KR970003493B1

KR970003493B1 - 연마제 분사장치 및 그를 갖춘 핀 제거장치

Info

Publication number: KR970003493B1
Application number: KR1019930017020A
Authority: KR
Inventors: 최영길
Original assignee: 최영길
Priority date: 1992-08-27
Filing date: 1993-08-27
Publication date: 1997-03-18
Also published as: EP0585137B1; EP0585137A1; KR940003673A; DE69318355T2; DE69318355D1

Abstract

없음.

Description

연마제 분사장치 및 그를 갖춘 핀 제거장치

제1도는 본 발명을 포함하는 핀 제거장치를 수직단면으로 나타내는 개략적인 정면도이고,

제2도는 상기 제1도에서 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 취해진 개략적인 단면도이고,

제3도는 상기 제2도에서 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취해진 단면도이고,

제4도는 상기 제3도에서 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 취해진 단면도이고,

제5도는 핀 제거장치내에 장착된 공급어셈블리(feeding assembly)를 나타내는 국부적인 정면도이고,

제6도는 상기 제5도에서 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 취해진 단면도이고,

제7도는 상기 제1도에서 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 취해진 단면도이고,

제8도는 본 발명을 포함하는 또다른 핀 제거장치를 수직단면으로 나타내는 개략적인 정면도이고,

제9도는 상기 제8도에서 Ⅸ-Ⅸ선을 따라 취해진 개략적인 단면도이고,

제10도는 상기 제8도의 핀 제거장치내에 장착된 운반어셈블리의 입구를 나타내는 평면도이고,

제11도는 상기 제10도에서 XI-XI선을 따라 취해진 단면도이고,

제12도는 상기 제11도에서 XII-XII선을 따라 취해진 단면도이고,

제13도는 상기 운반어셈블리의 출구를 나타내는 평면도이고,

제14도는 상기 제13도에서 XIV-XIV선을 따라 취해진 단면도이고,

제15도는 상기 제14도에서 XV-XV선을 따라 취해진 단면도이고,

제16도는 상기 제14도에서 XVI-XVI선을 따라 취해진 단면도이고,

제17도는 상기 제8도에서 XVII-XVII선을 따라 취해진 단면도이고,

제18도는 상기 제13도와 유사하지만 수정된 운반어셈블리의 출구를 나타내는 평면도이고,

제19도는 상기 제18도에서 XIX-XIX선을 따라 취해진 단면도이고,

제20도는 핀 제거처리되어야 할 성형된 리드프레임을 나타내는 평면도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

F : 리드프레임S : 연마제

M : 수지패캐이지1 : 분사실

2 : 입구콘테이너3 : 출구콘테이너

4 : 운반어셈블리5 : 분사노즐

6 : 공기배급파이프6a : 공기공급호스

7 : 먼지모음후드8 : 먼지파이프

9 : 먼지캐쳐(catcher)10 : 먼지모음실

11 : 흡입송풍기12 : 깔데기부

13 : 연마제 복구어셈블리14 : 모음콘테이너

14a,14b : 벽부분15 : 연마제공급호스

16 : 상부스크린17 : 하부스크린

18 : 하부서랍19,20 : 관(duct)

21 : 연마제 흡입파이프21a : 흡입구

23a,23b :조정메카니즘24,27 : 슬리브(sleeve)

25,28 : 세트나사26 : 공기방출파이프

26a : 방출단부29 : 여유공간

30 : 공기공급호스31 : 서지(surge)탱크

32 : 송풍기33 : 레일(rail)부재

34 : 가이드그루브(groove)35 : 사슬톱니바퀴 트레인

36 : 무한운반체인36a : 수평운반경로

37 : 맞물림톱니멈춤쇠38 : 공급어셈블리

39 : 공급가이드39a : 컷아웃(cutout)

