KR980010505A - 휨 방지를 위한 액정표시소자용 기판 - Google Patents

Abstract

본 발명은 글래스 기판의 중앙부인 실제 패턴 영역은 물론 글래스 기판의 가장자리인 더미 패턴 영역에도 패턴들을 형성하여 글래스 기판의 휨 저항력을 증대시켜 후속 공정들이 진행되는 동안 글래스 기판의 휨을 방지한다.

따라서, 본 발명은 글래스 기판이 공정이 진행되는 동안 휘어지지 않아 글래스 기판에 원하는 공정 조건들을 정확하게 실시되어 양호한 품질의 액정표시소자를 얻을 수 있다.

Description

휨 방지를 위한 액정표시소자용 기판

본 발명은 액정표시소자용 기판에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 실제의 패턴 영역을 제외한 더미(dummy) 패턴 영역에 패턴을 형성하여 글래스 기판의 휨 저항력을 증가시켜 제조 공정이 진행되는 동안 글래스 기판의 휘어지지 않도록 한 휨 방지를 위한 액정표시소자용 기판에 관한 것이다.

최근 화상 정보의 전달 매체로서 표시 장치의 소형화 및 고품질화에 많은 관심이 집중됨에 따라 지금까지 사용되어 왔던 부피가 큰 CRT(cathode ray tube)를 대신하는 각종의 평판표시장치가 개발, 보급되고 있다. 이러한 평판표시장치들중의 하나인 액정표시장치는 화질의 색상 측면에서 CRT에 필적할 정도이거나 그 이상으로 수준으로 발전되었다.

특히, 액정 기술과 반도체 기술이 혼합된 액티브 매트릭스형 액정 평판표시장치는 매트릭스 형태로 배열된 각 화소들에 배선형 특성을 갖춘 액티브 소자들이 부가되어 액정의 전기 광학적 효과에 메모리 기능이 구비된 것으로, 통상의 박막 트랜지스터 또는 박막 다이오드를 이용하여 매트릭스의 화소 선택형 어드레스 배선과 함께 수 만개의 내지 수 백만개가 유리 기판상에 집적화되어 매트릭스 회로를 구성한다.

제1도는 종래의 액정표시소자의 구조를 나타낸 평면도이다.

종래의 액정표시소자용 글래스 기판(1)의 표면 중앙부에 액정표시소자를 위한 패턴들이 형성될 2 개의 실제 패턴 영역들(3)이 각각 위치하고, 아무런 패턴들이 형성되지 않고 빈 영역으로 형성될 더미(dummy) 패턴 영역(5)이 상기 실제 패턴 영역들(3)을 에워싸고 있고, 전극라인(7)이 양극산화된 상태로 글래스 기판(1)의 표면위에 정해진 패턴으로 형성되어 있다.

상기 글래스 기판(1)이 박막 증착 공정과 포토 공정과 에칭 공정의 일련의 공정에 의해 처리됨에 따라 상기 실제 패턴 영역들(3)위에 TFT를 위한 비정질실리콘층(도시 안됨)이 증착되고, 상기 비정질실리콘층위에 TFT 전극을 위한 ITO 금속층이 증착, 패터닝되고 글래스 기판(1)위에 전극 라인(7)이 정해진 패턴으로 증착, 패터닝된다.

그러나, 상기 글래스 기판(1)의 실제 패턴 영역(3)에 집중적으로 패턴들이 형성되고 더미 패턴 영역(5)에 패턴들이 거의 형성되지 않아 글래스 기판(1)의 실제 패턴 영역(3)과 더미 패턴 영역(5)사이에 휨이 발생하게 된다. 상기 글래스 기판(1)이 휘어지면, 후속의 공정들이 진행되는 동안 글래스 기판(1)이 깨어지거나, 진공을 필요로 하는 공정에서 원하는 진공도가 유지되지 않거나, 스테퍼(stepper)의 마스크 정합이 제대로 이루어지지 않아 액정표시장치의 글래스 기판위에 액정표시장치의 패턴들이 정확하게 형성되지 않는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 글래스 기판의 휨 저항력을 증가시켜 글래스 기판위에 액정표시장치의 패턴들을 정확하게 형성하도록 한 휨 방지를 위한 액정표시소자용 기판을 제공하는데 있다.

