LT6404B - Lazerinis rastrų formavimo įrenginys - Google Patents
Lazerinis rastrų formavimo įrenginys Download PDFInfo
- Publication number
- LT6404B LT6404B LT2015093A LT2015093A LT6404B LT 6404 B LT6404 B LT 6404B LT 2015093 A LT2015093 A LT 2015093A LT 2015093 A LT2015093 A LT 2015093A LT 6404 B LT6404 B LT 6404B
- Authority
- LT
- Lithuania
- Prior art keywords
- raster
- laser
- base
- displacement
- raster forming
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Charge And Discharge Circuits For Batteries Or The Like (AREA)
Abstract
Lazerinis rastrų formavimo įrenginys taikomas tikslių linijinių matavimo skalių gamybai lazeriniu būdu. Įrenginys pasižymi tuo, kad rastrų padėties detektavimo įtaisai yra sumontuoti ant įrenginio pagrindo atžvilgiu paslankių mechanizmų, kurie turi precizines jų poslinkio pagrindo atžvilgiu matavimo sistemas, jų poslinkio pavarų ir fiksavimo korpuso atžvilgiu užduotoje padėtyje mechanizmus.
Description
Išradimas yra susijęs su linijinių matavimo skalių gamyba. Konkrečiai jis gali būti taikomas precizinių metalinių rastrinių liniuočių gamybai lazeriniu būdu.
Yra žinomi skalių brūkšnių formavimo įrenginiai, turintys lazerinę brūkšnių formavimo statmenai juostos judesiui įrangą (US 4406939).
Šių įrenginių trūkumas yra tas, kad formuojamo brūkšnio pozicija nevaldoma pagal juostos padėtį lazerio spindulio atžvilgiu ir nekontroliuojamas vidinių ir išorinių temperatūros trikdžių terminis poveikis formuojamos skalės paklaidai. Todėl toki įrenginiai gali būti taikomi tik netikslių rastrinių struktūrų formavimui.
Artimiausiu pagal techninę prasmę yra lazerinis skalių formavimo įrenginys, turintis plieno juostos transportavimo ir jos pastovaus įtempimo palaikymo mechanizmus, rastrų formavimo ant juostos lazerinę sistemą, juostos poslinkio matavimo sistemą su kampo keitikliu, du arba daugiau pastoviu atstumu tarpusavyje sumontuotus rastrų padėties detektavimo įtaisus, valdiklį Valdikliu pagal rastrų padėties detektavimo įtaisų rodmenis yra valdomas lazerio spindulio aktyvinimas (EP 2 390 045 A2)..
Šių lazerinių rastrų formavimo įrenginių trūkumas yra tas, kad matuojant skalės paklaidas keliais fiksuotose padėtyse sumontuotais mikroskopais neužtikrinamas aukštas suformuotos skalės paklaidos matavimo tikslumas, nes atstumas tarp mikroskopų ašių yra žymiai didesnis negu atstumas tarp formuojamų rastrinių elementų. Todėl negali būti nustatytos tikslios korekcinės reikšmės lazerio spindulio aktyvinimo valdymui. Ši sistema geriau yra tinkama skalių paklaidų, atsirandančių dėl įrenginio vidinių ir išorinių trikdžių terminių poveikio kompensacijai.
Šio išradimo tikslas yra formuojamų rastrų tikslumo padidinimas.
Tikslas yra pasiekiamas tuo, kad lazeriniame rastrų formavimo įrenginyje, sudarytame iš pagrindo, plieno juostos transportavimo ir jos pastovaus įtempimo mechanizmo, lazerinės rastrų formavimo ant juostos sistemos, juostos poslinkio matavimo sistemos, valdančios lazerio spindulio aktyvavimą, du rastrų padėties detektavimo įtaisus, lazerio spindulio aktyvinimo valdiklį, rastrų padėties detektavimo įtaisai yra sumontuoti ant įrenginio pagrindo atžvilgiu paslankių mechanizmų, kurie turi precizines jų poslinkio pagrindo atžvilgiu matavimo sistemas, jų poslinkio pavarų ir fiksavimo korpuso atžvilgiu užduotoje padėtyje mechanizmus.
Išradimas iliustruojamas brėžiniu, kuriame fig.1 schemiškai parodytas lazerinis skalių formavimo įrenginys.
Lazerinis skalių formavimo įrenginys sudarytas iš pagrindo 1, plieno juostos 2, ant kurios formuojamas rastras, juostos transportavimo ir įtempimo mechanizmo 3,4, juostos poslinkio matavimo sistemos 5, lazerio 6, lazerio spindulio kreipimo sistemos 7, juostos kreipimo mechanizmo 8, ant pagrindo pritvirtintos kreipiamosios 9, jos atžvilgiu paslankių karietėlių su guoliais 10,11, prie karietėlių 10,11 pritvirtintų rastrinių elementų padėties detektavimo įtaisų 12, 13 ir karietėlių poslinkio matavimo sistemų galvučių 14, 15, prie korpuso pritvirtintos karietėlių 10, 11 poslinkio matavimo sistemos skalės 16 ir karietėlių 10,11 poslinkio pavarų mechanizmų 17,18.
Lazerinis skalių formavimo įrenginys veikia taip.
Plieno juosta yra transportuojama pagrindo ir ant jo sumontuotų junginių atžvilgiu. Tuo metu lazerine sistema ant jos formuojama rastrinė struktūra iki pirmasis suformuotas rastro elementas sutampa su rastrinių elementų padėties detektavimo įtaiso 12, pavyzdžiui, mikroskopo su CCD kamera, optine ašimi, esančia padėtyje B. Juosta stabdoma ir fiksuojama šioje padėtyje. Karietėle 10 mikroskopas 12 perslenkamas išilgai kreipiamosios 12 iki padėties A ir fiksuojamas šioje padėtyje. Perslinkimas atliekamas mechanizmu 17. Karietėlės perslinkimo metu linijinių poslinkių matavimo sistema, sudaryta iš linijinės skalės 16 ir matavimo galvutės 14, matuojamas karietėlės poslinkis ir mikroskopu 12 detektuojama suformuotų rastrų padėtis. Pagal mikroskopų ir linijinių poslinkių matavimo sistemos rodmenis nustatoma kalibruotų brūkšnių padėtis pirmojo brūkšnio atžvilgiu. Jas sulyginant su nominaliaisiais dydžiais randama skalės paklaida. Po to karietėle 11 mikroskopas 13 perstatomas į B padėtį taip, kad jo optinė ašis sutaptų su pirmuoju suformuoto rastro elementu. Karietėle fiksuojama šioje padėtyje.
Tokiu būdu kalibravus suformuoto rastro paklaidas atkarpoje tarp padėčių A ir B formuojamas rastrinė struktūra formuojama toliau ir mikroskopais 12 ir 13 detektuojamos rastrų elementų, praslenkančių pro jų optines ašis, padėtys. Įvertinant jų rodmenis ir pro mikroskopą 13 praslenkančio rastro elemento jau žinomą rastrinių elementų padėties paklaidą, surandama pro mikroskopą 12 praslenkančių rastro elementų paklaida. Tokiu būdu tiesiogiai sulyginant su precizinės matavimo sistemos rodmenimis yra kalibruojamas tik tam tikras bazinis skalės ilgis. Tolimesnių rastrinių elementų padėties paklaida nustatoma įvertinant nustatytą minėtu būdu prieš juos esančių rastrinių elementų padėties paklaidą. Tokiu būdu yra pasiekiamas aukštas formuojamos rastrinės struktūros paklaidų matavimo tikslumas.
Įvertinant aukštu tikslumu nustatytas skalės paklaidas yra atliekama lazerio spindulio aktyvavimo valdymo duomenų korekcija ir taip padidinamas formuojamos rastrinės struktūros tikslumas.
