KR970049073A - 투영 노광 장치 및 방법 - Google Patents

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고오스케 스즈키
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오노 시게오
니콘 가부시끼가이샤
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Abstract

간단한 구성으로 투영상의 비선형 배율보정을 어느 정도 보정하는 것을 목적으로 한다. 이를 위한 해결수단으로는, 두점의 상높이 xA,xB에서의 투영광학계 및 레티클의 조사량의 변화에 따른 배율변화량 BA,BB를 각각의 상높이 위치에서의 모델식에 기초하여 산출한다. 두점의 상높이 xA,xB에서의 보정후의 잔류배율 오차량 LA,LB의 절대치가 동일하도록 원점을 통하는 직선(33)의 경사를 구한다. 이 직선(33)의 경사를 도시하는 비례계수 s와 상높이 xA에서의 투영배율의 선형성분의 보정량으로 된다. 이와 같이 구해진 배율보정량을 목표치로 하고, 투영노광장치에 설치된 선형배율의 보정기구를 거쳐 투영배율을 보정한다.

Description

투영 노광 장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 실시 형태에 있어서, 두개의 상높이(像高)에서의 배율변화량에 기초하여 최적의 배율보정량을 구하는 방법을 설명하는 도면.

Claims (12)

  1. 마스크의 패턴상을 기판상에 투영하기 위한 투영광학계의 복수의 상이한 상높이에서의 배율오차를 각각 구하는 단계와, 상기 구해진 배율오차에 기초하여 상기 마스크의 패턴상의 상기 기판상에의 투영배율을 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 투영배율의 보정후에 잔류하는 상기 복수의 상이한 위치에서의 배율오차중 최대치가 가장 작아지도록 상기 마스크의 패턴상의 상기 기판상에의 투영배율을 보정하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 투영배율의 보정은 상기 투영광학계의 조정을 행하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 투영광학계의 조정은, 상기 투영광학계의 렌즈 엘리먼트를 움직이므로써 행해지는 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  5. 제3항에 있어서, 상기 투영광학계의 조정은 상기 투영광학계내에 설치된 밀폐공간의 굴절율을 변화시키는 것에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 투영배율의 보정후에 잔류하는 상기 투영광학계의 상이한 두개의 상높이에서의 배율오차의 절대치가 동일하게 되도록 상기 마스크의 패턴상의 상기 기판상에의 투영배율을 보정하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 투영배율의 보정후에 잔류하는 상기 투영광학계의 다른 두개의 상높이에서의 배율오차의 절대치가 동일해지도록, 상기 투영배율의 보정량과 상기 투영광학계의 상높이와의 선형관계를 구하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 배율오차는 상기 투영광학계에 대한 광의 조사에 기인하는 배율변화와 상기 마스크에 대한 광의 조사에 기인하는 배율변화와의 적어도 한쪽에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 복수의 상높이는, 상기 투영광학계의 상높이 7할 및 10할인 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 복수의 상높이로서 두개의 상높이를 지정하고, 상기 두개 이상의 상높이중 두개의 상높이의 전체 조합 각각에 대해, 상기 투영 배율의 보정후에 잔류하는 두개의 상높이에서의 배율오차가 동일해지도록 하는 상기 투영배율의 보정량과 상기 투영배율의 상높이와의 선형관계를 상기 구해진 배율오차에 기초하여 산출하며, 상기 두개의 상높이의 전체 조합중에서 상기 잔류하는 배율오차의 절대치가 최대로 되는 두개의 상높이를 선택하고, 상기 구해진 두개의 상높이의 배율오차로부터 구해진 상기 투영배율의 보정량과 상기 투영배율의 상높이와의 선형 관계에 기초하여, 상기 마스크의 패턴상의 상기 기판에의 투영배율을 보정하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  11. 제1항의 방법을 실시하기 위한 투영 노광 장치.
  12. 소정 패턴의 상을 투영하기 위한 투영광학계의 조정방법으로서, 상기 투영광학계의 복수의 상이한 상높이에서의 배율오차를 각각 구하는 단계와, 상기 구해진 배율오차에 기초하여 상기 투영 광학계를 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영광학계 조정방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960064059A 1995-12-11 1996-12-11 투영 노광 장치 및 방법 KR970049073A (ko)

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