KR980005718A - 웨이퍼의 건조장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼의 세정후 그 웨이퍼를 건조하는 시핀건조장치(spin dryer)에 관한 것으로서, 그 구성은 상기 웨이퍼(70)를 챔버(10)내로 이송하기 위한 웨이퍼이송부(50)와; 상기 웨이퍼이송부(50)에 의해 이송되는 웨이퍼를 수납하여 스핀건조하기 위해 이탈되지 않도록 유지하는 웨이퍼홀더(40); 상기 웨이퍼홀더 (40)를 지지하는 용기(30)와; 상기 용기(30)를 상방향에서 하방향으로 회전시키는 용기회전부(20)를 구비한다. 상기 스핀건저장치에 의하면, 린스조를 통과한 카세트를 이용하지 않고 그 장치내에 있는 웨이퍼 수납용 홀더를 이용하여 스핀건조하기 때문에 카세트의 오염에 의한 웨이퍼의 건조불량을 방지함은 물론 오염된 카세트에 기인한 웨이퍼의 2차 오염을 방지할수 있다. 게다가 습식공정에서 사용된 화학용액에 의한 외형적으로 변형된 카세트를 사용하지 않기 때문에, 그로 인한 웨이퍼으 파손을 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 내지 제5도는 본 발명의 일실시예에 따라 웨이퍼를 수용하여 스핀건조하기 위한 웨이퍼건조장치의 작동과정을 보여주고 있는 도면.
Claims (2)
- 습식공정후 웨이퍼(70)를 챔버(10)내에서 스핀 건조하는 웨이퍼 건조장치에 있어서, 상기 웨이퍼(70)를 챔버(10)내로 이송하기 위한 웨이퍼이송부(50)와; 상기 웨이퍼이송부(50)에 의해 이송되는 웨이퍼를 수납하여 스핀건조하기 위해 이탈되지 않도록 유지하는 웨이퍼홀더(40); 상기 웨이퍼홀더 (40)를 지지하는 용기(30)와; 상기 용기(30)를 상방향에서 하방향으로 회전시키는 용기회전부(20)를 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼건조장치.
- 습식공정후 웨이퍼(70)를 챔버(10)내에서 스핀 건조하는 웨이퍼 건조장치에 있어서, 상기 웨이퍼(70)를 챔버(10)내로 이송하기 위한 웨이퍼 이송부(50)와; 상기 웨이퍼 이송부(50)에 의해 이송되는 웨이퍼를 수납하여 스핀건조하기 위해 이탈되지 않도록 유지하는 복수의 웨이퍼홀더(40); 상기 웨이퍼홀더 (40)를 지지하는 복수의 용기(30)와; 상기 용기(30)를 상방향에서 하방향으로 회전시키는 복수의 용기회전부(20)를 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼건조장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960022359A KR980005718A (ko) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 웨이퍼의 건조장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960022359A KR980005718A (ko) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 웨이퍼의 건조장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005718A true KR980005718A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960022359A KR980005718A (ko) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 웨이퍼의 건조장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005718A (ko) |
-
1996
- 1996-06-19 KR KR1019960022359A patent/KR980005718A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |