KR970051826A - 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법 - Google Patents
능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR970051826A KR970051826A KR1019950065738A KR19950065738A KR970051826A KR 970051826 A KR970051826 A KR 970051826A KR 1019950065738 A KR1019950065738 A KR 1019950065738A KR 19950065738 A KR19950065738 A KR 19950065738A KR 970051826 A KR970051826 A KR 970051826A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- clean room
- air clean
- active
- unit
- shower
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Ventilation (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Prevention Of Fouling (AREA)
Abstract
본 발명은 능동 구동형 에어 크린 롬 및 그 제어 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 에어 크린 룸의 바닥을 간편하게 변경하여 샤워 효율을 극대화할 수 있는 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법을 제공하는데 그 목적을 두고 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 능동 구동형 에어 크린 룸은 에어 크린 룸의 바닥에 설치된 복수 개의 샤워 디스크에 작업자가 탑승하였는가의 여부를 감지하는 감지부와, 상기 감지부에 의해 감지된 신호에 따라 구동되는 구동부와, 상기 구동부에 의해 연동되는 샤워 디스크의 작동과 동시에 공기를 분사하는 분사부와, 상기 분사부의 작동에 의해 이탈된 파티클을 배출하는 복수 개의 배출공으로 구성됨을 특징으로 한다.
한편 본 발명에 의한 능동 구동형 에어 크린 룸의 제어 방법은 전동기의 회전수 및 그 작동 방법(수동/자동)을 제어부에 입력하는 제1입력 스텝과, 상기 제1입력 스텝에 의해 입력된 자료를 근거로 제어부에서 전동기와 분사부를 동시에 작동시키는 작동 스텝과, 상기 작동 스텝에 의해 구동되는 전동기의 작동 상태에 관한 자료를 검출하여 제어부에 입력시키는 제2입력 스텝과, 상기 제2입력 스텝에 의해 입력된 자료를 근거로 제어부에서 전동기와 분사부를 동시에 정지시키는 정지 스텝으로 구성됨을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 능동 구동형 에어 크린 룸을 개략적으로 도시한 사시도.
Claims (13)
- 에어 크린 룸의 바닥에 설치된 복수 개의 샤워 디스크에 작업자가 탑승하였는지의 여부를 감지하는 감지부와, 상기 감지부에 의해 감지된 신호에 따라 구동되는 구동부와, 상기 구동부에 의해 연동되는 샤워 디스크의 작동과 동시에 공기를 분사하는 분사부와, 상기 분사부의 작동에 의해 이탈된 파티클을 배출하는 복수 개의 배출공으로 구성됨을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 제1항에 있어서, 상기 샤워 디스크는 회전 시 바닥의 절개공과 마모 현상이 생기지 않도록 그 외주 연이 바닥의 절개공과 일정 간격을 유지하여 구비됨을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 제1항에 있어서, 상기 감지부는 샤워 룸의 작동과 동시에 항상 빛을 출사하는 포토 센서와, 상기 포토센서에서 출사한 빛을 반사시키는 반사경으로 구성됨을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 제1항에 있어서, 상기 구동부는 샤워 디스크의 하단 외부 근방에 접촉되어 동력을 전달할 수 있도록 그 회전축에 원형 형상의 구동 휠을 구비함을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 제1항에 있어서, 상기 분사부는 샤워 디스크가 일정 회전을 마치면 자동적으로 정지됨을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 제2항에 있어서, 상기 샤워 디스크는 파티클의 배출 율을 높일 수 있도록 구 개구율이 50% 이상이 복수개의 배출공을 구비함을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 제2항에 있어서, 상기 샤워 디스크는 그 재질을 스테인레스로 구비됨을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 제2항에 있어서, 상기 절개공은 샤워 디스크의 회전을 유지하면서 지지할 수 있도록 그 내주 연을 따라 일정 간격으로 복수 개의 로울러 가이드를 구비함을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 제4항에 있어서, 상기 구동 휠은 그 재질을 우레탄으로 구비함을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 제4항에 있어서, 상기 구동 휠은 파티클을 충분히 제거할 수 있도록 저속으로 회전함을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 제4항에 있어서, 상기 구동부는 샤워 디스크의 중앙 하단 부위에 접촉되어 샤워 디스크의 회전력을 유지하면서 하중을 분산할 수 있도록 복수 개의 볼 베어링을 구비함을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 제8항에 있어서, 상기 로울러는 그 재질을 우레탄으로 구비함 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸.
