NL1009956C2 - Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding op een substraat. - Google Patents

Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding op een substraat. Download PDF

Info

Publication number
NL1009956C2
NL1009956C2 NL1009956A NL1009956A NL1009956C2 NL 1009956 C2 NL1009956 C2 NL 1009956C2 NL 1009956 A NL1009956 A NL 1009956A NL 1009956 A NL1009956 A NL 1009956A NL 1009956 C2 NL1009956 C2 NL 1009956C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
coating
substrate
permeability
reactive
applying
Prior art date
Application number
NL1009956A
Other languages
English (en)
Inventor
Marius Pieter De Goeje
Peter Hillebrand De Haan
Gerardus Titus Van Heck
Original Assignee
Tno
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tno filed Critical Tno
Priority to NL1009956A priority Critical patent/NL1009956C2/nl
Priority to EP99941871A priority patent/EP1115901A1/en
Priority to PCT/NL1999/000533 priority patent/WO2000012778A1/en
Priority to AU55346/99A priority patent/AU760293B2/en
Priority to CA002341696A priority patent/CA2341696A1/en
Priority to JP2000567760A priority patent/JP2002523235A/ja
Priority to US09/763,764 priority patent/US6649224B1/en
Application granted granted Critical
Publication of NL1009956C2 publication Critical patent/NL1009956C2/nl
Priority to NO20010965A priority patent/NO20010965L/no

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40Oxides
    • C23C16/401Oxides containing silicon
    • C23C16/402Silicon dioxide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • C23C16/503Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using dc or ac discharges