40 : 공급도르래40a : 회전샤프트

41 : 공급벨트42a,42b,43c : 구도드르래

43 : 백업(backup)로울러44 : 투하장치

4' : 수정된 운반어셈블리45 : 병렬무한운반체인

46,59 : 입구측 및 출구측 구동된 사슬톱니바퀴

47a,47b : 입구측 및 출구측 사슬톱니바퀴

48,55 : 수직지지샤프트49,56 : 이동가능한 부재

50a,50b : 가이드부재51,57 : 가이드구멍

52,52a,52b : 나삿니가 형성된 부재

53,58 : 조정막대53a,38a : 나삿니

53b,58b : 조립부53c,58c : 확대된 헤드

53d,58d : 외측맞물림단부54 : 공급가이드

60a,60b : 정지마운트(mount)61 : 유동사슬톱니바퀴

62 : 구동사슬톱니바퀴63 : 모터

64 : 무한구동체인65a,65b : 하부 및 상부연결부

66 : 솟음부(riser portion)67 : 스토퍼 시그먼트(stopper segment)

68 : 체인가이드69 : 코넥터

70,71 : 백업부재72 : 무한운반벨트

본 발명은 제품의 연마제처리를 수행하기 위하여 고속의 공기와 함께 연마제입자들을 분사하도록 설계된 연마제 분사장치에 관한 것이다. 본 발명은 또한 전자장치의 제조시에 성형된 리드프레임으로부터 수지핀(resin fin)을 제거하기 위하여 상기 연마제 분사장치를 갖춘 핀 제거장치에 관한 것이다.

일반적으로, 연마제 분사장치는 분사실내에 배열된 적어도 하나의 분사노즐(nozzle)로 이루어진다. 상기 분사노즐은 공기배급파이프와 연마제 공급호스에 연결되고, 따라서 상기 연마제 공급호스를 통해 공급된 연마제는 분사노즐로부터 방출되기 위하여 상기 공기배급파이프를 통해 공급된 고속의 공기에 혼입되어 운반된다. 그리하여 연마제처리를 위해 방출된 연마제는 제품에 충돌한 후 분사연마제처리로 인해 발생된 먼지(예를들면 수지핀먼지)와 함께 분사실의 바닥부분으로 떨어진다.

상기 떨어진 연마제를 분사노즐로 다시 순환시키기 위하여 네가티브(negative)압력소스에 연결된 분리기(separator)가 분사실 위에 장착될 수도 있으며, 예로써 동일 출원인의 일본 특허출원 공개번호 제4-63680(공개일 : 1992. 2.28)에 공개되어 있다. 상기 네가티브압력소스는 흡입송풍기를 갖춘 적절히 맞추어진 먼지캐처(catcher)일 수 있다.

상기 분리기는 복구튜브를 통해 분사실의 바닥으로부터 연마제를 흡입하며, 상기 분리기내에서 연마제는 먼지로부터 분리되어 분리기의 바닥부분에 모인다. 상기 모인 연마제는 연마제 공급호스를 통해 분사노즐로 다시 순환된다.

앞서 설명한 바와 같은 종래의 기술에 따르면 분리기는 분사실에 위에 탑재된다. 상기 분사노즐이 스스로 연마제를 빨아 들이기 위한 네가티브압력을 발생할 수 있을지라도, 그 정도의 네가티브압력만으로는 연마제를 분사실의 바닥으로부터 분사노즐의 레벨까지 들어올려서 분사노즐로 하여금 고속의 공기와 함께 방출하기 위해 들어올려진 연마제를 흡입할 수 있도록 하기에는 불충분하다. 따라서, 종래의 경우 상기 분리기는 분사노즐까지 연마제를 가져가는데 중력을 이용하기 위하여 분사실에 위에 탑재되었으며, 그렇게 하여 분사노즐의 네가티브압력만으로도 충분한 양의 연마제를 흡입할 수 있었다.