- 전동기의 회전수 및 그 작동 방법(수동/자동)을 제어부에 입력하는 제1입력 스텝과, 상기 제1입력 스텝에 의해 입력된 자료를 근거로 제어부에서 전동기와 분사부를 동시에 작동시키는 작동 스텝과, 상기 작동 스텝에 의해 구동되는 전동기의 작동 상태에 관한 자료를 검출하여 제어부에 입력시키는 제2입력 스텝과, 상기 제2입력 스텝에 의해 입력된 자료를 근거로 제어부에서 전동기와 분사부를 동시에 정지시키는 정지 스텝으로 구성됨을 특징으로 하는 능동 구동형 에어 크린 룸의 제어방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950065738A KR100192962B1 (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법 |
TW085113638A TW349167B (en) | 1995-12-29 | 1996-11-08 | Activated air showering system for clean room and method for controlling the same |
US08/771,775 US5746652A (en) | 1995-12-29 | 1996-12-20 | Activated air showering system for clean room and method for controlling the same |
JP8341838A JPH09196426A (ja) | 1995-12-29 | 1996-12-20 | エアクリーンルームおよびその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950065738A KR100192962B1 (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970051826A true KR970051826A (ko) | 1997-07-29 |
KR100192962B1 KR100192962B1 (ko) | 1999-06-15 |
Family
ID=19447146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950065738A KR100192962B1 (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5746652A (ko) |
JP (1) | JPH09196426A (ko) |
KR (1) | KR100192962B1 (ko) |
TW (1) | TW349167B (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108421777A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-08-21 | 吴江市净明净化设备有限公司 | 一种使用便利的风淋室 |
CN115283023A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-11-04 | 浙江吉利控股集团有限公司 | 试验舱 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IL154597A (en) * | 2003-02-24 | 2007-02-11 | Filt Air Ltd | Airlock system and method for protecting a toxic-free area |
US20060211360A1 (en) * | 2005-01-19 | 2006-09-21 | Airbus Deutschland Gmbh | Refreshment cell |
CN103464420A (zh) * | 2013-08-21 | 2013-12-25 | 苏州康华净化系统工程有限公司 | 一种风淋室 |
US9630219B2 (en) | 2014-07-25 | 2017-04-25 | Associated Research-EDC Ltd | Air shower for dust collectors |
CN105107791B (zh) * | 2015-09-21 | 2017-12-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种风淋室及无尘车间系统 |
KR102321651B1 (ko) * | 2021-04-16 | 2021-11-04 | 이명식 | 광촉매 살균 시스템 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE292314C (ko) * | ||||
US4676144A (en) * | 1985-12-30 | 1987-06-30 | Smithkline Beckman Corporation | Clean room system |
JPS62225838A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-10-03 | Nippon Air Curtain Kk | エア−シヤワ−装置 |
JPH02115641A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-04-27 | Hitachi Ltd | エアーシャワー装置 |
US5042367A (en) * | 1990-08-31 | 1991-08-27 | Dwight Hopkins | Revolving air lock |
-
1995
- 1995-12-29 KR KR1019950065738A patent/KR100192962B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1996
- 1996-11-08 TW TW085113638A patent/TW349167B/zh not_active IP Right Cessation
- 1996-12-20 JP JP8341838A patent/JPH09196426A/ja active Pending
- 1996-12-20 US US08/771,775 patent/US5746652A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108421777A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-08-21 | 吴江市净明净化设备有限公司 | 一种使用便利的风淋室 |
CN115283023A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-11-04 | 浙江吉利控股集团有限公司 | 试验舱 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09196426A (ja) | 1997-07-31 |
US5746652A (en) | 1998-05-05 |
TW349167B (en) | 1999-01-01 |
KR100192962B1 (ko) | 1999-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US12004706B2 (en) | Robotic cleaner | |
KR970051826A (ko) | 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법 | |
KR101985162B1 (ko) | 폐기물 선별기 | |
JPH07267059A (ja) | ベアリングシール | |
US20210229118A1 (en) | A centrifugal atomization structure and a spraying device with the same, a centrifugal atomization device, a drive device and a dual-drive spraying device | |
JP6189636B2 (ja) | 電気掃除機 | |
WO2004028369A3 (en) | Tapered roller bearing | |
CN102131555A (zh) | 保龄球表面处理机和保龄球表面处理方法 | |
WO2005071290A3 (en) | Traction drive shaft seal | |
KR880010253A (ko) | 스크류 압축기 | |
GB2434108A (en) | Roulette wheels | |
CN115199593B (zh) | 一种自清理式离心风机 | |
US4669951A (en) | Air operated motor | |
JP2006055811A (ja) | 生ゴミ処理装置 | |
CN1250119A (zh) | 转杯纺纱装置的支承盘 | |
JP2001356077A (ja) | 回転部品の検査装置 | |
JPH06319866A (ja) | パチンコ球クリーナー | |
EP0528483B1 (en) | Smoke exhausting device with wet centrifugal dust extraction | |
ATE225475T1 (de) | Rollenschnecke mit konischen rollen und damit angetriebene vorrichtung | |
JP2019171269A (ja) | 原料加工装置 | |
CN213313296U (zh) | 免大盘卡停的变速洗牌机构及麻将机 | |
JP3828551B2 (ja) | 光反射装置 | |
JP2685421B2 (ja) | 走行装置 | |
KR20160065484A (ko) | 기판 스피닝 장치의 회동 지지체 | |
JPH0853081A (ja) | 壁面に吸着し且つ壁面に沿って移動することができる装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20080201 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |