KR970077108A - 광로 조절 장치의 평탄화 방법 - Google Patents
광로 조절 장치의 평탄화 방법Info
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- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
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Abstract
본 발명은, 투사형 화상 표시 장치로 사용되는 광로 조절 장치(TFAMA : An Array of Thin film Actuated Mirrors)의 평탄화 방법에 관한 것으로서, 전 공정의 열공정에 의한 구동 기판의 변형 및 기생 증착된 실리콘 질화물(Si3N4)의 강성에 의해 이후 공정인 희생충의 평탄화 효율이 감소하는 문제점을 해결하기 위하여, 상기 광로 조절 장치의매트릭스 구조로 형성된 능동 소자를 구비한 구동 기판의 후면에 중착되어 있는 기생 중착충을 제거하는 공정과, 상기 기생 중착충이 제거된 구동 기판의 후면을 평탄화 하는 공정과, 상기 후면이 평탄화된 구동기판의 상부에 희생충을 적충하는 공정과, 상기 희생충을 평탄화하는 공정으로 이루어진 평탄화 방법으로 구동 기판 후면의 물리적 상태에 영향을 받지 않는 상태에서 희생충을 평탄화 함으로써, 상기 구동 기판의 상부에 소정 형상으로 형성되는 액츄에이터의 미러면, 즉 상부 전극의 표면상태를 평탄한 상태로 제공하여 그 결과 광로 조절 장치의 성능 및 신뢰도를 향상시킨다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도의 (가) 내지 (마)는 본 발명에 따른 광로 조절 장치의 평탄화 방법을 순차적으로 도시한 단면도.
Claims (6)
- 투사형 화상 표시 장치로 사용되는 광로 조절 장치 (TFAMA : An Array of Thin film Actuated Mirrors)의 평탄화 방법에 있어서, 상기 광로 조절 장치의 매트릭스 구조로 형성된 능동 소자를 구비한 구동 기판의 후면에 증착되어 있는 기생 중착충을 제거하는 공정과; 상기 기생 중착충이 제거된 구동 기판의 후면을 평탄화하는 공정과; 상기 후면이 평탄화된 구동기판의 상부에 희생충을 적충하는 공정과; 상기 희생충을 평탄화하는 공정;으로 이루어진 광로 조절 장치의 평탄화 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 기생 중착충은, 건식 식각 공정에 의하여 제거되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 평탄화 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 건식 식각 공정은, 이온 빔 밀링 공정인 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 평탄화 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 구동 기판의 후면은, 기계적 연마 공정에 의해서 평탄화 하는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 평탄화 방법을 제공한다.
- 제1항에 있어서, 상기 기계적 연마 공정은, 알루미나(Al2O3)를 슬러리(slurry)상태로 사용하는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 평탄화 방법을 제공한다.
- 제1항에 있어서, 상기 희생충의 평탄화는, 화학적 기계 연마(CMP) 공정을 통하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 평탄화 방법을 제공한다.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960018710A KR100229789B1 (ko) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 광로 조절 장치의 평탄화 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019960018710A KR100229789B1 (ko) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 광로 조절 장치의 평탄화 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970077108A true KR970077108A (ko) | 1997-12-12 |
| KR100229789B1 KR100229789B1 (ko) | 1999-11-15 |
Family
ID=19460167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960018710A KR100229789B1 (ko) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 광로 조절 장치의 평탄화 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100229789B1 (ko) |
-
1996
- 1996-05-30 KR KR1019960018710A patent/KR100229789B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100229789B1 (ko) | 1999-11-15 |
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