NL1020066C2 - Inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray. - Google Patents

Inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray. Download PDF

Info

Publication number
NL1020066C2
NL1020066C2 NL1020066A NL1020066A NL1020066C2 NL 1020066 C2 NL1020066 C2 NL 1020066C2 NL 1020066 A NL1020066 A NL 1020066A NL 1020066 A NL1020066 A NL 1020066A NL 1020066 C2 NL1020066 C2 NL 1020066C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
mirror
light source
substrate
ultraviolet light
dna test
Prior art date
Application number
NL1020066A
Other languages
English (en)
Inventor
Cornelis Jacobus Mar Heemskerk
Johannes Theodorus Den Dunnen
Jacobus Hubertus Van Boom
Original Assignee
Dutch Space B V
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to NL1020066A priority Critical patent/NL1020066C2/nl
Application filed by Dutch Space B V filed Critical Dutch Space B V
Priority to JP2003570975A priority patent/JP2005518563A/ja
Priority to EP03708728A priority patent/EP1480738B1/en
Priority to AU2003212702A priority patent/AU2003212702A1/en
Priority to DK03708728T priority patent/DK1480738T3/da
Priority to CNB038059231A priority patent/CN100493693C/zh
Priority to ES03708728T priority patent/ES2243891T3/es
Priority to AT03708728T priority patent/ATE297804T1/de
Priority to PCT/NL2003/000144 priority patent/WO2003072240A1/en
Priority to DE60300865T priority patent/DE60300865T2/de
Application granted granted Critical
Publication of NL1020066C2 publication Critical patent/NL1020066C2/nl
Priority to US10/925,528 priority patent/US20050079601A1/en

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/0046—Sequential or parallel reactions, e.g. for the synthesis of polypeptides or polynucleotides; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making molecular arrays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277—Apparatus
    • B01J2219/00351—Means for dispensing and evacuation of reagents
    • B01J2219/00436—Maskless processes
    • B01J2219/00439—Maskless processes using micromirror arrays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277—Apparatus
    • B01J2219/00351—Means for dispensing and evacuation of reagents
    • B01J2219/00436—Maskless processes
    • B01J2219/00441—Maskless processes using lasers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00585—Parallel processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/0059—Sequential processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00596—Solid-phase processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00605—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being directly bound or immobilised to solid supports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00605—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being directly bound or immobilised to solid supports
    • B01J2219/00608—DNA chips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00605—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being directly bound or immobilised to solid supports
    • B01J2219/0061—The surface being organic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00605—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being directly bound or immobilised to solid supports
    • B01J2219/00612—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being directly bound or immobilised to solid supports the surface being inorganic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00605—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being directly bound or immobilised to solid supports
    • B01J2219/00632—Introduction of reactive groups to the surface
    • B01J2219/00637—Introduction of reactive groups to the surface by coating it with another layer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00639—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being trapped in or bound to a porous medium
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00659—Two-dimensional arrays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/0068—Means for controlling the apparatus of the process
    • B01J2219/00686—Automatic
    • B01J2219/00689—Automatic using computers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00709—Type of synthesis
    • B01J2219/00711—Light-directed synthesis
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00718—Type of compounds synthesised
    • B01J2219/0072—Organic compounds
    • B01J2219/00722—Nucleotides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C40—COMBINATORIAL TECHNOLOGY
    • C40B—COMBINATORIAL CHEMISTRY; LIBRARIES, e.g. CHEMICAL LIBRARIES
    • C40B40/00—Libraries per se, e.g. arrays, mixtures
    • C40B40/04—Libraries containing only organic compounds
    • C40B40/06—Libraries containing nucleotides or polynucleotides, or derivatives thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C40—COMBINATORIAL TECHNOLOGY
    • C40B—COMBINATORIAL CHEMISTRY; LIBRARIES, e.g. CHEMICAL LIBRARIES
    • C40B60/00—Apparatus specially adapted for use in combinatorial chemistry or with libraries
    • C40B60/14—Apparatus specially adapted for use in combinatorial chemistry or with libraries for creating libraries

Description

0
Inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray
De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray, omvattende een ultraviolet-lichtbron, een proceskamer die is ingericht voor opname van een substraat waarop de DNA-testarray wordt ge-5 vormd in afhankelijkheid van licht dat afkomstig is van de ultraviolet-lichtbron, en een allocatieorgaan voor het richten van het licht dat afkomstig is van de ultraviolet-lichtbron naar geselecteerde posities op het substraat.
Een dergelijke inrichting is bekend uit het artikel 10 "Maskless fabrication of light-directed oligonucleotide microarrays using a digital micromirror array" van de auteurs Singh-Gason S. et al, gepubliceerd in 1999 in Nature Biotechnology vol. 17, p. 947-978.
In de bekende inrichting wordt een ultraviolet-15 lichtbron gevolgd door een filter en vervolgens een reflec-tiemasker in de vorm van een digitaal microspiegelarray (digital micromirror array). Via dit reflectiemasker wordt het ultraviolette licht via een speciaal projectiescherm op het substraat in de proceskamer gericht voor het vormen van het 20 DNA-testarray. Hierbij is de proceskamer aangesloten op een zogeheten oligosynthesizer welke dient om de respectievelijke vloeistoffen die voor de vorming van het DNA-testarray nodig zijn, naar de proceskamer of daar vanaf te kunnen voeren. Doordat het van de ultraviolet-lichtbron afkomstige licht se-25 lectief op bepaalde posities van het substraat wordt geprojecteerd, vindt een lokale activering plaats van de desbetreffende fotolabiele groep die met genoemde vloeistoffen is aangevoerd. Op deze wijze kan successievelijk op iedere geselecteerde plaats van het substraat een gewenste DNA-30 nucleotide worden gevormd.
De omvang van de met een dergelijke inrichting te fabriceren DNA-testarray bedraagt ten minste 40.000 nucleotide posities, hetgeen met zich meebrengt dat de vorming van een dergelijk array een tijdsintensief proces betreft dat bo-35 vendien aan hoge nauwkeurigheidseisen moet voldoen, teneinde 1C' 2 onjuiste nucleotidevorming in ten opzichte van een belichte positie naastliggende posities te vermijden. Er worden dientengevolge onder andere hoge eisen gesteld aan de nauwkeurigheid en snelheid van het allocatieorgaan voor het richten van 5 het licht dat afkomstig is van de ultraviolet-lichtbron.
Met de uitvinding is beoogd aan deze en andere eisen die in de praktijk aan een inrichting van de in de aanhef bedoelde soort worden gesteld, te voldoen, en om een dergelijke inrichting te verschaffen die tegen relatief lage kosten kan 10 worden vervaardigd en bovendien eenvoudig transporteerbaar is.
De doelstellingen van de uitvinding kunnen worden bereikt met een inrichting die voldoet aan één of meer van de aan het slot van de beschrijving gegeven conclusies.
15 In een eerste aspect is de inrichting erdoor geken merkt, dat het allocatieorgaan ten minste een motor-aangedreven spiegel omvat, waartoe de spiegel is aangebracht op een roteerbare spoel die is opgesteld tussen polen van een magneetveld opwekkend orgaan, en dat het allocatieorgaan een 20 instelbare stroombron heeft die is aangesloten op de spoel voor besturing van de stand van de spiegel. Gebleken is dat hiermee een snel en nauwkeurig werkend allocatieorgaan wordt verkregen van betrekkelijk geringe complexiteit dat bovendien tegen lage kosten gerealiseerd kan worden.
25 Geschikt laat een dergelijke inrichting zich reali seren door toepassing van een als zodanig bekende galvano-spiegel voor het allocatieorgaan.
Bij voorkeur is voor het realiseren van een gunstige energiehuishouding de spiegel diëlektrisch gecoat voor het 30 realiseren van een reflectiecoëfficiënt van ten minste .99 in het relevante golfgebied van het te reflecteren licht.
Het heeft verder de voorkeur dat de motor van de spiegel temperatuurgestabiliseerd is. Met deze maatregel is een hoge reproduceerbaarheid van het instelgedrag van het al-35 locatieorgaan gewaarborgd.