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Description

Titel: Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding op een substraat.
De uitvinding heeft betrekking op het aanbrengen van een bekleding (coating) op diverse substraten, waaronder het aanbrengen van barrière lagen op kunststoffen.
Het aanbrengen van bekledingen op allerlei 5 substraten, zoals op kunststoffolie of op uit kunststof gevormde voorwerpen, op metalen, of op andere materialen vormt een belangrijk middel voor het verbeteren van de (oppervlakte) eigenschappen van dergelijke substraten. Te denken valt bijvoorbeeld aan het verbeteren van de slijt-10 en/of krasvastheid van kunststoffen, de corrossie- resistentie van metalen, en vooral op het verbeteren van de barrière eigenschappen van kunststoffen zoals bij polyesterflessen of polyester- of polyolefinefolies. Met name laatstgenoemde toepassing is van groot commercieel en 15 technisch belang, aangezien het merendeel van de kunststoffen matige tot slechte barrière eigenschappen heeft voor zuurstof en C02. Dit betekent dat dergelijke kunststoffen minder geschikt zijn voor toepassing als verpakkingsmateriaal voor zuurstof en C02 gevoelige 20 materialen en voedingsmiddelen.
Kunststofmaterialen welke voldoende barrière eigenschappen hebben, zijn bijvoorbeeld PVDC, evenals laminaten van niet-barrière kunststoffen met andere kunststoffen, zoals EVOH en dergelijke, of metalen, zoals 25 aluminium, die wel een goede barrière functie bezitten. Het gebruik van dit soort systemen stuit echter op andere bezwaren, bijvoorbeeld vanuit milieu oogpunt. Enerzijds zijn chloorhoudende kunststoffen minder gewenst in, met name, vuilverbranding, terwijl anderzijds meerlaags 30 systemen vanuit het oogpunt van hergebruik nadelen bezitten.
Er bestaat derhalve behoefte aan een systeem, waarbij op een kunststof of een ander substraat een 1 009956 - 2 bekleding aangebracht kan worden, welke bekleding aan het substraat extra nuttige eigenschappen geeft. De onderhavige uitvinding voorziet nu in deze behoefte.
De uitvinding betreft in een eerste variant een 5 werkwij ze voor het aanbrengen van een bekleding op ten minste één oppervlak van een substraat, waarbij genoemd substraat gebracht wordt in een atmosfeer die ten minste één chemisch reactieve verbinding bevat en vervolgens met behulp van een corona ontlading op het oppervlak van het 10 substraat een bekleding gevormd wordt uit genoemde reactieve verbinding.
Verrassenderwijs is gebleken dat het mogelijk is een bekleding te vormen door een geschikte chemisch reactieve verbinding met behulp van een corona ontlading te activeren 15 tot het vormen van een bekleding op het oppervlak.
Geschikte reactieve verbindingen zijn onder meer silicium-houdende verbindingen welke in de gasfase gebracht kunnen worden, zoals silanen en siloxanen.
Meer in het bijzonder zijn geschikt de verbindingen 20 die zijn gegeven in de tabel 1.
1 GO 92 bö 1 3
Tabel 1: Voorbeelden van reactieve componenten voor het vormen van een coating op een substraat met behulp van de reactieve corona techniek.
_naam__afkorting__structuur_
Hexamethyl- HMDSO ^3 disiloxaan H3C-Si-0-Si-CH3 __CH3 CH3_
Tetraethoxy- TEOS
silaan O
o I o ___°Ί 1,1,3,3-Tetra- TMDSO CH3 CH3
methyldisiloxaan H-Si-O-Si-H
__ch3 ch3_ 2,4,6,8,10- Pent a - - H3C>^ ^ methylcyclo- pentasiloxaan H\ / V/ 3 ✓ Si Si
H y I I N H
H>c o o „ \ / H Si Si-CH3 / \ / \ ___h3c o h_ 1,1,3,3,5,5,7,7- - f”3 F”3 f”3 fHj
H- Si-0 ~Si —O—Si-O-Si—H
Octamethyl- I I I I
CHj CH, CH, CH, tetrasiloxaan___ 5
De keus van de verbinding hangt af van diverse factoren. In de eerste plaats zijn de gewenste eigenschappen van de bekleding van belang. Ook speelt een rol op welk substraat de bekleding aangebracht moet worden.
< " '' : ' i S ' i 4
