KR970020995A - 폐수처리에 의한 초순수 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 생산 공정의 웨이퍼(Wafer) 세척과정에서 발생하는 각종 유기물, 무기물, 이온 등을 함유하는 폐수나 또는 각종 산업 분야에서 발생하는 오염된 폐수를 정수 처리하여 고순도의 처리수인 초순수를 제조하는 방법에 관한 것이다.
공정상에서 발생하여 유입된 폐수의 PH 온도 등의 성상을 일정하게 유지하기 위한 이큐 베이슨과; 이큐 베이슨으로부터 이송된 폐수를 냉각 유지시키는 냉각기와; 냉각기로부터 이송된 폐수 내의 BOD와 부유고형물질을 제거시키는 바이오 필터와, 바이오 필터를 통과한 처리수를 다음 공정에 일정하게 공급하기 위한 바이오 탱크와; 상기 바이오 탱크로부터 이송된 처리수중 불순물을 여과하는 씨.엠.에프와; 오존(03)을 이용하여 처리수를 살균, 탈색, 탈취, 산화시키는 오존 컨택트 챔버 탱크와; 상기 씨.엠, 에프와 오존 컨택트 챔버 탱크를 통한 처리수를 다음 공정에 일정하게 공급하기 위한 씨.엠.에프 스토리지 탱크와: 처리수에 자외선을 투과시켜 03를 O2로 바꾸어 다음 공정 설비를 보호하며, 박테리아와 유기물질을 산화 분해하는 오존 디스트랙션과; 물속에 존재하는 유기물질, 색도성분, 잔류염소 등을 흡착, 제거하는 에이/씨 필터와, 물속의 음이온 성분중 H2CO3HCO- 3및 CO3 -2상태로 존재하는 CO2를 분리, 제거하여 엠. 비. 디 중에 음이온 교환의 부하를 감소시키는 디개시퍼와; 처리수에 부유고형물질 등의 이물질 유입을 방지하는 프리필터와, 역삼투압을 이용하여 이온 및 미네랄 등을 제거하는 알/오 유니트와; 알/오 유니트로부터 처리된 처리수를 저장하는 알/오 퍼미에이트 탱크와; 탱크 내부에 양이온 교환수지 및 음이온 교환수지를 충진하여 물속에 녹아있는 이온 성분을 제거시켜 물의 순도를 올리는 믹스 베드 디이온나이져와; 물에 자외선을 투과시켜 박테리아와 유기물질을 산화 분해하는 티.오.씨 리듀서와; 처리된 처리수의 순도를 더욱 높이기 위한 엔.알.피 보틀과; 최종 처리수인 초순수를 저장하기 위한 3디아이 탱크와; 최종 처리수의 03제거와 최종 살균을 위한 유.브이 스테리라이져와; 처리수의 최종 입자제거를 하는 파이널 필터의 공정을 순차적으로 거쳐 초순수를 제조하는 방법이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에서 폐수를 초순수로 정수 처리하는 과정의 전체를 나타낸 공정도.
Claims (1)
- 공정상에서 발생하여 유입된 폐수의 PH 온도 등의 성상을 일정하게 유지하기 위한 이큐 베이슨과; 이큐 베이슨으로부터 이송된 폐수를 냉각 유지시키는 냉각기와, 냉각기로부터 이송된 폐수 내의 BOD와 부유고형물질을 제거시키는 바이오 필터와; 바이오 필터를 통과한 처리수를 다음 공정에 일정하게 공급하기 위한 바이오 탱크와; 상기 바이오 탱크로부터 이송된 처리수중 불순물을 여과하는 씨.엠.에프와; 오존(03)을 이용하여 처리수를 살균, 탈색, 탈취, 산화시키는 오존 컨택트 챔버 탱크와; 상기 씨. 엠, 에프와 오존 컨택트 챔버 탱크를 통한 처리수를 다음 공정에 일정하게 공급하기 위한 씨 엠 에프 스토리지 탱크와; 처리수에 자외선을 투과시켜 03를 02로 바꾸어 다음 공정 설비를 보호하며, 박테리아와 유기물질을 산화 분해하는 오존 디스트랙션과; 물속에 존재하는 유기물질, 색도성분, 잔류염소 등을 흡착, 제거하는 에이/씨 필터와; 물속의 음이온 성분중H2CO3, HCO- 3및 CO3 -2상태로 존재하는 CO2를 분리, 제거하여 엠.비.디 중에 음이온 교환의 부하를 감소시키는 디개시퍼와; 처리수에 부유고형물질 등의 이물질 유입을 방지하는 프리필터와; 역삼투압을 이용하여 이온 및 미네랄 등을 제거하는 알/오 유니트와; 알/오 유니트로부터 처리된 처리수를 저장하는 알/오 퍼미에이트 탱크와; 탱크 내부에 양이온 교환수지 및 음이온 교환수지를 충진하여 물속에 녹아있는 이온 성분을 제거시켜 물의 순도를 올리는 믹스 베드 디이온나이져와; 물에 자외선을 투과시켜 박테리아와 유기물질을 산화 분해하는 티,오.씨 리듀서와; 처리된 처리수의 순도를 더욱 높이기 위한 엔.알.피 보틀과; 최종 처리수인 초순수를 저장하기 위한 3디아이 탱크와; 최종 처리수의 03제거와 최종 살균을 위한 유.브이 스테리라이져와; 처리수의 최종입자제거를 하는 파이널 필터의 공정을 순차적으로 거쳐 초순수로 제조됨을 특징으로 하는 폐수 처리에 의한 초순수 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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