In een verder aspect van de uitvinding is de inrichting erdoor gekenmerkt, dat in de lichtweg tussen de spiegel en het substraat een F-theta lens is geplaatst. Dit verhoogt 3 verder de nauwkeurigheid van de positionering van de lichtbundel op het substraat. Doorgaans is immers dit substraat plat uitgevoerd, zodat een correctie nodig is van het door de spiegel gereflecteerde licht waarvan het brandvlak slechts op 5 de spiegelas in het vlak van het substraat zal liggen. Een geschikte F-theta lens die zich hiertoe laat toepassen, is een dergelijke lens van de firma Sill Opties uit Duitsland met het typenummer S4 LFT 3100.
Voor een goede werking van de inrichting is verder 10 wenselijk dat de ultraviolet-lichtbron werkzaam is in het bereik 340-390 nm, bij voorkeur circa 350 nm. Bij voorkeur wordt dit gerealiseerd door toepassing van een frequentie verdrievoudigde NdrYAG laser. Met een dergelijke diodelaser is tegen lage kosten een weinig energievergende lichtbron be-15 schikbaar die beantwoordt aan de eisen welke worden gesteld aan een inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray.
De uitvinding zal nu verder worden toegelicht aan de hand van een niet-beperkend uitvoeringsvoorbeeld en onder 20 verwijzing naar de tekening, welke in een enkele figuur schematisch een inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray volgens de uitvinding toont.
In de figuur is een inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray getoond, welke een ultraviolet-25 lichtbron 1 omvat, en verder een proceskamer 3 die is ingericht voor opname van een substraat 6 waarop de DNA-testarray wordt gevormd. Dit substraat heeft de vorm van bijvoorbeeld glas of polypropyleen of een ander geschikt materiaal.
Voor het vormen van de DNA-testarray is verder voor-30 zien in een allocatieorgaan 2, dat richting geeft aan het licht afkomstig van de ultraviolet-lichtbron 1 voor het belichten van geselecteerde posities op het substraat 6 dat zich in de proceskamer 3 bevindt. Verder is voorzien in leidingen 4 voor aan- en afvoer van vloeistoffen die vereist 35 zijn bij de te belichten posities op het substraat 6, teneinde aldaar de gewenste nucleotidevorming te realiseren.
Het allocatieorgaan 2 is volgens de uitvinding uit-gevoerd als een motoraangedreven spiegel of spiegels, die ie- 4 der zijn aangebracht op roteerbare spoelen die zich in een magneetveld bevinden, bijvoorbeeld doordat de spoelen zich bevinden tussen de polen van een permanente magneet. In de figuur is verder een computergestuurde regelaar 5 getoond, 5 welke ertoe dient om de door de spoel of spoelen te voeren stroom in te stellen, zodat de daarop geplaatste spiegel een gewenste stand inneemt welke overeenkomt met de te belichten positie op het substraat 6. Een en ander is in de figuur zeer schematisch aangegeven, maar is aan de vakman geheel duide-10 lijk, zodat een nadere toelichting achterwege kan blijven.
Het heeft voordeel om voor het genoemde allocatieor-gaan 2 een als zodanig bekende galvanospiegel te gebruiken. Een dergelijke galvanospiegel is sinds jaar en dag reeds bekend, heeft een zeer hoge nauwkeurigheid, en staat tegen re-15 latief lage kosten ter beschikking.
Het is overigens voordelig en doorgaans ook wenselijk dat de motor van de spiegel temperatuurgestabiliseerd is, bijvoorbeeld op circa 50°C, teneinde daarmee te bereiken dat een grote mate van reproduceerbaarheid van het instelge-20 drag van de spiegel beschikbaar is.
Het allocatieorgaan 2 omvat bij voorkeur een zogeheten F-theta lens die in de lichtweg tussen de spiegel en het substraat 6 is geplaatst. De wijze waarop dit dient te worden uitgevoerd, is voor de vakman geheel bekend, zodat een verde-25 re toelichting achterwege kan blijven.
Voor de ultraviolet-lichtbron is het wenselijk dat gebruik gemaakt wordt van een bron die werkzaam is in het bereik 340-390 nm, bij voorkeur circa 350 nm.
De uitvinder stelt in het bijzonder voor gebruik te 30 maken van een Nd:YAG laser die in frequentie verdrievoudigd is. Een dergelijke diodelaser beantwoordt aan het doel en is tegen lage kosten beschikbaar te stellen.

Claims (6)

1. Inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray, omvattende een ultraviolet-lichtbron, een proces-kamer die is ingericht voor opname van een substraat waarop 5 de DNA-testarray wordt gevormd in afhankelijkheid van licht dat afkomstig is van de ultraviolet-lichtbron, en een alloca-tieorgaan voor het richten van het licht dat afkomstig is van de ultraviolet-lichtbron naar geselecteerde posities op het substraat, met het kenmerk, dat het allocatieorgaan ten min-10 ste een motor-aangedreven spiegel omvat, waartoe de spiegel is aangebracht op een roteerbare spoel die is opgesteld tussen polen van een magneetveld opwekkend orgaan, en dat het allocatieorgaan een instelbare stroombron heeft die is aangesloten op de spoel voor besturing van de stand van de spie-15 gel.
2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het allocatieorgaan een galvanospiegel is.
3. Inrichting volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de motor van de spiegel temperatuurgestabiliseerd 20 is.
4. Inrichting volgens een der conclusies 1-3, met het kenmerk, dat in de lichtweg tussen de spiegel en het substraat een F-theta lens is geplaatst.
5. Inrichting volgens een der voorgaande conclusies, 25 met het kenmerk, dat de ultraviolet-lichtbron werkzaam is in het bereik 340-390 nm, bij voorkeur circa 350 nm.
6. Inrichting volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat de ultraviolet-lichtbron een frequentie verdrievoudigde Nd:YAG laser is.
NL1020066A 2002-02-26 2002-02-26 Inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray. NL1020066C2 (nl)

Priority Applications (11)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1020066A NL1020066C2 (nl) 2002-02-26 2002-02-26 Inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray.
EP03708728A EP1480738B1 (en) 2002-02-26 2003-02-25 Apparatus for treatment of light-sensitive biopolymers
AU2003212702A AU2003212702A1 (en) 2002-02-26 2003-02-25 Apparatus for treatment of light-sensitive biopolymers
DK03708728T DK1480738T3 (da) 2002-02-26 2003-02-25 Apparat til behandling af lysfölsomme biopolymerer
JP2003570975A JP2005518563A (ja) 2002-02-26 2003-02-25 感光性バイオポリマーを処理するための装置
CNB038059231A CN100493693C (zh) 2002-02-26 2003-02-25 用于处理光敏生物聚合物的装置
ES03708728T ES2243891T3 (es) 2002-02-26 2003-02-25 Aparato para el tratamiento de biopolimeros sensibles a la luz.
AT03708728T ATE297804T1 (de) 2002-02-26 2003-02-25 Vorrichtung zur behandlung von lichtempfindlichen biopolymeren
PCT/NL2003/000144 WO2003072240A1 (en) 2002-02-26 2003-02-25 Apparatus for treatment of light-sensitive biopolymers
DE60300865T DE60300865T2 (de) 2002-02-26 2003-02-25 Vorrichtung zur behandlung von lichtempfindlichen biopolymeren
US10/925,528 US20050079601A1 (en) 2002-02-26 2004-08-25 Apparatus for treatment of light-sensitive biopolymers

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1020066 2002-02-26
NL1020066A NL1020066C2 (nl) 2002-02-26 2002-02-26 Inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1020066C2 true NL1020066C2 (nl) 2003-08-27

Family

ID=27764666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1020066A NL1020066C2 (nl) 2002-02-26 2002-02-26 Inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray.

Country Status (10)

Country Link
US (1) US20050079601A1 (nl)
EP (1) EP1480738B1 (nl)
JP (1) JP2005518563A (nl)
CN (1) CN100493693C (nl)
AT (1) ATE297804T1 (nl)
AU (1) AU2003212702A1 (nl)
DE (1) DE60300865T2 (nl)
ES (1) ES2243891T3 (nl)
NL (1) NL1020066C2 (nl)
WO (1) WO2003072240A1 (nl)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2722105A1 (en) 2012-10-22 2014-04-23 Universität Wien Method of in situ synthesizing microarrays

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01167649A (ja) * 1987-12-23 1989-07-03 Hitachi Software Eng Co Ltd Ｄｎａシーケンス転写方法
DE10027119A1 (de) * 2000-05-23 2001-12-06 Epigenomics Ag Vorrichtung und Verfahren zur photolithographischen Belichtung von biologischen Stoffen

