KR970047994A - 박막제조용 진공장치의 산소분압 측정방법 및 장치 - Google Patents

박막제조용 진공장치의 산소분압 측정방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 박막제조용 진공장치의 산소분압 측정 방법 및 장치에 관한 것으로, 일반적인 산소분압 측정방법은 종래 진공장치가 진공챔버(1) 내부의 각 위치마다 산소분압이 균일하지 않아 종래의 측정되는 산소분압은 진공장치 내부의 평균적인 산소분압일 뿐이고, 박막이 증착되는 가열판(8) 상측에 대한 실제의 산소분압과는 오차가 발생되는 문제가 있었다. 따라서 산소분압에 따라 전기저항이 변화되는 비화학양론적인 반도체 산화물에 열전대와 전기저항 측정용 전선을 부착한 소자를 기판이부착되는 가열판에 부착하여 가열판 주변의 부분적인 산소 분압을 측정하도록 한 본 발명에 의한 박막제조용 진공장치의 산소분압 측정 방법 및 소자(10)와, 소자(10)의 온도를 측정하는 열전대(11)와, 소자(10)의 전기저항을 측정하는 전선(12)과, 전공챔버(1)의 진공을 유지함과 아울러 소자(10)의 온도와 저항에서 발생되는 전기신호를 진공챔버(1)의 외부로 인출하는 피드 쓰루(feed through)(13)와, 상기 피드 쓰루(13)를 통해서 출력되는 전기신호 중 소자의 온도를 읽어주는 온도지시기(14) 및 소자의 저항을 읽어주는 멀티 미터(15)로 구성되는 산소분압 측정 장치가 제공됨으로써 가열판 주위의 산소분압을 정확하게 측정할 수 있게 되는 것이다.

Description

박막제조용 진공장치의 산소분압 측정방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 일반적인 박막제조용 진공장치의 개략적인 구성도.
제2도는 본 발명이 적용된 박막제조용 진공장치의 개략적인 구성도.
제3도는 본 발명에 의한 소자의 구성을 보인 평면도.
제4도는 온도 700℃에서 소자의 산소분압에 따른 전기저항값을 로그함수로 도시한 그래프.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 소자 10a : 열전대 부착점
10b : 전극 11 : 열전대
12 : 전선 13 : 피드 쓰루(feed through)
14 : 온도지시기 15 : 멀티 미터

Claims (3)

  1. 산소분압에 따라 전기저항이 변화되는 비화학양론적인 반도체 산화물에 열전대와 전기저항 측정용 전선을 부착한 소자를 기판이 부착되는 가열판에 부착하여 가열판 주변의 부분적인 산소 분압을 측정하도록 한 박막제조용 진공장치의 산소분압 측정 방법.
  2. 산소분압에 따라 전기저항이 변화되는 비화학양론적인 반도체 산화물인 소자와, 소자의 온도를 측정하는 열전대와, 소자의 전기저항을 측정하는 전선과, 진공챔버의 진공을 유지함과 아울러 소자의 온도와 저항에서 발생되는 전기신호를 진공챔버의 외부로 인출한는 피드 쓰루(feed through)와, 상기 피드 쓰루를 통해서 출력되는 전기신호 중 소자의 온도를 읽어주는 온도지시기 및 소자의 저항을 읽어주는 멀티 미터로 구성한 것을 특징으로 하는 박막제조용 진공장치의 산소분압 측정 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 소자의 중앙에는 상기 열전대가 고정되는 열전대 부착점이 형성되고, 소자의 양측에는 전극이 형성되며, 이 전극에는 상기 전선이 연결설치된 것을 특징으로 하는 박막제조용 진공장치의 산소분압 측정 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950049978A 1995-12-14 1995-12-14 박막제조용 진공장치의 산소분압 측정방법 및 장치 KR0162871B1 (ko)

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