Geschikte substraten zijn vooral metalen en kunststoffen. Zoals reeds aangegeven is, kan de uitvinding met voordeel toegepast worden voor het verlenen van barrière eigenschappen aan kunststoffen die van zichzelf 5 deze eigenschappen niet bezitten. Voorbeelden daarvan zijn polyester flessen en polypropeen films. Deze materialen worden veelal toegepast voor het verpakken van dranken en voedingsmiddelen. Daarbij is van belang dat er geen zuurstof bij kan komen, dan wel dat er geen C02 kan 10 ontsnappen. Door het aanbrengen van een bekleding op de hierboven beschreven wijze verkrijgt men op eenvoudige wijze een enkellaags kunststof met een bekleding daarop die verder bij verwerking en/of hergebruik geen nadelige effecten geeft.
15 De bekleding wordt aangebracht door het oppervlak in contact te brengen met een gasfase waarin zich tenminste één chemische reactieve verbinding bevindt. In aanwezigheid van deze gasfase wordt vervolgens een corona behandeling uitgevoerd. Corona behandelingen zijn op zich bekend, 20 bijvoorbeeld voor het bevorderen van hechting van inkten en lijmen op kunststoffen.
Een coronabehandeling bestaat uit het onderwerpen van het oppervlak aan een coronaontlading gedurende een beperkte tijd (1 seconde tot enkele minuten). Een corona-25 ontlading is een stabiele elektrische ontlading tussen twee elektroden in een gas met een druk van meer dan 0,2 bar (typisch 0,8 tot 1,0 bar). De ontlading wordt in stand gehouden met een AC hoogspanning (spanning: 5 tot 30 kV, frequentie: 15 tot 30 kHz). Een van de beide elektroden of 30 beide elektroden zijn bekleed met een diëlektricum. Een schematische voorstelling van een opstelling voor coronabehandeling is gegeven in figuur 1.
De druk waarbij de behandeling plaats vindt bedraagt bij voorkeur ten minste 0,2 bar, meer in het bijzonder ten 35 minste 1 bar.
4 ,Λ / ' i Si s ' f 5
De uitvinding heeft tenslotte ook nog betrekking op een substraat waarvan ten minste één oppervlak voorzien is van een bekleding op de hierboven beschreven wijze.
De uitvinding wordt thans toegelicht aan de hand van 5 enkele voorbeelden.
In een experimentele opstelling zijn vlakke folies voorzien van een coating vervaardigd met het' reactieve coronaproces. Er zijn twee verschillende substraatfolies gebruikt, te weten een PET film, 12 μπι dik, biaxiaal 10 verstrekt, zonder verdere specificaties en een PP film, V47 PED 10 (Hoechst) , 10 μπι dik, verstrekt.
Er zijn verschillende combinaties van elektroden en diëlektrica (zie figuur 1) toegepast. Deze combinaties worden opgesomd in tabel 2.
15
Tabel 2: Overzicht van de verschillende combinaties van elektroden en diëlektrica voor de reactieve corona.
# geaarde diëlektricum corona diëlektricum afstand rol 1 elektrode 2 1 metaal, rubber, metaal, - 2-3 mm 100 mm 0 2,3 mm 12,8 mm 0 2 metaal, rubber, metaal, - 1,7 mm 100 mm 0 2,3 mm 50 mm 0 spacer 3 metaal, rubber, metaal, rubber, 1,7 mm 100 mm 0 2,3 mm 50 mm 0 2 mm spacer 4 metaal, rubber, metalen glas buis, 2-3 mm 100 mm 0 2,3 mm ballen, 1,8 mm 29.7 mm 0 5 'aquadag' keramiek, metalen glas buis, 1 mm 121 mm 0 10,1 mm ballen, 1,8 mm spacer 29.7 mm 0 20 In configuratie 5 wordt de geaarde rol gevormd door een keramiek buis aan de binnenzijde voorzien van een laag 'aquadag', i.e. een elektrisch geleidend grafiet coating.
1009956· 6
In configuraties 4 en 5 bestaat de coronaelektrode uit een glazen buis gevuld met metalen bolletjes als geleidende elektrode.
De gasatmosfeer waarin de reactieve component wordt 5 gebracht, en waarin de coronaontlading wordt opgewekt, heeft invloed op de aard van de coating die op het substraat ontstaat. In tabel 3 wordt een overzicht gegeven van de verschillende gassamenstellingen waarmee de substraat folies van een coating zijn voorzien.
10
Tabel 3: Voorbeelden van de samenstelling van de gasatmosfeer waarin de reactieve component wordt opgenomen.