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5246866A (en) * 1987-12-23 1993-09-21 Hitachi Software Engineering Co., Ltd. Method for transcription of a DNA sequence
US5143854A (en) * 1989-06-07 1992-09-01 Affymax Technologies N.V. Large scale photolithographic solid phase synthesis of polypeptides and receptor binding screening thereof
US5424186A (en) * 1989-06-07 1995-06-13 Affymax Technologies N.V. Very large scale immobilized polymer synthesis
US5736257A (en) * 1995-04-25 1998-04-07 Us Navy Photoactivatable polymers for producing patterned biomolecular assemblies
US5780857A (en) * 1996-10-04 1998-07-14 Wallac Oy Apparatus for imaging biochemical samples on substrates
ATE234674T1 (de) * 1996-11-14 2003-04-15 Affymetrix Inc Chemische amplifizierung zur synthese von musterordnungen
US5910262A (en) * 1997-02-06 1999-06-08 International Business Machines Corporation Method and tool for laser texturing of glass substrates
US6465178B2 (en) * 1997-09-30 2002-10-15 Surmodics, Inc. Target molecule attachment to surfaces
DE69909972T2 (de) * 1998-02-11 2004-05-13 University Of Houston, Houston Vorrichtung zur durchführung chemischer und biochemischer reaktionen unter anwendung von photoerzeugten reagenzien
US6373565B1 (en) * 1999-05-27 2002-04-16 Spectra Physics Lasers, Inc. Method and apparatus to detect a flaw in a surface of an article
US6653151B2 (en) * 1999-07-30 2003-11-25 Large Scale Proteomics Corporation Dry deposition of materials for microarrays using matrix displacement

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01167649A (ja) * 1987-12-23 1989-07-03 Hitachi Software Eng Co Ltd Ｄｎａシーケンス転写方法
DE10027119A1 (de) * 2000-05-23 2001-12-06 Epigenomics Ag Vorrichtung und Verfahren zur photolithographischen Belichtung von biologischen Stoffen

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ANONYMOUS: "DIGITAL OPTICAL CHEMISTRY", ANONYMOUS, 14 June 1999 (1999-06-14), XP002126303 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 013, no. 438 (P - 939) 3 October 1989 (1989-10-03) *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2003072240A1 (en) 2003-09-04
CN100493693C (zh) 2009-06-03
AU2003212702A1 (en) 2003-09-09
EP1480738B1 (en) 2005-06-15
ES2243891T3 (es) 2005-12-01
US20050079601A1 (en) 2005-04-14
EP1480738A1 (en) 2004-12-01
CN1642631A (zh) 2005-07-20
DE60300865D1 (de) 2005-07-21
ATE297804T1 (de) 2005-07-15
JP2005518563A (ja) 2005-06-23
DE60300865T2 (de) 2006-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100722724B1 (ko) 기판을 노광시키는 방사 에너지의 라인 소스를 구비하는장치
TWI298825B (en) Lithographic apparatus and device manufacturing method
JP6705016B2 (ja) 構成層のキャリア対象への接着性を向上させるための装置及び方法
TWI305608B (en) Lithographic apparatus and method of manufacturing a device involving fine structures
TW200307854A (en) Lithographic apparatus, and device manufacturing method
JP5165014B2 (ja) リソグラフィ装置、円形コンベヤ、及びデバイス製造方法
JP2003524892A5 (nl)
TWI277841B (en) Methods and systems for lithographic beam generation
WO2008080099A2 (en) Laser optical system
TW200823605A (en) System and method to compensate for critical dimension non-uniformity in a lithography system
KR20060051252A (ko) 리소그래피 장치 및 디바이스 제조방법
TWI243968B (en) Lithographic apparatus and device manufacturing method
NL1020066C2 (nl) Inrichting voor het vervaardigen van een DNA-testarray.
TW200841119A (en) Reducing fast ions in a plasma radiation source
US9642234B2 (en) EUV light generator apparatus having a droplet generator configured to control a droplet position using a magnetic field
TWI255395B (en) Lithographic projection apparatus, semiconductor device manufacturing method and computer readable recording medium
JPH08150487A (ja) デポジション装置
TW584909B (en) Microelectronic substrate edge bead processing apparatus and method
EP3761344A1 (en) System and method for spatially controlling an amount of energy delivered to a processed surface of a substrate
CA2917069C (en) Heat-light separation for a uv radiation source
US20110065611A1 (en) Apparatus for treatment of light-sensitive biopolymers
JPS62143426A (ja) 光照射装置
EP0961676A1 (en) Apparatus for the photo-initiated chemical cross-linking of material
JP4791179B2 (ja) リソグラフィ装置及びデバイス製造方法
WO2022212738A1 (en) Uv lithography system and method

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
VD1 Lapsed due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20090901