KR970028459A - 적외선 센서 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전기도금방식에 의하여 다공질의 백금흑을 금속박막위에 형성시켜 열용량이 작고 수광효율이 우수하도록 한 적외선 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래의 경우 금속전극이나 금속박막전극은 흡수에 의하여 열로 변환되는 효율이 낮아 호전형 적외선 센서의 수광전극으로 활용할 수 없고 적외선 흡수 페이트를 도포하여 사용하는 경우엔 적외선의 흡수효율이 좋이나 코팅두께가 너무 두꺼워 열시정수가 커지므로 수광전극으로 활용하기 부적합한 단점이 있었던바, 본 발명의 경우 금속전극층으로서 금속박막표면에 전기도금방식에 의하여 다공질의 백금흑층을 형성시켜 수광전극이 요구하는 구조나 다공질을 얻고 이에 따라 수광효율을 향상시킬 수 있는데 그 특징이 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 적외선 센서의 구조를 예시하여 나타내는 확대 단면도.
Claims (6)
- 기지의 일측표면에 금속전극층을 형성하고 상기 금속전극층의 일측으로서 기지의 대향측엔 수광전극층을 형성하되, 수광전극층이 백금흑층으로 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 센서.
- 제1항에 있어서, 상기 금속전극층을 금 또는 백금이나 금과 백금의 혼재형태로 형성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 센서.
- 기지의 표면을 세척하고 금속전극층을 형성하여 이루어지는 적외선 센서의 제조방법에 있어서, 상기 금속전극층을 증착방식으로 10∼50nm로 형성하고 상기 금속전극층의 상부에 백금흑에 의해 전기도금 방식으로 수광전극층을 형성하되, 상기 수광전극층의 면적밀도가 0.5∼3㎎/㎠ 범위에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 센서의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 전기도금이 전극의 경우 양극은 순도가 99.999%인 백금판을 사용하고 음극은 상기 금속 전극층이 형성된 기지를 사용하여, 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 센서의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 전기도금이 전류밀도가 8-50mA/㎠이고 도금시간이 1-5분간 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 센서의 제조방법.
- 제4항 또는 제5항에 있어서, 전기도금이 전해액의 경우 염화백금, 아세트산납 및 증류수로 이루어지고 PH가 1.0∼1.5하에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 센서의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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| KR100310112B1 (ko) * | 1998-12-28 | 2001-12-17 | 배성호 | 초전소자용수광전극제조방법 |
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- 1995-11-14 KR KR1019950041326A patent/KR100202730B1/ko not_active IP Right Cessation
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