715 na polariserende bundelsplitser 716. De 30 meetbundel plant zich voort door polariserende bundelsplitser 716 en de referentiebudel wordt door polariserende bundelsplitser 716 1028723 27 gereflecteerd, waarbij hun initiële polarisaties behouden blijven. De meetbundel plant zich vervolgens voort door kwartlambdaplaat 722 en op een vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 722 en terug naar 5 polariserende bundelsplitser 716. Nadat het kwartlambdaplaat 722 twee keer gepasseerd is wordt de nu verticaal gepolariseerd is door polariserende bundelsplitser 716 zodanig dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 730 en in retroreflectie-element 732.

Retroreflectie-element 732 retourneert de meetbundel in een 10 verschoven maar evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 730 en op polariserende bundelsplitser 706. Nadat het kwartlambdaplaat 730 twee keer gepasseerd is, plant de nu horizontaal gepolariseerde meetbundel zich voort door polariserende bundelsplitser 706 en op spiegel 704C. Spiegel 704C reflecteert de meetbundel orthogonaal door kwartlambdaplaat 15 728 en op vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf en de meetbundel volgt zijn pad terug naar polariserende bundelsplitser 706. Nadat het kwartlambdaplaat 728 twee keer gepasseerd is wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 706 zodanig dat het zich 20 voortplant door antireflectieraam 715 en in een detector.

In het referent!epad reflecteert polariserende bundelsplitser 716 de referentiebundel naar spiegel 714C. Spiegel 714C reflecteert de referentiebundel orthogonaal door kwartlambdaplaat 726 en op vlakke referentiespi egel 144. Vlakke referentie referentiespi egel 144 25 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf en de referentiebundel vervolgt zijn pad terug naar polariserende bundelsplitser 716. Nadat het kwartlambdaplaat 726 twee keer gepasseerd is plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort door polariserende bundelsplitser 716 en kwartlambdaplaat 730, en in retroreflectie-element 30 732.

Retroreflectie-element 732 retourneert de referentiebundel 1028723 28 in een verschoven maar evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 730 en op polariserende bundelsplitser 706. Nadat het kwartlambdaplaat 730 twee keer gepasseerd is, wordt de nu verticaal gepolariseerde referentiebundel door polariserende bundelsplitser 706 gereflecteerd zodanig dat het zich 5 voorplant door kwartlambdaplaat 724 en op vlakke referentiespi egel 144. Vlakke referentiespi egel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 724 en terug naar polariserende bundelsplitser 706. Nadat het kwartlambdaplaat 724 twee keer gepasseerd is, plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort 10 door polariserende bundelsplitser 706 en recombineert met de meetbundel voor het vormen van de uitgaande bundel (105B). Uitgaande bundel 105B plant zich vervolgens voor door antireflectieraam 715 en in de detector.

Zoals hierboven beschreven verschaft interferrometer 700 een bundel patroon waarin twee referentiebundeldoorgangen worden 15 'gesandwiched' tussen twee meetbundeldoorgangen. Natuurlijk kunnen de richtingen van de meet en referentiepaden worden omgedraaid en kan het meetpad met het referentiepad worden verwisseld. In één uitvoeringsvorm is kwartlambdaplaat 730 in zijn geheel verwijderd voor het verschaffen van een ander bundel patroon bestaande uit een eerste meetbundeldoorgang, 20 een tweede meetbundeldoorgang, een eerste referentiebundeldoorgang en een tweede referentiebundeldoorgang.

Figuren 8A, 8B en 8C tonen een differentiaal interferometersysteem 800 overeenkomstig één uitvoeringsvorm van de uitvinding. Interferometersysteem 800 omvat een romboïde samenstelling 25 omvattende een lager prisma 802 en een hoger prisma 804. Lager prisma 802 omvat een verticaal vlak 802A, een hoeks vlak 802B, een verticaal vlak 802 en een hoeks vlak 802D. Merk op dat hoeks vlak 802S als volledige interne reflectiespi egel dient. Een antireflectieraam 815 is bevestigd aan verticaal vlak 802A om te dienen als ingangs/uitgangspoorten voor 30 invallende bundel 105A ne uitgaande bundel 105B.

Prisma 804 omvat een horizontaal vlak 804A, een verticaal 1028723 ί 29 j vlak 804B en een hoeks vlak 804C. Prisma 804 is bevestigd bovenop prisma 802 door het fixeren (bijvoorbeeld lijmen) van het hoekse vlak 804C aan hoeks vlak 802B. Een polariserende bundelsplitser is gevormd in het grensvlak tussen prisma 802 en 804. In één uitvoeringsvorm is 5 polariserende bundel splitser 805 een polariserende bundel splitsende deklaag gevormd op ofwel vlak 804C of 802B. Polariserende bundelsplitser 805 verschaft isolatie en recombinatie van paden door het doen voortplanten van één lineaire polarisatie (bijvoorbeeld verticale polarisatie) en het reflecteren van een verdere orthogonale lineaire 10 polarisatie (bijvoorbeeld horizontale polarisatie).

Kwartlambdaplaatelementen 806A en 806B worden direct bevestigd aan of indirect bevestigd aangrenzend aan verticaal vlak 802C. Kwartlambdaplaatelementen 808A en 808B worden direct bevestigd aan of indirect bevestigd aangrenzend aan verticaal vlak 804B. Kwartlambdaplaat-15 elementen 806A, 806B, 808A en 808B kunnen individuele kwartlambdaplaten zijn of onderdeel uitmaken van een enkele kwart!ambdaplaat. Een kwartlambdaplaatelement 810 is direct bevestigd aan of indirect bevestigd aangrenzend aan horizontaal vlak 804A. Een richtingswijzingsoptiek 812 (bijvoorbeeld een retroreflectie-element van het hoekse kubustype) wordt 20 direct bevestigd bovenop of indirect bevestigd boven kwartlambdaplaat 810.

