KR970071997A - 진공계를 구비한 진공 장치 - Google Patents
진공계를 구비한 진공 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR970071997A KR970071997A KR1019960009712A KR19960009712A KR970071997A KR 970071997 A KR970071997 A KR 970071997A KR 1019960009712 A KR1019960009712 A KR 1019960009712A KR 19960009712 A KR19960009712 A KR 19960009712A KR 970071997 A KR970071997 A KR 970071997A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- vacuum
- degree
- chamber
- measuring
- check line
- Prior art date
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
진공계를 구비하는 진공 장치에 대해 기재되어 있다. 이는 펌핑라인에 의해 연결된 펌프에 의하여 진공을 이루는 쳄버, 펌핑 라인의 소정부에서 인출된 진공 체크 라인 및 진공 체크 라인에 접속되어 쳄버의 진공도를 측정하는 진공계를 구비하는 진공 장치에 있어서, 진공 체크라인의 소정부에 형성되어 개폐 동작이 가능한 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 장치를 제공한다. 이로써 진공도 측정에 걸리는 작업 시간을 단축할 수 있으며, 진공계를 부착할 때 외부 공기의 유입을 차단함으로써 진공도를 유지시키고, 쳄버 내의 오염을 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 진공 장치의 일 실시예를 도시한 개략도이다.
Claims (1)
- 펌핑 라인에 의해 연결된 펌프에 의하여 진공을 이루는 쳄버; 상기 펌핑 라인의 소정부에서 인출된 진공체크 라인; 및 상기 진공 체크 라인에 접속되어 쳄버의 진공도를 측정하는 진공계를 구비하는 진공 장치에 있어서, 상기 진공 체크 라인의 소정부에 형성되어 개폐 동작이 가능한 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960009712A KR970071997A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 진공계를 구비한 진공 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960009712A KR970071997A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 진공계를 구비한 진공 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970071997A true KR970071997A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66222655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960009712A KR970071997A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 진공계를 구비한 진공 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970071997A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102187114B1 (ko) * | 2020-06-17 | 2020-12-04 | 주식회사 한화 | 레이저를 이용한 공진기용 쉘 제조장치 |
-
1996
- 1996-04-01 KR KR1019960009712A patent/KR970071997A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102187114B1 (ko) * | 2020-06-17 | 2020-12-04 | 주식회사 한화 | 레이저를 이용한 공진기용 쉘 제조장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR970008325A (ko) | 진공실을 급속히 진공시키기 위한 장치 | |
| TW200507021A (en) | Methods and apparatus for sealing an opening of a processing chamber | |
| KR950029650A (ko) | 결빙을 방지하기 위한 블리드 장치를 갖는 공기 밸브 | |
| DE58906179D1 (de) | Verschlussvorrichtung für ein insbesondere evakuierbares zylinderförmiges gehäuse. | |
| DE60202791D1 (de) | Behälter zur konservierung von produkten unter vakuum | |
| KR910014607A (ko) | 진공펌프에 있어서의 흡인계 전환장치 | |
| KR970071997A (ko) | 진공계를 구비한 진공 장치 | |
| BR0212957A (pt) | Dispositivo hidráulico e conjunto de respiradouro | |
| ES2158510T3 (es) | Filtro para liquidos. | |
| SE8700093D0 (sv) | Anslutningsanordning | |
| KR830009416A (ko) | 액화가스 이송장치 | |
| DK0668247T3 (da) | Anlæg til behandling af vandigt slam | |
| DE60015028D1 (de) | Membranpumpe für Behälter | |
| AR008845A1 (es) | Un dispositivo surtidor | |
| KR860004242A (ko) | 가역 밀봉형 압축기 | |
| KR970066464A (ko) | 냉장고 | |
| ATE316064T1 (de) | Zapfhahn | |
| KR930023621A (ko) | 양 방향성 진공 밸브 | |
| SE9702061D0 (sv) | Ventilanordning | |
| KR920016819A (ko) | 용기내의 액체 잔량 검지장치 | |
| KR960014915A (ko) | 압력을 이용한 라인 누수 검출장치 | |
| SE9402404D0 (sv) | Ventilsystem | |
| KR970077129A (ko) | 반도체 가스공급 시스템 | |
| FI944196A (fi) | Tyhjennyslaite | |
| KR970077159A (ko) | 반도체 저압화학기상증착장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |