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Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사filedCritical김광호
Priority to KR1019950031045ApriorityCriticalpatent/KR970018189A/ko
Publication of KR970018189ApublicationCriticalpatent/KR970018189A/ko
본 발명은 전기분해를 이용한 양극산화장치에 관해 개시한다. 본 발명에 의한 양극산화장치는 전해액이 일부분 채워진 수조와 상기 전해액에 일부분이 잠긴 양극판과, 상기 양극판의 상기 전해액에 잠기지 않은 부분과 외부 전원부가 콘택되는 부분의 전극핀을 구비하는 전기분해를 이용한 양극산화장치에 있어서, 상기 전극핀은 상기 전해액과 접촉을 방지하는 수단을 구비한다.
본 발명에 의하면, 전극핀에 전해액을 제거할 수 있는 수단으로 공기튜브 또는 드레인튜브를 구비함으로써, 전극콘택부분이나 전극핀이 전해액과 접촉되는 것을 방지할 수 있고, 따라서 전극콘택부분의 금속막의 손실을 방지하여 반도체장치의 불량율을 감소시킬 수 있다.
Description
전기분해를 이용한 양극산화장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 의한 제1수단을 구비하는 전기분해를 이용한 양극산화장치의 전극콘택부분만을 나타낸 도면이다.
Claims (3)
전해액이 일부분 채워진 수조와 상기 전해액에 일부분이 잠긴 양극판과, 상기 양극판의 상기 전해액에 잠기지 않은 부분과 외부 전원부가 콘택되는 부분의 전극핀을 구비하는 전기분해를 이용한 양극산화장치에 있어서, 상기 전극핀은 상기 전해액과 접촉을 방지하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전기분해를 이용한 양극산화장치.
제1항에 있어서, 상기 수단은 튜브인 것을 특징으로 하는 전기분해를 이용한 양극산화장치.
제2항에 있어서, 상기 튜브는 공기튜브 또는 공기튜브와 드레인 튜브인 것을 특징으로 하는 전기분해를 이용한 양극산화장치.
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