Claims (1)
- Išradimo apibrėžtis1. Lazerinis rastrų formavimo įrenginys, sudarytas iš bazės, plieno juostos traukimo ir jos pastovaus įtempimo mechanizmo, lazerinės rastrų formavimo ant juostos sistemos, juostos poslinkio matavimo sistemos, valdančios lazerio spindulio aktyvavimą, du rastrų padėties detektavimo įtaisus, besiskiriantis tuo, kad rastrų elementų padėties detektavimo įtaisai yra sumontuoti ant įrenginio bazės atžvilgiu paslankių karietėlių, kurios turi precizines jų poslinkio pagrindo atžvilgiu matavimo sistemas, jų poslinkio ir fiksavimo užduotoje padėtyje bazės atžvilgiu mechanizmus.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2015093A LT6404B (lt) | 2015-11-02 | 2015-11-02 | Lazerinis rastrų formavimo įrenginys |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2015093A LT6404B (lt) | 2015-11-02 | 2015-11-02 | Lazerinis rastrų formavimo įrenginys |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| LT2015093A LT2015093A (lt) | 2017-05-10 |
| LT6404B true LT6404B (lt) | 2017-06-26 |
Family
ID=58667387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| LT2015093A LT6404B (lt) | 2015-11-02 | 2015-11-02 | Lazerinis rastrų formavimo įrenginys |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| LT (1) | LT6404B (lt) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4406939A (en) | 1980-09-24 | 1983-09-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for the manufacture of a code disk for optical incremental shaft encoders and absolute shaft encoders |
| EP2390045A2 (en) | 2002-01-18 | 2011-11-30 | Renishaw Plc. | Method and apparatus for laser marking an object |
-
2015
- 2015-11-02 LT LT2015093A patent/LT6404B/lt not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4406939A (en) | 1980-09-24 | 1983-09-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for the manufacture of a code disk for optical incremental shaft encoders and absolute shaft encoders |
| EP2390045A2 (en) | 2002-01-18 | 2011-11-30 | Renishaw Plc. | Method and apparatus for laser marking an object |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| LT2015093A (lt) | 2017-05-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9335145B2 (en) | Apparatus and method for measuring the thickness of a measurement object | |
| US9062963B2 (en) | Thickness measurement system and thickness measurement method | |
| JP6488073B2 (ja) | ステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置 | |
| WO2013174680A3 (en) | Adjustment device and mask inspection device with such an adjustment device | |
| JP5833831B2 (ja) | 厚さ測定装置、及び厚さ測定方法 | |
| KR20100131452A (ko) | 가변 곡률반경에서의 연장형 가공물의 연속 절곡용 롤러 벤딩 머신의 검사 및 제어방법, 및 그 제어 머신 | |
| EP2813811A1 (en) | Inside-diameter measurement device | |
| KR101432155B1 (ko) | 스테이지 스케일 보정 방법 | |
| US8924176B2 (en) | Industrial machine | |
| JP6412735B2 (ja) | 光学式距離検出器を用いた厚さ測定装置 | |
| JP2008051696A (ja) | 光軸偏向型レーザ干渉計、その校正方法、補正方法、及び、測定方法 | |
| US20190108970A1 (en) | Charged particle beam device | |
| DE10050749A1 (de) | Laserinterferenzeinrichtung | |
| US11410866B2 (en) | Apparatus and method for linearly moving movable body relative to object | |
| KR102010068B1 (ko) | 에지부 두께 측정 장치 및 방법 | |
| TW201632832A (zh) | 形狀測量裝置、加工裝置及形狀測量裝置的校正方法 | |
| JP6611177B2 (ja) | 形状計測装置及び加工装置 | |
| JP2008064577A (ja) | ノギス | |
| LT6404B (lt) | Lazerinis rastrų formavimo įrenginys | |
| US20170205225A1 (en) | Device and method for measuring the width and thickness of a flat object | |
| KR101679339B1 (ko) | 선형 위치 결정 장치 및 이의 오차 보상 방법 | |
| KR20170137253A (ko) | 위치 조절 장치 및 이를 구비한 페이스트 디스펜서 | |
| CN103258769B (zh) | 用于将加工工具相对于工件定位的装置和方法 | |
| JP2009139176A5 (lt) | ||
| US20220349832A1 (en) | Self Calibration Formal Inspection System and Method of using it to Inspect Article |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| BB1A | Patent application published |
Effective date: 20170510 |
|
| FG9A | Patent granted |
Effective date: 20170626 |
|
| MM9A | Lapsed patents |
Effective date: 20201102 |