그러나, 상기와 같은 종래의 기술은 상기 분리기가 불가피하게 상기 분사장치의 전체 높이를 증가시킨다는 분명한 단점이 있다. 따라서 공간이 제한될 경우, 상기 분사장치를 설치하는 것이 불가능해질 수 있다. 특히, 수지로 포장되는 타입의 전자부품을 제조하기 위한 생산공정에서는 일반적으로 작은 높이의 장치가 요구되는 것으로 대체로 알려져 있으므로, 분사장치 또는 높이가 낮아야 할 필요가 있다.

이에 본 발명은 분사실의 용량을 절감하지 않고, 크기에 있어서 특히 높이를 크게 절감할 수 있는 연마제 분사장치를 제공함을 목적으로 한다.

본 발명의 또다른 목적은 성형된 리드프레임으로부터 효율적이고 효과적으로 수지핀을 제거하기 위한 상기와 같은 연마제 분사장치를 갖춘 핀 제거장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 한가지 견해에 따르면, 분사실과; 상기 분사실내에 배치된 적어도 하나의 분사노즐과; 상기 분사노즐에 공기를 공급하기 위한 공기공급수단과; 공기와 함께 방출하기 위하여 상기 분사노즐에 연마제를 공급하기 위한 연마제 공급수단과; 상기 방출된 연마제를 모으고 상기 모인 연마제를 연마제 공급수단으로 다시 순환시키기 위하여 연마제 공급수단에 연결된 연마제 복구수단으로 이루어지고; 상기 연마제 복구수단은 분사실의 하부에 배열되고 연마제 공급수단에 연결된 적어도 하나의 흡입구와, 상기 연마제 흡입구에 대해 여유공간을 갖고 면하는 방출단부를 갖는 적어도 하나의 공기방출파이프로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마제 분사장치가 제공된다.

전술한 장치에 따르면, 상기 공기방출파이프로부터 연마제 흡입구로 방출된 공기는 연마제 흡입구로 흡입된 연마제에 동적압력을 주게 되며, 그에 의해 연마제가 다시 분사노즐로 펌프(pump)된다. 게다가, 상기 분사노즐 그 자체는 본질적으로 연마제를 끌어들이기 위한 네가티브압력을 발생한다. 따라서, 연마제 복구수단에 의해 제공되는 펌핑기능은 분사실의 바닥부분으로부터 분사노즐까지 연마제를 들어올리고 그 연마제를 방출하기 위하여 분사노즐 본래의 흡입기능과 기술적으로 결합된다.

이렇게 하여, 분리기가 분사실 위에 배치될 필요가 없어진다. 결과적으로 분사실의 용량을 감소하지 않고서도 분사장치의 전체높이를 줄일 수 있다.

바람직하기로는, 상기 연마제 흡입구 및 공기방출파이프의 적어도 하나가 여유공간을 조정하기 위해 위치상으로 변위될 수 있다. 또한 상기 공기방출파이프는 상기 연마제 흡입구와 공축을 갖고, 상기 방출파이프는 상기 연마제 흡입구의 내경(inner diameter)보다 더 작은 외경(outer diameter)을 갖는 것이 바람직하다.

본 발명의 또 다른 견해에 따르면, 성형된 리드프레임으로부터 수지핀을 제거하기 위한 장치가 제공되는데, 상기 장치는 분사실과; 분사실내에서 사실상 수평으로 상기 리드프레임을 운반하기 위한 운반어셈블리와; 상기 분사실내에서 상기 운반수단에 의해 운반되는 리드프레임을 향해 배치된 적어도 하나의 분사노즐과; 상기 분사노즐에 공기를 공급하기 위한 공기공급수단과; 리드프레임을 향하여 공기와 함께 방출하기 위하여 상기 분사노즐에 연마제를 공급하기 위한 연마제 공급수단과; 상기 방출된 연마제를 모으고, 모인 연마제를 상기 연마제 공급수단으로 다시 순환시키기 위하여 상기 연마제 공급수단에 연결된 연마제 복구수단으로 이루어지고; 상기 연마제 복구수단은 상기 분사실의 하부에 배치되어 상기 연마제 공급수단에 연결된 적어도 하나의 연마제 흡입구와, 상기 연마제 흡입구에 대하여 여유공간을 가지고 면하는 방출단부를 갖는 적어도 하나의 공기방출파이프로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 한 구체적 실시예에 따르면, 상기 운반어셈블리는 상기 분사실내에 사실상 수평으로 배치되고 리드프레임의 장축모서리를 미끄러질 수 있게 지지하기 위하여 리드프레임 운반경로와 교차하여 일정간격 떨어져 위치된 한쌍의 평행레일(rail)부재로 이루어진다. 상기 리드프레임은 이동메카니즘에 의해 상기 레일부재 쌍을 따라 이동될 수 있다.

