KR970063471A - 가스 유량제어 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 공급가스의 유량제어 장치에 관한 것으로 MFC의 유량 조절기능에 이상이 발생한 경우 이를 초기에 감지함으로써 프로세스의 안정화를 꾀하고 또한 이에 따라 후공정에서 형성되는 막질을 안정화시키는데 목적이 있다.
이를 위해 본 발명은 각 라인에 필터, 밸브, MFC, 밸브가 순차적으로 설치되고 상기 각 라인이 합류되어 반응챔버에 공급되는 가스의 플로우량을 제어하는 가스 유량 제어 장치에 있어서, 상기 각 라인이 합류되는 라인에 질량유량계를 설치하여 상기 MFC의 유량 조절기능의 변경여부를 체크하도록 한 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 가스 유량제어 장치에 대한 구성도.
Claims (1)
- 각 라인(10,20)에 필터(4), 밸브(2), MFC(3), 밸브(2′)가 순차적으로 설치되고 상기 각 라인이 합류되어 반응챔버(1)에 공급되는 가스의 플로우량을 제어하는 가스 유량 제어 장치에 있어서, 상기 각 라인(10,20)이 합류되는 라인(30)에 질량유량계(6)를 설치하여 상기 MFC(3)의 유량 조절기능의 변경여부를 체크하도록 한 것을 특징으로 하는 가스 유량제어 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960003615A KR970063471A (ko) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 가스 유량제어 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960003615A KR970063471A (ko) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 가스 유량제어 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970063471A true KR970063471A (ko) | 1997-09-12 |
Family
ID=66221500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960003615A KR970063471A (ko) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 가스 유량제어 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970063471A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100944962B1 (ko) * | 2002-01-04 | 2010-03-02 | 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 질량유량분할 시스템과 방법 |
-
1996
- 1996-02-14 KR KR1019960003615A patent/KR970063471A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100944962B1 (ko) * | 2002-01-04 | 2010-03-02 | 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 질량유량분할 시스템과 방법 |
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