ft Samenstelling 1 Stikstof (droog), 0,9(a), 0,5(b), 0,2 (c) bar 2 Stikstof (nat, 0,9 bar) 3 Lucht, omgevingscondities, 0,9 bar 4 Lucht, droog, 0,9 bar 5 Lucht, nat, 0,9 bar 6 Lucht/stikstof (droog), 0,9 bar, a verhouding: 0,007:0,9 b 0,013:0,9 c 0,1:0,8 d 0,5 : 0,4 7 Lucht (nat)/stikstof (droog), 0,9 bar, a verhouding: 0,007:0,9 b _0,5 : 0,4_ 15 Er zijn coatings aangebracht op substraatfolies, waarbij de volgende condities zijn gevarieerd: elektrodenconfiguratie, partiële druk van de reactieve component, de samenstelling en totale druk van de gasatmosfeer, het vermogen van de coronaontlading en de tijdsduur van de 20 behandeling. Van de folies met coating is vervolgens de doorlaatbaarheid voor zuurstof gemeten. De doorlaatbaarheid < Γ) r> " : . · 7 van een folie voor een gas wordt uitgedrukt in cm3/mz dag.bar. In tabel 4 zijn als voorbeeld enige resultaten gegeven van de doorlaatbaarheid van het PP folie met coatings aangebracht onder verschillende condities. In 5 de tabel zijn gegeven: de reactieve component met de partiële druk, de gasatmosfeer (zie tabel 3), de elektrodenconfiguratie (zie tabel 2), het coronavermogen, de behandeltijd, en voor verschillende monsters per conditie de gemeten doorlaatbaarheid voor zuurstof. Bij 10 deze experimenten is een folie met een oppervlak van ca. 0,05 m2 voorzien van een coating. Bij de experimenten die ten grondslag liggen aan de resultaten in tabel 4 is de tijdsduur van de coronabehandeling gevarieerd. De doorlaatbaarheid van de folies met coating wordt vergeleken met de 15 doorlaatbaarheid van het PP folie zonder een coating (PP v).
Tabel 4: Doorlaatbaarheid voor zuurstof van PP folies met een coating aangebracht met de reactieve coronatechniek.
20 ________ exp. reactieve gas config. P[W] t[min] # doorlaat- component baarheid [cm3/m2 dag.bar] PPv - - 3100 PP 76 TEOS, 2 3 75 5 1 2400 1 mbar 2 2400 PP 75 TEOS, 2 3 75 10 1 60 1 mbar 2a 60 2b _70_ PP 80 TEOS, 2 3 75 20 la 20 1 mbar lb 160 2 60 3 70
Het is duidelijk dat de aangebracht coating de doorlaatbaarheid van het folie aanzienlijk vermindert.
ΐ ^ 8
Metingen aan de dikte van enkele van de vervaardigde coatings laten zien dat de dikte van de coating ligt in de orde grootte 0,1 tot 1 μτπ.
In tabel 5 zijn enige andere resultaten van de 5 experimenten weergegeven. Bij deze metingen is gebruik gemaakt van twee typen gasatmosfeer, te weten natte (RV 100%) stikstof (2) en droge (RV <15%) stikstof. De coating is aangebracht op een PP folie en de reactieve component is TEOS (partiële druk 1 mbar). De 10 doorlaatbaarheid van de folies met coating wordt vergeleken met de doorlaatbaarheid van het PP folie zonder een coating (PP v). Uit de tabel blijkt dat een natte stikstofatmosfeer resulteert in een coating met een aanzienlijk lagere doorlaatbaarheid voor zuurstof dan een droge 15 stikstofatmosfeer. Verder blijkt uit de tabel dat de : reproduceerbaarheid van de behandeling redelijk goed is.
Tabel 5: Doorlaatbaarheid voor zuurstof van PP folies met een coating aangebracht met de reactieve coronatechniek.
20 ________,___ exp. reactieve gas config. P[W] t[min] # doorlaat- component baarheid [cm3/m5 dag.bar] PPv - - 3100_ PP 80 TEOS, 2 3 75 20 la 20 1 mbar lb 160 2 60 ___3__70_ PP 81 TEOS, 2 3 75 20 1 70 1 mbar __ PP 87 TEOS, la 3 75 20 1 850 1 mbar PP 88 TEOS, la 3 75 20 1 2300 1 mbar 2 1800 1 009956 i 9
Tenslotte wordt in tabel 6 de doorlaatbaarheid voor zuurstof gegeven van het PP folie en het PET folie met een coating aangebracht met behulp van de reactieve coronatechniek. De doorlaatbaarheid van de folies met 5 coating wordt vergeleken met de doorlaatbaarheid van de overeenkomstige folies zonder coating (PET v en PP v, respectievelijk).
Tabel 6: Doorlaatbaarheid voor zuurstof van PP folie en 10 PET folie met een coating aangebracht met de reactieve coronatechniek.
exp. reactieve gas config. P[W] t[min] # doorlaat- component baarheid [cm3/m2 dag.bar] PET v - 1 103 2 _70_ PP 91 TEOS, 2 3 75 20 la 40 1 mbar lb 9 lc 8 __2 _6_ PPv - - 3100_ PP 80 TEOS, 2 3 75 20 la 20 1 mbar lb 160 2 60 3 _70_
Er is weer een duidelijke afname van de 15 doorlaatbaarheid van zuurstof ten gevolge van het aanbrengen van een coating met behulp van de reactieve coronatechniek.
< ·" f. - · t ’ ;