본 발명의 또 다른 구체적 실시예에 따르면, 상기 운반어셈블리는 상기 분사실내에 사실상 수평으로 배치되고 리드프레임이 이동하고 있는 동안 상기 리드프레임의 장축모서리를 지지하기 위하여 리드프레임 운반경로와 교차되어 간격이 떨어져 위치된 한쌍의 무한이동부재로 이루어진다. 상기 한쌍의 무한이동부재는 한쌍의 무한운반체인(chain)으로 이루어질 수도 있다. 달리는, 상기 한쌍의 무한이동부재는 리드프레임의 장축모서리와 맞물리기 위하여 적어도 한쌍의 마주보는 그루브(groove)를 갖는 한쌍의 무한운반벨트(belt)로 이루어질 수도 있다.

바람직하기로는, 상기 한쌍의 무한이동부재 사이의 공간은 조정메카니즘에 의해 조정될 수 있으며, 상기 운반어셈블리는 리드프레임의 특정크기에 맞추어질 수도 있다.

본 발명의 또 다른 목적, 형태 및 잇점은 뒤따르는 첨부된 도면을 참고로 하여 주어지는 바람직한 구체적 실시예의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다.

이하 본 발명을 첨부된 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다.

먼저 제1도 내지 제7도는 본 발명의 제1구체적 실시예에 따른 핀 제거장치를 나타낸다. 상기 핀 제거장치는 성형된 리드프레임(F)(제7도를 보시요)으로부터 수지핀을 제거하는데 사용된다.

제1도 및 제2도에 나타내어진 바와 같이, 제1구체적 실시예의 핀 제거장치는 입구콘테이너(2) 및 출구콘테이너(3)에 의해 접해 있는 분사실(1)을 포함한다. 이들 콘테이너는 상기 분사실(1)을 통하여 유지된다. 운반어셈블리(4)는, 이후에 보다 상세히 설명되어지는 바와 같이 리드프레임(F)을 운반하기 위하여 상기 분사실(1)과 상기 콘테이너(2)(3)을 통하여 사실상 수평으로 뻗어 있다.

상기 운반어셈블리(4)에 의해 운반되는 리드프레임(F)의 상부 및 하부에는 상기 리드프레임(F)을 향하여 각각의 노즐개구를 갖는 복수의 분사노즐(5)이 배열된다. 상기 분사노즐(5)은 각각의 공기공급호스(6a)를 통하여 공기배급파이프(6)에 연결된다. 상기 공기배급파이프(6)는 분사실(1)내의 상부에 배치되고 루트(Root)의 송풍기와 같은(미도시된) 저압공기발생소스에 연결된다.

제2도에 나타내어진 바와 같이 우산모양의 먼지모음후드(7)가 또한 상기 분사실(1)상부에 상기 공기배급파이프(6)의 약간 뒤에 위치된다. 상기 후드(7)는 먼지파이프(8)를 통해 상기 분사실(1) 밖의 뒤에 배치된 먼지캐쳐(9)에 연결된 윗면부분을 갖는다. 상기 먼지캐쳐(9)는 종래의 것일 수도 있으며, 먼지모음실(10)과, 상기 먼지파이프(8)를 통해 상기 먼지모음실(10)로 먼지를 실은 공기를 흡입하기 위하여 상기 먼지모음실(10) 위에 설치된 흡입장치(11)로 이루어진다. 상기 먼지는 상기 먼지모음실(10)에서 여과법에 의해 제거된다.