In het meetpad plant invallende bundel 105A zich voort door antireflectieraam 815 op polariserende bundelsplitser 805. De meetbundel plant zich voort door polariserende bundelsplitser 805, terwijl de 25 referentiebundel wordt gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 805, waarbij hun initiële polarisaties behouden blijven. De meetbundel plant zich vervolgens voort langs een richting A door kwartlambdaplaat 808A en op vlakke meetspiegel 142. In één uitvoeringsvorm heeft vlakke referentiespi egel 144 openingen waardoorheen de meetbundel kan passeren 30 voor het bereiken van vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142

reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 808A

1028723 30 en terug naar polariserende bundelsplitser 805. Nadat het kwartlambdaplaat 808A twee keer gepasseerd wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 805 zodanig dat het zich voortplant langs een richting B, welke 5 orthogonaal is aan richting A, door kwartlambdaplaat 810 en in retroreflectie-element 812.

Retroreflectie-element 812 verschuift de meetbundel langs een richting C, welke orthogonaal is aan de beide richtingen A en B, en retourneert de meetbundel vervolgens in een evenwijdig pad door 10 kwartlambdaplaat 810 en op polariserende bundel splitser 805. Nadat het kwartlambdaplaat twee keer gepasseerd is, plant de nu horizontaal gepolariseerde meetbundel zich voort langs richting B door polariserende bundelsplitser 805 en op spiegel 802D. Spiegel 802 reflecteert de meetbundel orthogonaal langs richting A door kwartlambdaplaat 806B en op 15 vlakke meetspiegel 142. Zoals hierboven beschreven kan vlakke referentie-spiegel 144 openingen omvatten waardoorheen de meetbundel kan passeren voor het bereiken van vlakke meetspiegel 142.

Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf en de meetbundel volgt zijn spoor terug naar polariserende 20 bundelsplitser 805. Nadat het kwartlambdaplaat 806B twee keer gepasseerd is, wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 805 zodanig dat deze zich voortplant langs richting A door antireflectieraam 815 en in een detector.

In het referentiepad reflecteert polariserende 25 bundelsplitser 805 de referent!ebundel orthogonaal langs een richting B op spiegel 802D. Spiegel 802D reflecteert de referent!ebundel orthogonaal langs een richting A door kwartlambdaplaat 806A en op vlakke referentiespi egel 144.

Vlakke referentiespi egel 144 reflecteert de 30 referentiebundel terug naar zichzelf en de referentiebundel vervolgt zijn spoor terug naar polariserende bundelsplitser 805. Nadat het 1028723 31 kwart!ambdaplaat 806A twee keer gepasseerd is, plant de nu horizontaal gepolariseerde meetbundel zich voort door polariserende bundelsplitser 805 en kwartlambdaplaat 810 in retroreflectie-element 812.

Retroreflectie-element 812 verschuift de referentiebundel 5 langs een richting C en retourneert de referentiebundel in een parallel pad door kwartlambdaplaat 810 en op polariserende bundelsplitser 805. Nadat het kwartl ambdaplaat 810 twee keer gepasseerd is, wordt de nu verticaal gepolariseerde referentiebundel gereflecteerd vanuit polariserende bundelsplitser 805 zodanig dat het zich voortplant langs 10 richting A door kwartlambdaplaat 808B en op vlakke referentiespi egel 144.

Vlakke referentiespi egel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 808B en terug naar polariserende bundelsplitser 805. Nadat het kwartlambdaplaat 808B twee keer gepasseerd is, plant de nu horizontaal gepolariseerde 15 referentiebundel zich voort door polariserende bundelsplitser 805 en recombineert met de meetbundel voor het vormen van de uitgaande bundel 805B. Uitgaande bundel 805B plant zich vervolgens voort door antireflectieraam 815 en in de detector.

Zoals hierboven beschreven en getoond in figuur 8B, 20 verschaft interferometer 800 een bundel patroon met meetdoorgangen linksboven en rechtsonder, en referentiedoorgangen rechtsboven en linksonder. Natuurlijk kunnen de richtingen van de referentie en meetpaden worden omgedraaid, en kan het meetpad met het referentiepad worden verwisseld. In één uitvoeringsvorm wordt kwartlambdaplaat 810 in 25 zijn geheel verwijderd voor het verschaffen van een ander golfpatroon bestaande uit meetdoorgangen linksboven en rechtsboven, en referentiedoorgangen linksonder en rechtsonder.

Figuren 9A, 9B en 9C tonen een differentiaal interferometersysteem 900 in een uitvoeringsvorm overeenkomstig de 30 uitvinding. Interferometersysteem 900 omvat een afschuifplaat 902 omvattende evenwijdige vlakken 904 en 914. Vlak 904 omvat een 1028723 32 ingangspoort 906A en een uitgangspoort 906B verschoven ten opzichte van ingangspoorten 906A langs een richting A, een spiegel element 908A en een spiegel element 908B verschoven ten opzichte van spiegel 908A langs richting A. Ingangspoorten 906A en uitgangspoorten 906B kunnen bestaan 5 uit dezelfde antireflectie deklagen of antireflectieramen op vlak 904, terwijl spiegelelementen 908A en 908B kunnen bestaan uit dezelfde hoge reflectie deklaag of spiegel optiek op vlak 904.

