KR930023621A - 양 방향성 진공 밸브 - Google Patents

Abstract

진공실 또는 이와 연결되는 파이프내의 입자들을 교란시키지 않고 진공실로부터 공기를 배출시키기 위하여, 진공실과 진공펌프 사이에 공기로 작동되는 진공 밸브가 사용된다. 이 밸브는 공기의 배출을 두가지 스테이지로 조절한다, 즉, 제1스테이지에서는, 밸브가 부분적으로 개방되고, 내부에 리크 벤트가 형성된 스커트가 작동됨으로써 입자들을 교란시키지 않은채 진공실내의 공기를 서서히 배출시켜서 몇 토르 정도의 진공상태에 이르도록 한다. 한편, 제2스테이지에서는, 밸브가 충분히 개방되고, 진공실내에 남아있던 공기가 효과적으로 배출되도록 한다. 이때, 충분한 대구경을 갖는 밸브를 사용함으로써 입자의 교란이 없도록 한다. 밸브의 기동은 타이머로 정하는바, 이 타이머는 밸브가 충분히 개방된 상태에 이르기 전에 부분적으로 개방된 상태에서 얼마나 오랫동안 머무를 것인지를 지시하여 준다.

Description

양 방향성 진공 밸브

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본발명의 제1실시예를 나타내는 종단면도이고, 제2a, 2b 및 2c도는 제1도에 있어서 각부의 작동을 나타내는 각각의 확대도이고, 제3도는 제1도에 있어서 작동이 완료된 후의 상태를 나타내는 종단면도이다.

Claims (4)

1. 진공실과 진공펌프 사이에 배치되는 양방향성 진공밸브에 있어서; 상기 진공밸브가 개방될 때, 실린더 케이싱내의 피스톤에 가해지는 압축개스 불균형해짐에 따라 상기 피스톤을 미리 설정된 위치까지 이송시키는 제1이송 수단과 ; 상기 미리 설정된 위치에서 일정시간이 경과한 후 상기 진공밸브의 개방에 의해 발생되는 압축개스의 압력이 불균형해짐에 따라 상기 피스톤을 상기 미리 설정된 위치로부터 더 이송시키는 제2이송 수단과; 상기 제1이송 수단에 의해 상기 피스톤이 이송됨에 따라 상기 진공실을 상기 진공펌프에 연결시키는 리크 벤트가 형성된 스커트 피스와; 상기 제2이송 수단에 의해 상기 피스톤이 이송됨에 따라 상기 진공실과 상기 진공밸브를 서로 연결시키는 대구경을 갖는 주 밸브 장치를 포함하는 양 방향성 진공 밸브.
2. 제1항에 있어서, 상기 스커트 피스는 상기 주 밸브 장치내의 밸브 본체에 장착되고, 스프링에 의해서 주 밸브 시트와 대향되도록 밀어지는 것을 특징으로 하는 양방향성 진공 밸브.
3. 제1항에 있어서, 상기 스커트 피스는 탄성부재에 의해서 상기 주 밸브 본체의 덮게와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 양방향성 진공 밸브.
4. 제1항, 2항 또는 3항에 있어서, 상기 리크 벤트는 놋치, 호울, 또는 컷아웃의 형태로 된것을 특징으로 하는 양방향성 진공 밸브.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.