상기 분사실(1)은 밑바닥에 아래쪽으로 가면서 직경이 감소하는 깔데기부(12)를 갖는다. 상기 깔데기부(12)는 상기 깔데기부(12)의 아래에 설치된 연마제 복구어셈블리(13)에 연결된다.

제3도 및 제4도에 더욱 상세히 도시되어 있는 바와 같이, 상기 연마제 복구어셈블리(13)는 상기 깔데기부(12)로부터 떨어지는 연마제(S)를 수용하기 위하여 상기 깔데기부(12)의 아래단부에 연결된 모음콘테이너(14)를 포함한다. 상기 모음콘테이너(14)의 윗쪽부분에는 미세한 핀 먼지와 연마제(S)는 통과시키고 더 굵직한 핀 먼지는 제거하기 위한 서랍모양의 스크린(16)이 제공된다. 또한 상기 모음콘테이너(14)의 아래부분에는 연마제(S)의 입자크기보다 더 작은 그물크기를 갖는 스크린(17)을 포함하는 서랍(18)이 제공된다. 따라서, 상기 하부스크린(17)은 연마제(S)가 통과하는 것은 막고 보다 미세한 핀 먼지는 상기 서랍(18)속으로 끌어들여 제거하게 된다.

더욱이, 상기 모음콘테이너(14)는 각각의 관(19)(20)(제1도 및 제3도를 보시요)를 통해 상기 입구 및 출구콘테이너(2)(3)에 연결된다. 따라서, 상기 입구 및 출구콘테이너(2)(3)로 떨어지는 연마제(S)는 상기 모음콘테이너(14)로 인도된다.

상기 연마제 복구어셈블리는 또한 각각의 흡입구(21a)를 갖는 복수의 연마제 흡입파이프(21)와, 각각이 그들 사이에 형성된 고리모양의 여유공간(29)(제4도를 보시요)을 갖고 대응하는 연마제 흡입파이프(21)의 흡입구(21a)와 축방향으로 일직선을 이루는 방출단부(26a)를 갖는 대응하는 수의 공기방출파이프(26)(제3도를 보시요)를 포함한다. 공기가 상기 방출파이프(26)로부터 각각의 연마제 흡입파이프(21)로 방출될때, 연마제(S)는 상기 흡입파이프(21)로 빨아들여져서 공기에 의해 운반된다.

상기 연마제 흡입파이프(21)는 제1도, 제2도 및 제4도에서 나타내어진 바와 같이 각각의 연마제 공급호스(15)를 통해 각각의 분사노즐(5)에 연결된다. 마찬가지로, 상기 공기방출파이프(26)는 제2도에 나타내어진 바와 같이 공기공급호스(30)를 통해 뒤이어 송풍기(32)에 연결된 일반서지(surge) 탱크(31)에 연결된다.

제4도에 나타내어진 바와 같이, 각각의 연마제 흡입파이프(21)는 일차 조정메카니즘(23a)에 의해 사실상 수평으로 상기 모음콘테이너(14)의 벽부분(14a)에 장착된다. 상기 일차 조정메카니즘(23a)은 상기 흡입파이프(21)를 미끄러질 수 있게 수용하기 위하여 꿰뚫어서 벽부분(14a)에 고정되는 장착슬리브(24)와, 상기 슬리브(24)를 통하여 방사상으로 뻗어서 상기 흡입파이프(21)와 맞물리는 세트나사(25)로 이루어진다. 따라서, 상기 흡입파이프(21)는 상기 세트나사(25)를 풀거나 조임에 의해(축의 방향으로) 수평으로 위치를 조정할 수 있다.