Vlak 914 omvat een polariserend bundel splitsend element 916A, een polariserend bundel splitsend element 916B verschoven ten 10 opzichte van polariserend bundel splitsend element 916A langs richting A, een tussenliggende poort 918A aangrenzend aan polariserende bundelsplitser 916A en een tussenliggende poort 918B verschoven ten opzichte van tussenliggende poort 918A langs richting A. Polariserend bundel splitsend element 916A bevindt zich (1) tegenover ingangspoorten 15 906A in een bundel pad evenwijdig aan een richting B en (2) tegenover een spiegel element 908A in een bundel pad evenwijdig aan eer richting C.

Richtingen B en C hangen in het uiterste geval af van de hoek van de afschuifplaat 902 relatief ten opzichte van invallende bundel 105A. Polariserende bundelelement 916B bevindt zich (1) tegenover uitgangspoort 20 906 B in een bundel pad evenwijdig aan de richting B en (2) tegenover spiegel element 908B in een bundel pad evenwijdig aan richting C.

Polariserend bundel splitsend element 916A en 916B verschaffen isolatie en recombinatie van paden door het doen voortplanten van één lineair polarisatie (bijvoorbeeld verticale polarisatie) en het reflecteren van 25 een andere orthogonale lineaire polarisatie (bijvoorbeeld horizontale polarisatie). Tussenliggende poort 918A bevindt zich tegenover spiegel-element 908A in een bundelpad evenwijdig aan de richting B.

Tussenliggende poort 918B bevindt zich tegenover spiegel element 908B in een bundelpad evenwijdig aan richting B. Polariserende bundel splitsende 30 elementen 916A en 916B kunnen bestaan uit dezelfde polariserende bundel splitsende deklaag of polariserende bundelsplitsende optiek op vlak 1028723 _ 33 914, terwijl tussenliggende poorten 918A en 918B kunnen bestaan uit dezelfde anti reflectie deklaag of antireflectieraam op vlak 914.

Een kwartlambdaplaatelement 922A is geplaatst in een meetbundelpad tussen polariserende bundel splitser 916A en vlakke 5 meetspiegel 142 langs een richting D. Richting D is de oorspronkelijke richting van invallende bundel 105A. Een kwartlambdaplaatelement 922B is geplaatst in een referentiebundelpad tussen polariserende bundelsplitser 916B en vlakke referent!espi egel 144 langs richting A. Een kwartlambdaplaatelement 924 is geplaatst in een verder 10 referentiebundelpad tussen tussenliggende poort 918A en vlakke referentiespi egel 144 langs richting D. Een kwartlambdaplaatelement 924B is geplaatst in een verder meetbundelpad tussen tussenliggende poort 918B en vlakke meetspiegel 142 evenwijdig aan richting D. Kwartlambdaplaatelementen 922A, 922B, 924A en 924B kunnen individuele 15 kwartlambdaplaten zijn of deel uitmaken van een enkele kwartlambdaplaat.

! i

Een kwartlambdaplaat 930 en een richtingswijzingsoptiek 932 (bijvoorbeeld een retroreflectie-element van het hoekse kubustype) zijn tegenover polariserende bundelsplitsers 916A en 916B geplaatst in 20 bundel paden langs een richting E. Richting E hangt in het uiterste geval af van de hoek van de af schuif plaat 902 relatief ten opzichte van invallende bundel 105A. Richtingen B, C, D en E bevinden zich alle in een vlak dat orthogonaal is aan richting A.

In het meetpad breekt het lucht-glasgrensvlak bij I

25 ingangspoort 906A invallende bundel 105A zodanig dat het voortplant door afschuifplaat 902 en op polariserende bundelsplitser 916A. De meetbundel plant zich voort door polariserende bundelsplitser 916A terwijl de referentiebundel wordt gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 916A, waarbij de initiële polarisaties behouden blijven. Bij 30 polariserende bundelsplitser 916A breekt het glas-lucht-grensvlak de meetbundel zodanig dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 922A en 1028723 34 op vlakke meetspiegel 142 valt. In één uitvoeringsvorm heeft vlakke referentiespi egel 144 openingen waardoorheen de meetbundel kan passeren voor het bereiken van vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 922A 5 en terug naar polariserende bundelsplitser 916A. Na kwartlambdaplaat 922A twee keer te zijn gepasseerd wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 916A en plant zich voort door kwartlambdaplaat 930 in retroreflectie-element 932.

Retroreflectie-element 932 verschuift de meetbundel langs 10 richting A en retourneert de meetbundel in een evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 930 op polariserende bundelsplitser 916B. Nadat het kwartlambdaplaat 930 twee keer gepasseerd is plant de nu horizontaal gepolariseerde meetbundel zich voort door polariserende bundelsplitser 916B. Bij polariserende bundelsplitser 916B breekt het lucht-15 glasgrensvlak de meetbundel zodanig dat het zich voortplant door afschuifplaat 902 en op spiegel 908B.

Spiegel 908B reflecteert de meetbundel op tussenliggende poort 918B. Bij tussenliggende poort 918B breekt het glas-lucht-grensvlak de meetbundel zodanig dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 924B 20 en op vlakke meetspiegel 142. In één uitvoeringsvorm heeft vlakke referentiespi egel 144 openingen waardoorheen de meetbundel kan passeren voor het bereiken van vlakke meetspiegel 142. Vlakke meetspiegel 142 reflecteert de meetbundel terug naar zichzelf en de meetbundel volgt zijn spoor terug naar polariserende bundelsplitser 916B. Na kwartlambdaplaat 25 924B twee keer te zijn gepasseerd, wordt de nu verticaal gepolariseerde meetbundel gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 916B en plant zich voort door uitgangspoort 904B. Bij uitgangspoort 904 breekt het glas-lucht-grensvlak de meetbundel zodanig dat het zich voortplant naar een detector.

30 In het referentiepad reflecteert polariserende

bundel splitser 916A de referentiebundel naar spiegel 908A. Spiegel 908A

1028723 __ 35 reflecteert de referentiebundel in tussenliggende poort 918A. Bij tussenliggende poort 918A breekt het glas-lucht-grensvlak de referentiebundel zodanig dat het zich voortplant naar kwartlambdaplaat 924A en op vlakke referentiespi egel 144.

5 Vlakke referentiespi egel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf en de referentiebundel volgt zijn spoor terug naar polariserende bundelsplitser 916A. Na kwartlambdaplaat 924 twee keer te zijn gepasseerd plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort door polariserende bundelsplitser 916A. Bij 10 polariserende bundelsplitser 916A breekt het glas-lucht-grensvlak de referentiebundel zodanig dat het zich voortplant door kwartlambdaplaat 930 en in retroreflector 932.

Retroreflector 932 verschuift de referentiebundel langs een richting A en retourneert de referentiebundel vervolgens in een 15 evenwijdig pad door kwartlambdaplaat 930 en op polariserende bundelsplitser 916B. Na kwartlambdaplaat 30 twee keer te zijn gepasseerd, wordt de nu verticaal gepolariseerde referentiebundel gereflecteerd door polariserende bundelsplitser 916B en plant zich voort door kwartlambdaplaat 922B op vlakke referentiespiegel 144. Vlakke 20 referentiespi egel 144 reflecteert de referentiebundel terug naar zichzelf, door kwartlambdaplaat 922B en terug naar polariserende bundelsplitser 916B. Na kwartlambdaplaat 922B twee keer te zijn gepasseerd, plant de nu horizontaal gepolariseerde referentiebundel zich voort door polariserende bundelsplitser 916B en recombineert met de 25 meetbundel voor het vormen van de uitgaande bundel 105B. Bij polariserende bundelsplitser 916B breekt het lucht-gl asgrensvlak uitgaande bundel 105B zodanig dat het zich voortplant door afschuifplaat 902 en op uitgangspoort 906B. De uitgangspoort 906B breekt het glas-lucht-grensvlak de uitgaande bundel 105B zodanig dat het zich voortplant 30 in de detector.

Zoals hierboven beschreven en getoond in figuur 9B

i 1028723 36 verschaft interferometer 900 een bundel patroon met meetdoorgangen linksboven en rechtsonder, en referentiedoorgangen rechtsboven en linksonder. Natuurlijk kunnen de richtingen van de meet- en de referentiepaden worden omgedraaid en kan het meetpad worden verwisseld 5 met het referentiepad. In andere uitvoeringsvormen is kwartlambdaplaat 930 in zijn geheel verwijderd voor het verschaffen van een ander bundel patroon bestaande uit meetdoorgangen linksboven en rechtsboven, en referentiedoorgangen linksonder en rechtsonder.

Verscheidene aanpassingen en combinaties van kenmerken van 10 de uitvoeringsvormen welke zijn geopenbaard vallen binnen de beschermingsomvang van de uitvinding. Hoewel een optische component is | getoond welk is bevestigd op een verdere optische component, kunnen de componenten eenvoudig aangrenzend aan elkaar geplaatst zijn in het bundel pad. Voorts kan, hoewel kwartlambdaplaten en halflambdaplaten zijn 15 beschreven, de retardatie van deze lambdaplaten worden aangepast teneinde te compenseren voor werkelijke polarisatie van de meet- en referentiebundels. Verscheidene uitvoeringsvormen vallen binnen de navolgende conclusies.

1028723

Claims

1. Interferometersysteem omvattende: een romboïde samenstelling, omvattende: 5 een eerste optische stapeling, omvattende: een eerste prisma omvattende een eerste verticaal vlak en een eerste hoeks vlak; een tweede prisma omvattende een tweede hoeks vlak en een derde hoeks vlak, waarin: 10 het eerste prisma is geplaatst op het tweede prisma door het fixeren van het eerste hoekse vlak aan het tweede hoekse vlak; een eerste grensvlak tussen de eerste 15 en tweede hoekse vlakken een eerste polariserende bundelsplitser (PBS) omvat; het derde hoekse vlak een eerste spiegel omvat; 20 een tweede optische stapeling bovenop de eerste optische stapeling, omvattende: een derde pri sma omvattende een tweede verticaal vlak en een vierde hoeks vlak; een vierde prisma omvattende een vijfde hoeks 25 vlak en een zesde hoeks vlak, waarin: het derde prisma is bevestigd aan het vierde prisma door het fixeren van het vierde hoekse vlak aan het vijfde hoekse vlak; 30 een tweede grensvlak tussen het vierde en het vijfde hoekse vlak een tweede 107872$ polariserende bundelsplitser (PBS) omvat; het zesde hoekse vlak een tweede spiegel omvat; 5 een eerste lambdaplaatelement, een tweede lambdaplaatelement, een derde lambdaplaatelement, en een vierde lambdaplaatelement welke zich in bundel paden bevinden tussen de romboïde samenstelling en ten minste één metingsoptiek en een referentieoptiek; en 10 een richtingswijzigingsoptiek welke zich ten minste aangrenzend aan het eerste verticale vlak en het tweede verticale vlak bevindt.