제1도는 종래 기술에 의한 액정표시소자용 기판의 구조를 나타낸 평면도.

제2도는 본 발명에 의한 휨 방지를 액정표시소자용 기판의 구조를 나타낸 평면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 글래스 기판 3 : 실제 패턴 영역

5 : 더미(dummy) 패턴 영역 7 : 전극 라인

11 : 글래스 기판 13 : 실제 패턴 영역

15 : 더미 패턴 영역 16 : 패턴

17 : 전극 라인

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 글래스 기판의 실제 패턴 영역뿐만 아니라 더미 패턴 영역에도 패턴들을 형성하여 글래스 기판의 휨 저항력을 증대시킴으로써 액정표시소자의 제조 공정이 진행되는 동안 글래스 기판의 휨을 방지하여 글래스 기판에 패턴들을 정확하게 형성하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 의한 휨 방지를 위한 액정표시소자용 기판을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

제2도는 본 발명에 의한 휨 방지를 액정표시소자용 기판의 구조를 나타낸 평면도이다.

제2도에 도시된 바와 같이, 본 발명의 액정표시소자용 글래스 기판(11)의 표면 중앙부에 액정표시소자를 위한 패턴들이 형성될 2 개의 실제 패턴 영역들(13)이 각각 위치하고, 아무런 패턴들이 형성되지 않고 빈 영역으로 형성될 더미 패턴 영역(15)이 상기 실제 패턴 영역들(13)을 에워싸고 있고, 전극라인(17)이 양극산화된 상태로 글래스 기판(11)의 표면위에 정해진 패턴으로 형성되어 있다. 또한, 더미 패턴 영역15)에 소정의 기능을 갖지 않는 패턴들(16)이 형성되어 있다.

이와 같이 구성되는 본 발명의 글래스 기판(11)의 실제 패턴 영역(13)에 패턴들이 형성됨은 물론 더미 패턴 영역(15)에도 패턴들(16)이 형성되어 글래스 기판(11)의 전면에 패턴들이 비교적 균일하게 형성된다. 따라서, 글래스 기판(11)의 휨 저항력이 증대되므로 글래스 기판(11)의 힘이 현저히 억제된다.

이러한 상태의 글래스 기판(11)이 액정표시소자를 위한 일련의 공정들에 의해 처리되는 동안 글래스 기판(11)이 깨어지거나, 진공을 필요로 하는 공정에서 원하는 진공도가 유지되지 않거나, 스테퍼의 마스크 정합이 제대로 이루어지지 않아 액정표시장치의 글래스 기판위에 액정표시장치의 패턴들이 정확하게 형성되지 않는 문제점을 해결할 수 있다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 글래스 기판의 중앙부인 실제 패턴 영역은 물론 글래스 기판의 가장자리인 더미 패턴 영역에도 패턴들을 형성하여 글래스 기판의 휨 저항력을 증대시켜 후속 공정들이 진행되는 동안 글래스 기판의 휨을 방지한다.

따라서, 본 발명은 글래스 기판이 공정이 진행되는 동안 휘어지지 않아 글래스 기판에 원하는 공정 조건들을 정확하게 실시되어 양호한 품질의 액정표시소자를 얻을 수 있다.

Claims (1)

1. 중앙부에 실제 패턴 영역이 위치하고 상기 실제 패턴 영역의 주위에 더미 패턴 영역이 위치하는 액정표시소자용 기판에 있어서, 상기 글래스 기판의 실제 패턴 영역과 더미 패턴 영역에 패턴들이 형성되어 글래스 기판의 휨을 방지하는 것을 특징으로 하는 휨 방지를 위한 액정표시소자용 기판.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.