마찬가지로, 상기 각 공기방출파이프(26)는 이차 조정메카니즘(23b)에 의해 상기 모음콘테이터(14)의 또다른 벽부분(14b)에 사실상 수평으로 장착된다. 상기 이차 조정메카니즘(23b)은 방출파이프(26)를 미끄러질 수 있게 수용하기 위하여 꿰뚫어서 상기 벽부분(14b)에 고정되는 장착슬리브(27)와, 상기 슬리브(27)을 통해 방사상으로 뻗어서 상기 방출파이프(26)와 맞물리는 세트나사(28)로 이루어진다. 따라서, 상기 방출파이프(26)는 상기 세트나사(28)를 풀고 조임에 의해 수평으로(축방향에서) 위치를 조정할 수 있다.

제4도로부터 분명히 알 수 있는 바와 같이, 각 공기방출파이프(26)의 외경은 각 연마제 흡입파이프(21)의 내경보다 더 작게 제공된다. 또한, 상기 흡입파이프(21)의 흡입구(21a)는 내면적으로 상기 방출파이프(26)쪽으로 나팔꽃처럼 벌어지고, 상기 방출파이프(26)의 방출단부(26a)는 외적으로 상기 흡입파이프(21)쪽으로 뾰족해진다. 상기 흡입구(21a)와 상기 방출단부(26a) 사이의 고리모양 여유공간(29)은 상기 흡입 및 방출파이프(21)(26) 양쪽 또는 어느 하나를 위치조정함에 의해(반지름 및 축크기 양자를 포함하여) 크기를 조정할 수 있다.

작업중에 흡입력은 상기 먼지캐쳐(9)(흡입송풍기(11))의 작용하에서 상기 먼지모음후드(7)에 인가된다. 또한, 상기 미도시된 송풍기는 상기 공기배급파이프(5) 및 공기공급호스(6a)를 통해 상기 각 분사노즐(5)에 공기를 공급하도록 작동되며, 다른 송풍기(32)는 상기 서지탱크(31) 및 상기 공기공급호스(30)를 통해 상기 각 공기방출파이프(26)에 공기를 공급하도록 작동된다. 분사작업을 실시하는 동안, 주어진 양의 연마제(S)는 반복된 분사작업을 수행하기 위해 순환된다. 적절한 예의 연마제(S)는 폴리비닐수지와 같은 수지입자나 부서진 호두(밤) 또는 살구씨 껍질에 의해 얻어지는 입자등을 포함한다.

상기 연마제는 리드프레임(F)(제7도를 보시요)으로부터 수지핀을 제거하기 위하여 각각의 분사노즐(5)로부터 고속의 공기에 의해 분사된다. 따라서 상기 분사실(1)내에 분사된 연마제는 중력에 의해 상기 모음콘테이너(14)로 떨어진다(제4도를 보시요). 상기 모음콘테이너(14)로 들어갈때, 상기 연마제에 포함된 보다 더 굵은 핀 먼지를 제거하기 위하여 상부스크린(16)에 의해 분리된다.

특정무게에서 비교적 작은 보다 미세한 핀 먼지는 상기 분사실내에서 공기에 의해 유동되어 상기 먼지캐쳐(9)(제2도를 보시요)에 의해 제거되기 위해 상기 먼지모음후드(7)로 운반된다. 한편, 특정무게에서 비교적 큰 미세한 핀 먼지는 분사된 연마제와 함께 아래쪽으로 이동하지만 앞서 설명된 바와 같이 상기 하부스크린(17)을 선택적으로 통과함에 의해 그로부터 분리된다.

상기 연마제 복구어셈블리(13)에서, 각각의 공기방출파이프(26)를 통해 고속으로 흐르는 공기는 상기 연마제(S)를 고리모양의 여유공간(29)을 통해 상기 흡입파이프(21)로 펌프하기 위해 대응하는 연마제 흡입파이프(21)로 공급된다. 또한, 네가티브압력은 상기 대응하는 공기공급호스(6a)를 통해 공급되는 고속공기흐름에 의해 각각의 분사노즐(5)(제1도)에서 발생되며, 그에 의해 리드프레임(F)을 향해 연마제가 분사된다. 이와 같은 방법에서, 상기 흡입파이프(21)에서 발생된 펌프력(또는 동적압력)은 연마제를 비교적 높은 레벨의 분사노즐(5)까지 효율적으로 운반하기 위하여 상기 분사노즐(5)에서 발생된 네가티브압력과 결합된다. 따라서, 상기 분사실(1) 위에 별도의 분리기를 제공할 필요가 없다.

