KR970066729A - 비대칭 산란특성을 갖는 포토레지스트 박막의 제작방법과 그 제작장치 및 그 것을 장착한 표면양각 확산자 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 입사된 광을 산란시키고, 서로 간섭되게 하여 결상케 하는 확산물질에 관한 것으로서, 특히 박판구조로 되어있는 확산자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표면양각 확산자는 레이저를 사용하여 스펙클을 생성시키고, 이 스펙클을 이용하여 포토레지스트의 일단면에 양각을 성형하고, 이 성형된 포토레지스트 박막을 유리기판에 장착함으로써 만들어 진다. 그 결과, 본 발명에 따른 표면양각 확산자는 입사되는 광이 수직, 수평의 서로 다른 확산 특성을 갖게 할뿐만아니라. 그 휘도특성도 향상되어진다. 따라서, 텔레비젼용 스크린, 액정소자용 확산판, 조명등에서의 커버, 간유리 및 불투명 아크릴 소재 등을 효율적으로 대용할 수 있게 되어 산업상 적용성이 뛰어나다는 장점이 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 포토레지스트 박막의 제작장치를 보여주는 내부 구성도, 제4도는 본 발명에 따른 표면양각 확산자를 보여주는 측면도, 제5(가)도는 본 발명에 따른 표면양각 확산자를 보여주는 사시도, 제5(나)도는 본 발명에 따른 표면양각 확산자를 통과한 확산광의 수직확산각을 보여주는 도면.
Claims (8)
- 포토레지스트 박막의 제작장치에 있어서, 레이저를 방사하는 레이저투사기; 상기 레이저의 진폭 및 위상에 공간적 변화를 주는 공간필터; 상기 공간필터를 통과한 레이저를 1차 확장시키는 제1렌즈; 상기 제1렌즈를 통해 확장된 레이저가 수평 및 수직으로 서로 다른 산란각을 갖게 하는 프리즘; 상기 프리즘을 통과한 레이저를 2차 확장시키는 제2렌즈; 상기 제2렌즈를 통해 확장된 레이저를 포토레지스트에 산란시키는 확산체를 포함하는 표면양각 포토레지스트 박막의 제작장치.
- 제1항에 있어서, 상기 레이저를 일정 방향 반사키는 반사체를 구비하는 표면양각 포토레지스트 박막의 제작장치.
- 제1항에 있어서, 상기 레이저의 조사를 통해서는 셔터를 더 포함하는 표면양각 포토레지스트 박막의 제작 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 프리즘이 투명체들의 조합으로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면양각 포토레지스트 박막의 제작장치.
- 포토레지스트 박막의 제작방법에 있어서, 레이저를 조사하는 단계; 상기 레이저를 원형태로 1차 확장시키는 단계; 1차 확장된 상기 레이저가 수평 및 수직으로 서로 다른 산란각을 갖도록 타원형태로 산란하는 단계; 산란된 상기 레이저가 스펙클을 발생하는 단계; 및 상기 스펙클이 포토레지스트에 노광되어 포토레지스트를 표면양각하는 단계를 포함하는 표면양갹 포토레지스트 박막의 제작방법.
- 제5항에 있어서, 상기 포토레지스트를 다단면으로 나누어서 노광하는 것을 특징으로 하는 표면양각 포토레지스트 박막의 제작방법.
- 산란특성을 갖는 확산자에 있어서, 기판; 및 상기 기판에 양각이 없는 일단면이 접합되고, 타단면이 비대칭 산란특성을 갖는 양각을 구비하는 표면양각 확산자.
- 제7항에 있어서, 상기 기판이 유리로 제작되는 것을 특지으로 하는 표면양각 확산자.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960009647A KR0172575B1 (ko) | 1996-03-30 | 1996-03-30 | 비대칭 산란특성을 갖는 표면양각 포토레지스트 박막의 제작장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960009647A KR0172575B1 (ko) | 1996-03-30 | 1996-03-30 | 비대칭 산란특성을 갖는 표면양각 포토레지스트 박막의 제작장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970066729A true KR970066729A (ko) | 1997-10-13 |
| KR0172575B1 KR0172575B1 (ko) | 1999-03-20 |
Family
ID=19454742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960009647A KR0172575B1 (ko) | 1996-03-30 | 1996-03-30 | 비대칭 산란특성을 갖는 표면양각 포토레지스트 박막의 제작장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0172575B1 (ko) |
-
1996
- 1996-03-30 KR KR1019960009647A patent/KR0172575B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0172575B1 (ko) | 1999-03-20 |
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