KR970056040U - 반도체 식각장치의 챔버 냉각장치 - Google Patents
반도체 식각장치의 챔버 냉각장치Info
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019960004830U KR970056040U (ko) | 1996-03-14 | 1996-03-14 | 반도체 식각장치의 챔버 냉각장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019960004830U KR970056040U (ko) | 1996-03-14 | 1996-03-14 | 반도체 식각장치의 챔버 냉각장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970056040U true KR970056040U (ko) | 1997-10-13 |
Family
ID=60837927
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR2019960004830U KR970056040U (ko) | 1996-03-14 | 1996-03-14 | 반도체 식각장치의 챔버 냉각장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970056040U (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101480796B1 (ko) * | 2013-10-31 | 2015-01-09 | (주) 이더 | 서브 컨트롤러를 이용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치 |
-
1996
- 1996-03-14 KR KR2019960004830U patent/KR970056040U/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101480796B1 (ko) * | 2013-10-31 | 2015-01-09 | (주) 이더 | 서브 컨트롤러를 이용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치 |
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