Claims (11)

1. Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding op ten minste één oppervlak van een substraat, waarbij genoemd substraat gebracht wordt in een atmosfeer die ten minste één chemisch reactieve verbinding bevat en vervolgens met 5 behulp van een corona ontlading op het oppervlak van het substraat een bekleding gevormd wordt uit genoemde reactieve verbinding.
2. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij genoemde bekleding een remmende werking heeft op de doorlaatbaarheid 10 van damp- en/of gas.
3. Werkwijze volgens conclusie l of 2, waarbij genoemde bekleding een remmende werking heeft op de doorlaatbaarheid van waterdamp, C02, en/of zuurstof.
4. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij de bekleding 15 corrosie remmende werking heeft.
5. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij de bekleding de slijt- en krasvastheid van het oppervlak verbetert.
6. Werkwijze volgens conclusies 1-5, waarbij als substraat een polyester of een polyolefine materiaal 20 toegepast wordt.
7. Werkwijze volgens conclusie 6, waarbij als substraat en polyalkyleen tereftalaat of een polypropeen materiaal toegepast wordt.
8. Werkwijze volgens conclusies 1-7, waarbij de 25 chemisch reactieve verbinding een reactieve silicium verbinding is, bij voorkeur een silaan of een siloxaan.
9. Werkwijze volgens conclusie 8, waarbij de verbinding tetraethoxysilaan is.
10. Werkwijze volgens conclusies 1-9, waarbij de corona 30 ontlading plaatsvindt door het aanleggen van een spanning van ten minste 5 kV. n '· t , ' • » .1
11. Substraat bekleed met een bekleding gevormd uit een reactieve chemische verbinding, verkrijgbaar onder toepassing van de werkwijze volgens conclusies 1-10. n ' t ' .»-> Ί
NL1009956A 1998-08-27 1998-08-27 Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding op een substraat. NL1009956C2 (nl)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1009956A NL1009956C2 (nl) 1998-08-27 1998-08-27 Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding op een substraat.
EP99941871A EP1115901A1 (en) 1998-08-27 1999-08-27 Method for applying a coating to a substrate
PCT/NL1999/000533 WO2000012778A1 (en) 1998-08-27 1999-08-27 Method for applying a coating to a substrate
AU55346/99A AU760293B2 (en) 1998-08-27 1999-08-27 Method for applying a coating to a substrate
CA002341696A CA2341696A1 (en) 1998-08-27 1999-08-27 Method for applying a coating to a substrate
JP2000567760A JP2002523235A (ja) 1998-08-27 1999-08-27 基板へのコーティングの塗布方法
US09/763,764 US6649224B1 (en) 1998-08-27 1999-08-27 Method for applying a coating to a substrate
NO20010965A NO20010965L (no) 1998-08-27 2001-02-26 Fremgangsmåte for påföring av et belegg på et substrat

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1009956A NL1009956C2 (nl) 1998-08-27 1998-08-27 Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding op een substraat.
NL1009956 1998-08-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1009956C2 true NL1009956C2 (nl) 2000-02-29

Family

ID=19767717

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1009956A NL1009956C2 (nl) 1998-08-27 1998-08-27 Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding op een substraat.

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6649224B1 (nl)
EP (1) EP1115901A1 (nl)
JP (1) JP2002523235A (nl)
AU (1) AU760293B2 (nl)
CA (1) CA2341696A1 (nl)
NL (1) NL1009956C2 (nl)
NO (1) NO20010965L (nl)
WO (1) WO2000012778A1 (nl)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070049499A1 (en) * 2005-08-24 2007-03-01 Basf Corporation. Pesticide composition
JP4809022B2 (ja) * 2005-09-05 2011-11-02 Hoya株式会社 コンタクトレンズ材料の製造方法およびソフトコンタクトレンズの製造方法
US9339770B2 (en) 2013-11-19 2016-05-17 Applied Membrane Technologies, Inc. Organosiloxane films for gas separations
KR20210094694A (ko) 2020-01-21 2021-07-30 삼성전자주식회사 기판 처리 장치, 물질막 증착 장치, 및 상압 화학 기상 증착 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0577447A1 (fr) * 1992-06-17 1994-01-05 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procédé pour former un dépôt contenant du silicium à la surface d'un substrat métallique, procédé de traitement anti-corrosion
US5527629A (en) * 1990-12-17 1996-06-18 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Process of depositing a layer of silicon oxide bonded to a substrate of polymeric material using high pressure and electrical discharge

