KR970053130A - 웨이퍼의 건조장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 세정 후 그 웨이퍼를 건조하는 웨이퍼건조장치에 관한 것으로서, 프로세스챔버(10)내에서 생성된 IPA(isoprpolye alcohol)증기를 이용하여 웨이퍼(15)를 건조하고, 그리고 상기 IPA증기를 응축시켜서 포집하는 냉각라인(17)을 구비한 웨이퍼건조장치는, 상기 냉각라인(17) 바로 아래에 설치되어 있는 용액받이용 프레임(18)과; 상기 프레임(18)에 수납된 IPA용액을 외부로 배출하여 모으는 수집탱크(20)와; 상기 수집탱크(20)에 일정양의 IPA용액이 수집되면 이 IPA용액을 뽑아서 파티클을 제거하여 상기 챔버(10)내로 다시 투입시키는 필터링부재를 포함한다. 상술한 웨이퍼건조장치에 의하면, IPA용액의 순환사이클에 있어서 순화되는 IPA 용액내의 파티클을 필터링하여서 다시 챔버내로 투입시키므로서, 프로세스 챔버내의 IPA용액내에 파티클의 양을 낮게 유지시킬 수 있다. 그 결과, 계속된 웨이퍼건조를 위한 IPA용액의 순환사이클이 반복해서 진행되어도 상기 프로세스챔버내부에서 발생되는 파티클에 의한 웨이퍼의 오염을 크게 줄일 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 반도체 세정 장치 중에 최종 세정 베쓰의 구성도.
Claims (2)
- 프로세스챔버(10)내에서 생성된 IPA(isoproplye alcohol)증기를 이용하여 웨이퍼(15)를 건조하고, 그리고 상기 IPA증기를 응축시켜서 포집하는 냉각라인(17)을 구비한 웨이퍼건조장치는, 상기 냉각라인(17) 바로 아래에 설치되어 있는 용액받이용 프레임(18)과; 상기 프레임(18)에 수납된 IPA용액을 외부로 배출하여 모으는 수집탱크(20)와; 상기 수집탱크(20)에 일정양의 IPA용액이 수집되면 이 IPA용액을 뽑아서 파티클을 제거하여 상기 챔버(10)내로 다시 투입시키는 필터링수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼건조장치.
- 제1항에 있어서, 상기 필터링수단은 상기 수집탱크(20)내에 설치되어 있는 제1,2센서(21a,21b)와, 상기 제2센서(21b)에 의해 일정량의 IPA용액이 상기 수집탱크(20)내 채워지게 되는 것을 검출할 때 작동하여 상기 IPA용액을 뽑아내는 펌프(22)와, 이 펌프(22)에 의해서 뽑아진 IPA용액으로부터 파티클을 제거하는 필터(24)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼건조장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950059273A KR970053130A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 웨이퍼의 건조장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950059273A KR970053130A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 웨이퍼의 건조장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970053130A true KR970053130A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66618858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950059273A KR970053130A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 웨이퍼의 건조장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970053130A (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010066617A (ko) * | 1999-12-31 | 2001-07-11 | 황인길 | 습식공정장치의 화학용액 배출 장치 |
| KR100648166B1 (ko) * | 2004-12-28 | 2006-11-28 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 파티클 집진 장치를 갖는 공정 챔버 |
| KR100891631B1 (ko) * | 2006-01-20 | 2009-04-03 | 가부시끼가이샤 도시바 | 포토레지스트 제거 처리 장치 및 방법 |
-
1995
- 1995-12-27 KR KR1019950059273A patent/KR970053130A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010066617A (ko) * | 1999-12-31 | 2001-07-11 | 황인길 | 습식공정장치의 화학용액 배출 장치 |
| KR100648166B1 (ko) * | 2004-12-28 | 2006-11-28 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 파티클 집진 장치를 갖는 공정 챔버 |
| KR100891631B1 (ko) * | 2006-01-20 | 2009-04-03 | 가부시끼가이샤 도시바 | 포토레지스트 제거 처리 장치 및 방법 |
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