2. Systeem volgens conclusie 1, verder omvattende: een vijfde lambdaplaatelement welke zich bevindt tussen 15 de richtingswijzigingsoptiek, het eerste verticale vlak en het tweede verticale vlak.

3. Systeem volgens conclusie 2, waarin: het vierde hoekse vlak en het vijfde hoekse vlak hoofdzakelijk zijn uitgelijnd met het derde hoekse vlak; 20 het eerste lambdaplaatelement is bevestigd tegenover de eerste polariserende bundelsplitser (PBS) in een eerste bundel pad tussen de eerste polariserende bundelsplitser en één der ofwel het metingsoptiek ofwel het referentieoptiek; 25 het tweede lambdaplaatelement is bevestigd tegenover de eerste spiegel in een tweede bundel pad tussen de eerste spiegel van ofwel het metingsoptiek ofwel het referentieoptiek; het derde lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de 30 tweede polariserende bundelsplitser in een derde bundel pad tussen de tweede polariserende bundelsplitser 102872*3 en genoemde andere van ofwel het metingsoptiek ofwel het referentieoptiek; het vierde lambdaplaatelement is bevestigd tegenover de tweede spiegel en in een vierde bundel pad tussen de 5 tweede spiegel en genoemde één van het metingsoptiek en het referentieoptiek.

4. Systeem volgens conclusie 3, waarin: het eerste, het tweede, het derde, het vierde en het vijfde lambdaplaatelement kwartlambdaplaten zijn; 10 de eerste en de tweede polariserende bundelsplitsers polariserende bundel splitsende deklagen omvatten; de eerste en de tweede spiegels volledige interne referentiespi egels omvatten; de richtingswijzigingsoptiek een retroreflectie-element 15 is; de metingsoptiek een vlakke meetspiegel is; en de referentieoptiek een vlakke referentiespi egel is.

5. Systeem volgens conclusie 4, waarin het eerste, het tweede, het derde, het vierde, en het vijfde lambdaplaatelement individuele 20 kwartlambdaplaten zijn.

6. Het systeem volgens conclusie 2, waarin: de eerste polariserende bundelsplitser zich tegenover een uitgangspoort in het tweede prisma bevindt; de tweede polariserende bundelsplitser zich tegenover een 25 ingangspoort in de eerste prisma bevindt; het eerste lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de tweede polariserende bundel splitser in een eerste bundel pad tussen de tweede polariserende bundelsplitser en één van ofwel de metingsoptiek of de referentieoptiek; 30 het tweede lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de tweede spiegel in een tweede bundel pad tussen de tweede 1 028 7 2 3 spiegel en de andere van de ofwel metingsoptiek of referentieoptiek; het derde lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de eerste polariserende bundelsplitser in een derde 5 bundel pad tussen de eerste polariserende bundelsplitser en de genoemde andere van de ofwel metingsoptiek of referentieoptiek; het vierde lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de eerste spiegel en in een vierde bundelpad tussen de 10 eerste spiegel en genoemde één van de ofwel metingsoptiek of referentieoptiek.

7. Systeem volgens conclusie 6, waarin: het eerste, het tweede, het derde, het vierde en het vijfde lambdaplaatelement kwartlambdaplaten zijn; 15 de eerste en de tweede polariserende bundelsplitser polariserende bundel splitsende deklagen omvatten; de eerste en de tweede spiegel volledige interne referentiespi egels omvatten; de richtingswijzigingsoptiek een retroreflectie-element 20 is; de metingsoptiek een vlakke meetspiegel is; en de referentieoptiek een vlakke referent!espi egel is.

8. Systeem volgens conclusie 7, waarin het eerste, het tweede, het derde en het vierde lambdaplaatelement individuele 1ambdaplaatelementen 25 zijn.

9. Het systeem volgens conclusie 2, waarin: het zesde hoekse vlak substantieel is uitgelijnd met het eerste hoekse vlak en het tweede hoekse vlak; | het eerste lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de 30 tweede polariserende bundelsplitser in eerste bundelpad tussen de tweede polariserende bundelsplitser en één van 102a723 de ofwel metingsoptiek of de referent!eoptiek; het tweede lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de eerste polariserende bundelsplitser in een tweede bundel pad tussen de eerste polariserende bundelsplitser 5 en de andere van de ofwel metingsoptiek ofwel de referentieoptiek; i het derde lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de tweede spiegel in een derde bundel pad tussen de tweede spiegel en de andere van de metingsoptiek en de 10 referentieoptiek; het vierde lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de eerste spiegel en in een vierde bundel pad tussen de eerste spiegel en de ene van de ofwel metingsoptiek ofwel de referentieoptiek.

10. Systeem volgens conclusie 9, waarin; het eerste, het tweede, het derde, het vierde en het vijfde lambdaplaatelement kwartlambdaplaten zijn; de eerste en de tweede polariserende bundelsplitser polariserende bundelsplitsende deklagen omvatten; 20 de eerste en de tweede spiegel volledige interne referentiespi egels omvatten; de richtingswijzigingsoptiek een retroreflectie-element is; de eerste optiek een vlakke meetspiegel is; en 25 de tweede optiek een vlakke referentiespi egel is.

11. Systeem volgens conclusie 10, waarin het eerste, het tweede, het derde en het vierde lambdaplaatelement individuele kwartlambdaplaatelementen zijn.

12. Interferometer omvattende: 30 een optische stapeling, omvattende: een eerste prisma omvattende een verticaal vlak en 1028723 j j een eerste hoeks vlak; j een tweede prisma omvattende een tweede hoeks vlak en een derde hoeks vlak, waarin: j het eerste prisma is bevestigd op het tweede 5 prisma door het fixeren van het eerste hoekse vlak aan het tweede hoekse vlak; een lager gedeelte van een eerste grensvlak tussen het eerste en het tweede hoekse vlak een eerste polariserende bundelsplitser (PBS) 10 omvat; een derde prisma omvattende een vierde hoeks vlak en een vijfde hoeks vlak, waarin: het tweede prisma is geplaatst op het derde prisma door het fixeren van het derde hoekse 15 vlak aan het vierde hoekse vlak; een tweede grensvlak tussen het derde en het vierde hoekse vlak ten minste een tweede polariserende bundelsplitser (PBS) omvat; het vijfde hoekse vlak een eerste spiegel 20 omvat; een eerste lambdaplaatelement, een tweede lambdaplaatelement, een derde lambdaplaatelement, en een vierde lambdaplaatelement welke zich bevinden in 25 bundel paden tussen de optische stapeling en ten minste één van een metingsoptiek en een referentieoptiek; een richtingswijzigingsoptiek welke ten minste aangrenzend aan het verticale vlak is 30 geplaatst.

13. Systeem volgens conclusie 12, verder omvattende: 1028723 een vijfde lambdaplaatelement welke zich bevindt tussen de richtingswijzigingsoptiek en ten minste een gedeelte | van het verticale vlak.

14. Systeem volgens conclusie 13, waarin de tweede polariserende 5 bundelsplitser een hoger gedeelte van het tweede grensvlak en een lager gedeelte van het tweede grensvlak omvat welke een tweede spiegel omvat.

15. Systeem volgens conclusie 14, waarin: het eerste lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de eerste polariserende bundel splitser in een eerste 10 bundel pad tussen de eerste polariserende bundelsplitser en één van de ofwel metingsoptiek of de referentieoptiek; het tweede lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de tweede spiegel in een tweede bundel pad tussen de tweede spiegel en de andere van de ofwel metingsoptiek of de 15 referentieoptiek; het derde lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de tweede polariserende bundelsplitser in een derde bundel pad tussen de tweede polariserende bundel splitser en de andere van de ofwel metingsoptiek of de 20 referentieoptiek; het vierde lambdaplaatelement is geplaatst tegenover een hoger gedeelte van de eerste spiegel en in een vierde bundel pad tussen het hogere gedeelte van de eerste spiegel en genoemde één van de metingsoptiek en de 25 referentieoptiek.

16. Systeem volgens conclusie 15, waarin: het eerste, het tweede, het derde, en het vierde lambdaplaatelement kwartlambdaplaten zijn; het vijfde lambdaplaatelement is gekozen uit een groep 30 omvattende een halflambdaplaat welke correspondeert met slechts een gedeelte van het verticale vlak of een 1028723 kwartlambdaplaat welke correspondeert met het gehele verticale vlak; de eerste en de tweede polariserende bundelsplitser een polariserende bundelsplitsende deklaag omvatten; 5 de eerste spiegel een volledige interne reflectiespi egel omvat; de tweede spiegel een hoogreflecterende deklaag omvat; de richtingswijzigingsoptiek een retroreflectie-element is; 10 de metingsoptiek een vlakke meetspiegel is; en de referentieoptiek een vlakke referentiespiegel is.

17. Systeem volgens conclusie 16, waarin het eerste, het tweede, het derde, en het vierde lambdaplaatelement individuele kwartlambdaplaten zijn.

18. Systeem volgens conclusie 13, waarin het tweede grensvlak een hoger gedeelte omvat van het derde hoekse vlak en het vierde hoekse vlak, waarin een lager gedeelte van het derde hoekse vlak een tweede spiegel omvat.

19. Systeem volgens conclusie 18, waarin: 20 het eerste lambdaplaatelement is bevestigd tegenover de eerste polariserende bundelsplitser in een eerste bundel pad tussen de eerste polariserende bundelsplitser en één van de ofwel metingsoptiek of de referentieoptiek; het tweede lambdaplaatelement is bevestigd tegenover de 25 eerste spiegel in een eerste bundel pad tussen de tweede spiegel en de andere van de ofwel metingsoptiek of de referentieoptiek; het derde lambdaplaatelement is geplaatst tegenover de tweede polariserende bundelsplitser in een derde 30 bundel pad tussen de tweede polariserende bundelsplitser en de genoemde andere van de ofwel metingsoptiek of de 1028723 referentieoptiek; het vierde lambdaplaatelement is bevestigd tegenover de eerste spiegel in een vierde bundel pad tussen het hogere gedeelte van de eerste spiegel en genoemde één van de 5 ofwel metingsoptiek of de referentieoptiek.

20. Systeem volgens conclusie 19, waarin: het eerste, het tweede, het derde, en het vierde lambdaplaatelement kwartlambdaplaten zijn; het vijfde lambdaplaatelement is gekozen uit een groep 10 omvattende een halflambdaplaat welke overeenkomt met slechts een gedeelte van het verticale vlak of een kwartlambdaplaat welke overeenkomt met het gehele verticale vlak; de eerste en de tweede polariserende bundelsplitser 15 polariserende bundel splitsende deklagen omvatten; de eerste en de tweede spiegel volledige interne reflectiespiegels omvatten; de richtingswijzigingsoptiek een retroreflectie-element is; 20 de metingsoptiek een vlakke meetspiegel is; en de referentieoptiek een vlakke referentiespi egel is.

21. Systeem volgens conclusie 20, waarin het eerste, het tweede, het derde, en het vierde lambdaplaatelement individuele kwartlambdaplaatelementen zijn.

22. Interferometer omvattende: een afschuifplaat omvattende: een eerste vlak omvattende: een ingangspoort; een eerste spiegel aangrenzend aan de 30 ingangspoort; een uitgangspoort aangrenzend aan de eerste 1028723 spiegel; en een tweede spiegel aangrenzend aan de uitgangspoort; een tweede vlak evenwijdig aan het eerste vlak, het 5 tweede vlak omvattende: i een eerste polariserende bundelsplitser (PBS) tegenover de ingangspoort langs een eerste richting en tegenover de eerste spiegel langs een tweede richting; 10 een eerste tussenliggende poort aangrenzend aan de eerste polariserende bundelsplitser en tegenover de eerste spiegel langs de eerste richting; een tweede polariserende bundelsplitser 15 aangrenzend aan de eerste tussenliggende poort en tegenover de uitgangspoort langs de eerste richting en tegenover de tweede spiegel langs de tweede richting; een tweede tussenliggende poort aangrenzend 20 aan de tweede polariserende bundelsplitser en tegenover de tweede spiegel langs de eerste richting; een eerste lambdaplaatelement tegenover de eerste polariserende bundelsplitser in een eerste bundel pad 25 tussen de eerste polariserende bundelsplitser en een eerste optiek langs een derde richting; een tweede lambdaplaatelement tegenover de eerste tussenliggende poort in een tweede bundel pad tussen de eerste tussenliggende poort en een tweede optiek langs de 30 derde richting; een derde lambdaplaatelement tegenover de tweede 1028723 polariserende bundelsplitser in een derde bundel pad tussen de tweede polariserende bundelsplUser en de tweede optiek langs de derde richting; een vierde lambdaplaatelement tegenover de tweede 5 tussenliggende poort in een vierde bundel pad tussen de tweede tussenliggende poort en de eerste optiek langs de derde richting; en een richtingswijzingsoptiek tegenover de eerste en de tweede polariserende bundel splitser in een bundel pad 10 langs een vierde richting.

23. Systeem volgens conclusie 22, omvattende: een vijfde lambdaplaatelement gelegen tussen dé richtingswijzingsoptiek en de eerste en de tweede polariserende bundelsplitser.

24. Systeem volgens conclusie 23, waarin de richtingswijzingsoptiek zodanig is georiënteerd dat het licht retourneert in een verschoven maar evenwijdig pad in een vlak gedefinieerd door de eerste, de tweede, de derde en de vierde richting.

25. Systeem volgens conclusie 24, waarin: 20 het eerste, het tweede, het derde, het vierde en het vijfde lambdaplaatelement kwartlambdaplaten zijn; de eerste en de tweede polariserende bundel spl User polariserende bundel splitsende deklagen omvatten; de ingang, de uitgang, de eerste tussenliggende en de 25 tweede tussenliggende poort antireflectiedeklagen omvatten; de eerste en de tweede spiegel spiegel deklagen omvatten; de richtingswijzingsoptiek een retroreflectie-element is; de eerste optiek een vlakke meetspiegel is; en 30 de tweede optiek een vlakke referentiespi egel is.

26. Systeem volgens conclusie 25, waarin het eerste, het tweede, 1028723 het derde, en het vierde lambdaplaatelement individuele kwartlambdaplaten zijn.

27. Interferometersysteem omvattende: een eerste prisma, omvattende een eerste verticaal vlak, 5 een eerste hoeks vlak, een tweede verticaal vlak, een tweede hoeks vlak, waarin het tweede hoekse vlak een spiegel omvat voor het reflecteren van licht tussen een eerste richting en een tweede richting orthogonaal aan de eerste richting; 10 een tweede prisma omvattende een horizontaal vlak, een derde verticaal vlak, en een derde hoeks vlak, waarin: het tweede prisma is bevestigd op het eerste prisma door het fixeren van het derde hoekse vlak aan het eerste hoekse vlak; 15 een grensvlak tussen de eerste en de derde hoekse vlakken een polariserende bundelsplitser (PBS) omvat gelegen tegenover de spiegel voor het doorlaten van licht langs één van de eerste en de tweede richtingen, en het reflecteren van licht 20 tussen de eerste en de tweede richtingen; een eerste lambdaplaatelement en een tweede 1 ambdaplaatelement-element bevestigd ten minste aangrenzend aan het tweede verticale vlak tegenover de spiegel in een eerste veelheid bundel paden tussen de 25 spiegel en ten minste één van een metingsoptiek en een referentieoptiek; een derde lambdaplaatelement en een vierde 1ambdaplaatelementelement bevestigd ten minste aangrenzend aan het derde verticale vlak tegenover de 30 polariserende bundelsplitser in tweede veelheid bundel paden tussen de polariserende bundelsplitser en ten 1028723 ___ minste één van de metingsoptiek en de referentieoptiek; en een richtingswijzingsoptiek bevestigd ten minste aangrenzend aan het horizontale vlak van het tweede 5 prisma waarbij de richtingswijzingsoptiek licht retourneert in een evenwijdig pad verschoven langs een derde richting orthogonaal aan de eerste en de tweede richtingen.

28. Systeem volgens conclusie 27, verder omvattende: 10 een vijfde lambdaplaatelement welke zich tussen de richtingswijzingsoptiek en het horizontale vlak van het tweede prisma bevindt.

29. Systeem volgens conclusie 28, waarin: het eerste, het tweede, het derde, het vierde en het 15 vijfde lambdaplaatelement kwartlambdaplaten zijn; de polariserende bundelsplitser een polariserende bundel splitsende deklaag omvat; de spiegel een volledige interne reflectiespi egel omvat; de richtingswijzingsoptiek een retroreflectie-element 20 is; de metingsoptiek een vlakke meetspiegel; en de referentieoptiek een vlakke referent!espi egel is.

