KR970028572A - 반도체 웨이퍼 프로브(Probe) 카드 - Google Patents

반도체 웨이퍼 프로브(Probe) 카드 Download PDF

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KR970028572A
KR970028572A KR1019950040167A KR19950040167A KR970028572A KR 970028572 A KR970028572 A KR 970028572A KR 1019950040167 A KR1019950040167 A KR 1019950040167A KR 19950040167 A KR19950040167 A KR 19950040167A KR 970028572 A KR970028572 A KR 970028572A
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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼 프로브 카드에 관한 것으로, 홀이 형성된 프로브기판과, 프로브기판의 홀을 덮으며 프로브기판에 고정형성되는 니들정렬판(Alignment)과, 니들정렬판에 복수개 형성되되 니들정렬판의 직각방향으로부터 소정각만큼 기울어지게 형성된 프로브니들관통홀과, 니들정렬판의 포로브니들관통홀을 관통하여 탐침부가 정렬되고 탐침부의 반대단이 프로브기판의 홀을 통하여 프로브기판의 니들정렬판이 형성된 면의 배면으로 접속되는 복수개의 프로브니들을 포함하여 이루어진다.

Description

반도체 웨이퍼 프로브(Probe) 카드
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 반도체 웨이퍼 프로브 카드를 도시한 도면,
제2도는 본 발명의 반도체 웨이퍼 프로브 카드를 도시한 도면,

Claims (4)

  1. 반도체 웨이퍼 프로브 카드에 있어서, 홀이 형성된 프로브기판(21)과, 상기 프로브기판(21)의 홀을 덮으며 프로브기판(21)에 고정형성되는 니들정렬판(Alignment)(26)과, 상기 니들정렬판(26)에 복수개 형성되되, 니들정렬판의 직각방향으로부터 소정각만큼 기울어지게 형성된 프로브니들관통홀(26-1)과, 상기 니들정렬판(26)의 프로브니들관통홀(26-1)을 관통하여 탐침부(24-1)가 정렬되고 탐침부의 반대단이 상기 프로브기판(21)의 홀을 통하여 상기 프로브기판(21)의 니들정렬판이 형성된 면의 배면으로 접속되는 복수개의 프로브니들(24)을 포함하며 이루어진 반도체 웨이퍼 프로브 카드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 프로브니들관통홀(26-1)은, 상기 니들정렬판(26)의 직각방향으로부터 약 6° 내지 7° 정도 기울어지게 형성된 것이 특징인 반도체 웨이퍼 프로브 카드.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프로브기판(21)에 니들정렬판(26)의 고정은, 상기 프로브기판(21)과 니들정렬판(26) 사이에 보강재(22)을 개재하여 형성하는 것이 특징인 반도체 웨이퍼 프로브 카드.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프로브니들(24)은, 상기 니들정렬판(26)을 관통하여 탐침부(24-1)가 정렬된 상태에서 니들정렬판(26)에 고정재(27)로 고정되는 것이 특징인 반도체 웨이퍼 프로브 카드.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160092377A (ko) * 2015-01-27 2016-08-04 한국기술교육대학교 산학협력단 지그를 이용한 프로브 핀의 제조방법
KR102586832B1 (ko) * 2023-07-12 2023-10-11 김왕균 프로브 카드의 제조방법

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KR20160092377A (ko) * 2015-01-27 2016-08-04 한국기술교육대학교 산학협력단 지그를 이용한 프로브 핀의 제조방법
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