KR980005290A - 배기가스 연소방법 및 그 장치 - Google Patents

배기가스 연소방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 노즐 선단이 막혀 연소효율이 저하되는 것을 막고, 더욱이 저농도의 배기가스라도 충분히 처리하는 것이 가능한 배기가스 연소방식 및 그 장치를 제공하는 것이다. 연소실에 접속된 배기가스 연소노즐(1)을 사용하여 배기가스를 연소하는 방법이다. 배기가스 연소노즐(1)은 배기가스용 노즐(11)과 그의 측에 설치된 제1의 연소용 노즐(12)과 그의 외측에 설치된 제2의 연소용 노즐(13)과 그 위에 그 외측에 설치된 공기공급용 노즐(14)등을 지니고 있고, 제1의 연소용 노즐로 부터 분출되는 제1의 연소불꽃은 환원불꽃이고, 제2의 연소노즐로 부터 분출되는 제2의 완전연소 불꽃에 의한 장치의 안정 운전이 가능한 것이다.

Description

배기가스 연소방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 사용되는 배기가스 연소노즐의 하나의 실시예의 단면도이다.

Claims (4)

  1. 연소실에 접속되어진 배기가스 연소노즐을 사용하고 배기가스를 연소하는 방법에 있어서, 동 배기가스 연소 노즐은 배기가스용 노즐과 그 외측에 설치된 제1의 연소용 노즐과 그 외측에 설치된 제2의 연소용 노즐과 그위에 그의 외측에 설치된 공기공급용 노즐을 지니고, 동 제1의 연소용 노즐로 부터 분출된 제1의 연소불꽃은 환원불꽃이고 동 제2의 연소용 노즐로 부터 분출된 제2의 연소불꽃은 실질적으로 완전 연소불꽃임을 특징으로 하는 배기가스의 연소방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 배기가스 노즐로 부터 배기가스를 유속 1~8m/sec의 속도로 도입시키고 상기 제1의 연소용 노즐로 부터 연료가스; 공기의 혼합(중량)비가 1:3 ~ 1:10혼합된 제1의 혼합가스를 유속 3~5m/sec로 분출시켜 환원불꽃을 형성시키고, 상기 제2의 연소용 노즐로 부터 연료가스 : 공기의 혼합(중량)비가 1:14 ~ 1:16이 되도록 혼합하여 제2의 혼합가스를 유속 5~7 m/sec 속도로 분출시켜 완전 연소불꽃을 형성시킴을 특징으로 하는 배기가스의 연소방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1의 연소용 노즐로 부터 제1의 연소불꽃에 의한 배기가스용 노즐로 부터 연소실에 도입되는 배기가스의 주위에 산소결핍 연소역이 형성됨을 특징으로 하는 배기가스의 연소방법.
  4. 연소실에 배기가스 연소노즐을 접속시킨 배기가스 연소장치에 있어서, 동 배기가스 연소노즐은 중심부에 설치된 배기가스용 노즐과 그 외측에 설치된 배기가스용 노즐의 주위에 산소결핍 연소역을 형성시켜 얻어진 환상의 제1 연소용 노즐과, 그 외측에 설치된 다수의 소경노즐에 의한 제2의 연소용 노즐 및 그 위에 외측에 설치된 공기 공급용 노즐을 포함함을 특징으로 하는 배기가스 연소장지.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100729253B1 (ko) 1999-11-02 2007-06-15 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 배기가스처리용 연소기
KR20030024892A (ko) * 2000-08-22 2003-03-26 가부시키 가이샤 에바라 세이사꾸쇼 연소식 배기가스처리방법 및 장치
DE50105033D1 (de) * 2001-08-30 2005-02-10 Das Duennschicht Anlagen Sys Verfahren und Einrichtung zur Reinigung insbesondere von fluorhaltigen Abgasen in einem Brenner mit räumlicher Trennung der Einspeisung von Gasen
WO2003085321A1 (de) * 2002-04-11 2003-10-16 DAS-Dünnschicht Anlagen Systeme GmbH Dresden Einrichtung zur reinigung von abgasen mit fluorhaltigen verbindungen in einem verbrennungsreaktor mit niedriger stickoxidemission
DE10304489B4 (de) 2002-04-11 2014-07-31 Das Environmental Expert Gmbh Einrichtung zur Reinigung von Abgasen mit fluorhaltigen Verbindungen in einem Verbrennungsreaktor mit niedriger Stickoxidemission
DE10342498B4 (de) * 2003-09-12 2006-07-13 Centrotherm Elektrische Anlagen Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung für die thermische Abgasreinigung
US7074034B2 (en) * 2004-06-07 2006-07-11 Air Products And Chemicals, Inc. Burner and process for combustion of a gas capable of reacting to form solid products
GB0509163D0 (en) 2005-05-05 2005-06-15 Boc Group Plc Gas combustion apparatus
GB0509944D0 (en) * 2005-05-16 2005-06-22 Boc Group Plc Gas combustion apparatus
DE102005040576B4 (de) * 2005-08-26 2007-08-16 Centrotherm Clean Solutions Gmbh & Co. Kg Luftbrenner zur Verbrennung von Abgasen aus Prozessen zur Behandlung von Halbleitern
KR100623369B1 (ko) 2005-09-05 2006-09-12 크린시스템스코리아(주) 반도체 제조장비용 배기가스 처리장치의 버너
GB0613044D0 (en) * 2006-06-30 2006-08-09 Boc Group Plc Gas combustion apparatus
DE102006034885A1 (de) 2006-07-25 2008-08-07 Daimlerchrysler Ag Wasserstoff- und Energiegewinnung durch thermische Umsetzung von Silanen
JP5232407B2 (ja) * 2007-05-25 2013-07-10 日本パイオニクス株式会社 排ガスの浄化装置
CN102230631A (zh) * 2011-06-03 2011-11-02 王兴文 一种废气焚烧热风炉烧嘴部的烧嘴砖
JP2013015232A (ja) * 2011-06-30 2013-01-24 Edwards Kk 燃焼式排ガス処理装置
WO2013018576A1 (ja) * 2011-07-29 2013-02-07 エドワーズ株式会社 排ガス燃焼装置
KR102508353B1 (ko) * 2022-08-29 2023-03-13 주식회사 원익홀딩스 가스 처리 장치
KR102508351B1 (ko) * 2022-08-29 2023-03-13 주식회사 원익홀딩스 가스 처리 장치

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6387519A (ja) * 1986-09-29 1988-04-18 Mitsubishi Jushi Eng Kk 半導体製造装置の排ガス燃焼方法
FR2612606B1 (fr) * 1987-03-18 1990-09-14 Air Liquide Procede et dispositif de destruction d'effluents gazeux toxiques
DE19511644A1 (de) * 1995-03-30 1996-10-02 Das Duennschicht Anlagen Sys Verfahren und Einrichtung zur Reinigung von schadstoffhaltigen Abgasen durch chemische Umsetzung

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