LT2003036A - Mikroelektromechaninio jungiklio gamybos būdas - Google Patents
Mikroelektromechaninio jungiklio gamybos būdasInfo
- Publication number
- LT2003036A LT2003036A LT2003036A LT2003036A LT2003036A LT 2003036 A LT2003036 A LT 2003036A LT 2003036 A LT2003036 A LT 2003036A LT 2003036 A LT2003036 A LT 2003036A LT 2003036 A LT2003036 A LT 2003036A
- Authority
- LT
- Lithuania
- Prior art keywords
- layer
- microelectromechanical
- electron
- electrodes
- substrate
- Prior art date
Links
Landscapes
- Manufacture Of Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
Išradimas priskiriamas mikroelektromechaninių sistemų (MEMS) klasei, konkrečiai mikroelektromechaninių jungiklių gamybai. Mikroelektromechaninio jungiklio gamybos būdas, kuriame ant didžiavaržio puslaidininkinio padėklo (1) formuoja elektrodus, užneša aukojamąjį sluoksnį, kurį padengia mechaniškai atsparia medžiaga, iš kurios formuoja gembę (5), išėsdinant po ja aukojamąjį sluoksnį, tiesioginės fotolitografijos būdu gembės (5) atramos (7) srityje formuoja fraktalines mikrostruktūras, kur elektroniniu būdu užgarina aliuminio sluoksnį, jame išėsdina kaukę, kelis kartus pakaitomis atliekant skystinį izotopinį ir sausąjį anizotropinį išėsdinimus ir galiausiai išėsdina aliuminio sluoksnį, po to atvirkštinės fotolitografijos būdu formuoja ištakos (2), užtūros (3) ir santakos (4) elektrodus, kur ant padėklo (1) užneša fotorezistą, sudaro jame elektrodų piešinį ir ant viso fotorezisto sluoksnio vakuuminio garinimo elektrodų pluošteliu metodu formuoja chromo dangą, kurią vakuuminio termorezistyvinio garinimo būdu padengia aukso sluoksniu, o ant fotorezisto užgaravusius metalų sluoksnius pašalina organiniame tirpiklyje, po to ant viso padėklo paviršiaus elektronų pluošteliu metodu užgarina aukojamąjį vario sluoksnį, kuriame atlieka dalinį vario paėsdinimą kontaktinėms gembės viršūnėlėms (6) suformuoti, o gembės atramos (7) srityje tiesioginės fotolitografijos būdu atlieka gilų vario ėsdinimą ir atidengia kontaktinį aukso sluoksnį, po to atvirkštinės fotolitografijos būdu formuoja gembę (5), kur vakuuminio garinimo elektronų pluošteliu metodu sudaro aukso sluoksnį, ant kurio auginaelektrocheminę nikelio dangą ir galutinai išėsdina
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2003036A LT5208B (lt) | 2003-05-12 | 2003-05-12 | Mikroelektromechaninio jungiklio gamybos būdas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2003036A LT5208B (lt) | 2003-05-12 | 2003-05-12 | Mikroelektromechaninio jungiklio gamybos būdas |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| LT2003036A true LT2003036A (lt) | 2004-11-25 |
| LT5208B LT5208B (lt) | 2005-04-25 |
Family
ID=33432472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| LT2003036A LT5208B (lt) | 2003-05-12 | 2003-05-12 | Mikroelektromechaninio jungiklio gamybos būdas |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| LT (1) | LT5208B (lt) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5578976A (en) | 1995-06-22 | 1996-11-26 | Rockwell International Corporation | Micro electromechanical RF switch |
| CA2211830C (en) | 1997-08-22 | 2002-08-13 | Cindy Xing Qiu | Miniature electromagnetic microwave switches and switch arrays |
-
2003
- 2003-05-12 LT LT2003036A patent/LT5208B/lt not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| LT5208B (lt) | 2005-04-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1502273B1 (en) | Micro-electro-mechanical switch, and methods of making and using it. | |
| EP0751546B1 (en) | Micro electromechanical RF switch | |
| JP3641018B2 (ja) | 磁気マイクロ接触器の製造方法 | |
| US20060181375A1 (en) | Microswitching element | |
| EP2460762B1 (en) | MEMS device having reduced stiction and manufacturing method | |
| US20100015744A1 (en) | Micro-Electromechanical Device and Method of Making the Same | |
| US7851976B2 (en) | Micro movable device and method of making the same using wet etching | |
| KR100627139B1 (ko) | 미세기전 구조물 그 제조방법 | |
| JP2009009884A (ja) | Ｍｅｍｓスイッチ及びその製造方法 | |
| JP2006518911A (ja) | バンプ型ｍｅｍｓスイッチ | |
| KR960012328A (ko) | 반도체 장치에 밀접하게 이격 배치된 금속 전극을 형성하는 방법 | |
| JP4528771B2 (ja) | マイクロメカニカル素子の製造方法 | |
| LT2003036A (lt) | Mikroelektromechaninio jungiklio gamybos būdas | |
| KR100482911B1 (ko) | 마이크로미케니컬 부품 및 그 제조 방법 | |
| US20070172988A1 (en) | Microstructure manufacturing method and microstructure | |
| JP2004160638A (ja) | 構造要素およびその製造法 | |
| US20160181040A1 (en) | Mems structure with multilayer membrane | |
| JP4174761B2 (ja) | 機構デバイスの製造方法及び機構デバイス | |
| JP2004127605A (ja) | マイクロスイッチ及びその製造方法 | |
| KR100532991B1 (ko) | 고주파 스위치 제조방법 | |
| KR100320190B1 (ko) | 고주파 스위치의 구조 및 그 제조방법 | |
| JP2005504415A (ja) | マイクロメカニカル・スイッチ及び同スイッチを製造する方法 | |
| US20050029660A1 (en) | Adhesions of structures formed from materials of poor adhesion | |
| KR100513716B1 (ko) | 자동 정렬 진동판의 제조 방법 | |
| JP2000117700A (ja) | マイクロメカニカル式の装置のための製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM9A | Lapsed patents |
Effective date: 20090512 |