MD4924B1 - Procedeu de obţinere a straturilor de titan - Google Patents

Abstract

Invenţia se referă la tehnologia de obţinere a straturilor de titan pe substraturi de semiconductori, izolatori şi poate fi aplicată în metalurgie, industria chimică, alimentară, medicină.Procedeul de obţinere a straturilor de titan constă în depunerea titanului pe substraturi eterogene prin metoda reacţiei chimice de transport într-un reactor la presiune joasă cu utilizarea hidrogenului în calitate de gaz de protecţie şi transport, în care titanul este transportat din spaţiul sursei de un flux de clorură de hidrogen diluat în fluxul de hidrogen în cantitate de 7-10 % după volum, la temperatura sursei de titan de 850°C, depunerea straturilor se efectuează la temperatura de 500-1000°C pe substraturi eterogene, care sunt rotite de un flux gazos cu o viteză de 50 rpm, timp de 5-20 de minute.