30. Systeem volgens conclusie 29, waarin het eerste, het tweede, het derde, het vierde en het vijfde lambdaplaatelement individuele 25 kwartlambdaplaten zijn.

31. Interferometersysteem omvattende: een afschuifplaat omvattende: een eerste hoeks vlak omvattende: een ingangspoort; 30 een uitgangspoort aangrenzend aan de ingangspoort; 1028723 een eerste spiegel element; een tweede spiegel element aangrenzend aan de uitgangspoort; een tweede hoeks vlak evenwijdig aan het eerste 5 hoekse vlak, waarbij het tweede hoekse vlak omvat: een eerste polariserend bundel splitsend element tegenover de ingangspoort langs de eerste richting en tegenover de eerste spiegel langs de tweede richting; 10 een tweede polariserend bundel splitsend element tegenover de uitgangspoort langs de eerste richting en tegenover de tweede spiegel langs de tweede richting; een eerste tussenliggende poort tegenover de 15 eerste spiegel langs de eerste richting; een tweede tussengelegen poort tegenover de tweede spiegel langs de eerste richting; een eerste lambdaplaatelement tegenover het eerste polariserend bundel splitsend element in een eerste 20 bundel pad tussen het eerste polariserend bundel splitsend element en een eerste optiek langs een derde richting; een tweede lambdaplaatelement tegenover het tweede polariserende bundel splitsende element in een tweede bundelpad tussen het tweede polariserende 25 bundel splitsende element en een tweede optiek langs de derde richting; een derde lambdaplaatelement tegenover de eerste tussengelegen poort in een derde bundelpad tussen de tussengelegen poort en de tweede optiek langs de derde 30 richting; een vierde lambdaplaatelement tegenover de tweede 1028723 tussengelegen poort in een vierde bundel pad tussen de tweede tussengelegen poort en de eerste optiek langs de derde richting; en een richtingswijzingsoptiek tegenover de eerste en de 5 tweede polariserende bundelsplitsers in een vijfde bundel pad langs een vierde richting.

32. Systeem volgens conclusie 31, omvattende: een vijfde lambdaplaatelement welke zich bevindt tussen de richtingswijzingsoptiek en de eerste en de tweede 10 polariserende bundelsplitsers.

33. Systeem volgens conclusie 32, waarin de richtingswijzingsoptiek zodanig is georiënteerd dat het licht retourneert in een verschoven maar evenwijdig pad welke zich in een vlak bevindt gedefinieerd door de eerste, de tweede, de derde en de vierde richting. *5

34. Systeem volgens conclusie 33, waarin: de ingangspoort en de uitgangspoort een anti reflectieve deklaag omvatten; het eerste spiegel element en het tweede spiegel element een hoogreflectieve deklaag omvatten; ?o het eerste polariserende bundel splitsende element en het tweede polariserende bundel splitsende element één polariserende bundel splitsende deklaag omvatten; en de eerste tussenliggende poort en de tweede tussenliggende poort één anti reflectieve deklaag 25 omvatten.

35. Systeem volgens conclusie 33, waarin: het eerste, het tweede, het derde, het vierde en het vijfde lambdaplaatelement kwartlambdaplaten zijn; de richtingswijzingsoptiek een retroreflectie-element 30 is; de eerste optiek een vlakke meetspiegel is; en 1028723 de tweede optiek een vlakke referentiespi egel is.

36. Systeem volgens conclusie 35, waarin het eerste, het tweede, het derde, het vierde en het vijfde lambdaplaatelement individuele lambdaplaatelementen zijn.

37. Systeem volgens conclusie 32, waarin de richtingswijzingsoptiek zodanig is georiënteerd dat het licht retourneert in een evenwijdig maar verschoven pad langs een vijfde richting orthogonaal aan een vlak gedefinieerd door de eerste, de tweede, de derde en de vierde richting.

38. Systeem volgens conclusie 37 waarin: 10 de ingangspoort en de uitgangspoort anti reflectieve deklagen omvatten; het eerste spiegel element en het tweede spiegel element hoogreflectieve deklagen omvatten; het eerste polariserende bundel splitsende element en het 15 tweede polariserende bundel splitsende element polariserende bundelsplitsende deklagen omvatten; en i de eerste tussenliggende poort en de tweede j tussenliggende poort antireflectieve deklagen omvatten. j

39. Systeem volgens conclusie 38, waarin: j i 20 het eerste, het tweede, het derde, het vierde en het | vijfde lambdaplaatelement kwartlambdaplaten zijn; ! de ingangs- en de uitgangspoorten ten opzichte van elkaar verschoven zijn langs de vijfde richting; het eerste en het tweede spiegel element ten opzichte van 25 elkaar verschoven zijn langs de vijfde richting; het eerste en het tweede polariserende bundel splitsende element ten opzichte van elkaar verschoven zijn langs de vijfde richting; de eerste en de twee tussenliggende poort ten opzichte 30 van elkaar verschoven zijn langs de vijfde richting; de richtingswijzingsoptiek een retroreflectie-element 1028723 is; de eerste optiek een vlakke meetspiegel is; en de tweede optiek een vlakke referentiespi egel is.

40. Systeem volgens conclusie 39, waarin het eerste, het tweede, 5 het derde, het vierde en het vijfde lambdaplaatelement individuele kwartlambdaplaten zijn. 1028723 _