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5254688A (en) * 1975-10-30 1977-05-04 Sumitomo Chem Co Ltd Method of producing semipermeable memebrane
DE19515069A1 (de) * 1995-04-27 1996-10-31 Suratech Gmbh Verfahren zur Herstellung anorganischer Schichten auf Festkörperoberflächen mit Hilfe einer Coronaentladung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5527629A (en) * 1990-12-17 1996-06-18 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Process of depositing a layer of silicon oxide bonded to a substrate of polymeric material using high pressure and electrical discharge
EP0577447A1 (fr) * 1992-06-17 1994-01-05 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procédé pour former un dépôt contenant du silicium à la surface d'un substrat métallique, procédé de traitement anti-corrosion

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
THYEN R ET AL: "Plasma-enhanced chemical-vapour-deposition of thin films by corona discharge at atmospheric pressure", FIFTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLASMA SURFACE ENGINEERING, GARMISCH-PARTENKIRCHEN, GERMANY, 9-13 SEPT. 1996, vol. 97, no. 1-3, ISSN 0257-8972, Surface and Coatings Technology, Dec. 1997, Elsevier, Switzerland, pages 426 - 434, XP002101532 *

Also Published As

Publication number Publication date
NO20010965D0 (no) 2001-02-26
EP1115901A1 (en) 2001-07-18
CA2341696A1 (en) 2000-03-09
NO20010965L (no) 2001-04-25
JP2002523235A (ja) 2002-07-30
WO2000012778A1 (en) 2000-03-09
AU760293B2 (en) 2003-05-08
AU5534699A (en) 2000-03-21
US6649224B1 (en) 2003-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Deshmukh et al. The mechanism of adhesion and printability of plasma processed PET films
US9848641B2 (en) Nicotine delivery system
Grüniger et al. Influence of film structure and composition on diffusion barrier performance of SiOx thin films deposited by PECVD
JP2003535939A (ja) ポリマー及び容器用の透過バリヤー層
WO2008122293A1 (en) Packaging laminate, method for manufacturing of the packaging laminate and packaging container produced there from
NL1009956C2 (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding op een substraat.
Grundmeier et al. Tailoring of the morphology and chemical composition of thin organosilane microwave plasma polymer layers on metal substrates
TWI691412B (zh) 氣阻性層積體及其製造方法、電子裝置用元件以及電子裝置
Parker et al. Plasma modification of mica
EP1623072A1 (en) Method for plasma treating paper and cardboards
US4814199A (en) Process for preparing metallizable polyolefin films
JPH05504991A (ja) 重合体状材料からなる支持体に接着させる酸化珪素の薄層を沈着させる方法
CA3072406C (en) Gas barrier laminated body
JP2010516850A (ja) ポリマー基材の表面を処理する方法、それによって得られる基材及び多層材料の製造におけるその使用
Boscher et al. Plasma polymer membranes for immobilising metalloporphyrins
Novak et al. Study of adhesion and surface properties of low‐density poly (ethylene) pre‐treated by cold discharge plasma
EP1155818B1 (en) Multilayered film and process for producing the same
EP2636521A1 (en) Gas-barrier laminate film
EP3160715A1 (en) A process for producing a security film and a security film
Prachar et al. Plasma grafting of polypropylene with organosilanes and its alkylamine treatment
Loh et al. Surface modification of polyimide films by graft copolymerization
JP2002210860A (ja) 離型フィルムおよびその製造法
JP2022118091A (ja) バリアフィルム、積層体、包装製品及びバリアフィルムの製造方法
JP3751124B2 (ja) ガスバリア性フィルムとその製造法
JP2004137419A (ja) ポリエチレンテレフタレートフィルム及び積層体

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
VD1 Lapsed due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20060301