더욱이, 상기 고리모양 여유공간(29)의 크기는 상기 연마제 흡입파이프(21) 및 상기 공기방출파이프(26)를 양쪽다 또는 어느 하나를 수평으로(즉, 축방향으로) 옮김에 의해 조정될 수 있다. 따라서, 단위시간당 각 분사노즐(5)로부터 분사되는 연마제의 양은 연마제의 종류, 입자크기등에 따라 조정할 수 있다.

제20도에 나타내어진 바와 같이, 도시된 핀 제거장치에 의해 처리되는 리드프레임(F)은 얇은 금속판에 구멍을 뚫어 형성된 스트립(strip)이다. 상기 리드프레임(F)은 일정한 간격을 두고 일렬로 배열된 성형된 수지패캐이지(M)에 각각 포함된 반도체장치를 제조하는데 사용된다. 상기 도시된 핀 제거장치는 연마제를 분사함에 의해 상기 리드프레임(F)이 수평으로 운반되는 동안 수지패캐이지(M)의 성형시에 불가피하게 형성되는 핀을 편리하게 제거하도록 설계된다. 상기 리드프레임(F)의 운반은 앞서 설명한 바와 같이, 운반어셈블리(4)에 의해 운반된다.

제7도에 나타내어져 있는 바와 같이, 상기 운반어셈블리(4)는 상기 분사실(1)을 통해 입구콘테이너(2)로부터 출구콘테이너(3)까지 사실상 수평으로 뻗어 있는 한쌍의 가로로 간격을 둔 레일부재(33)로 이루어진다. 상기 한쌍의 레일부재(33)에는 마주보는 한쌍의 V형 가이드그루브(34)가 제공되며, 상기 각 가이드그루브(34) 바닥간의 간격은 일반적으로 리드프레임(F)의 폭에 대응하여 만들어진다. 따라서, 상기 리드프레임(F)의 마주보는 장축모서리는 리드프레임(F)이 상기 레일부재(33)를 따라 레일부재(33) 사이를 이동하는 동안 상기 각 가이드그루브(34)에 미끄러질 수 있게 붙잡혀 있게 된다.

제1도, 제5도 및 제7도에서 나타내어져 있는 바와 같이 무한운반체인(36)은 상기 쌍(33)아래의 사슬톱니바퀴의 트레인(train)(35)에 의해 인도된다. 상기 체인(36)이 이동하고 있는 동안 적어도 하나의 사슬톱니바퀴(35)는 미도시된 모터에 연결된 구동톱니바퀴이다.

상기 운반체인(36)은 상기 레일부재쌍(33) 바로 아래에 레일부재를 따라 뻗어 있는 수평운반경로(36a)(제1도를 보시요)를 갖는다. 상기 체인(36)은 상기 수평운반경로(36a)를 따라 리드프레임(F)을 맞물고 계속 전진하게 위하여(제7도를 보시요) 일정한 간격으로 복수의 맞물림 톱니멈춤쇠(37)를 갖고 있다.

전술한 바와 같이 배열의 운반어셈블리(4)에 따르면, 리드프레임(F)은 리드프레임 운반경로의 가로로 간격을 둔 각 레일부재(33)의 가이드그루브(34)에 미끄러질 수 있게 붙잡혀 있는 리드프레임의 장축모서리로 운반된다. 따라서, 상기 리드프레임(F)은 윗부분 및 아래부분이 거의 노출되어 유지될 수 있으므로, 상기 분사노즐(5)이 수지패캐이지(M)의 성형시에 불가피하게 형성된 수지핀을 아주 편리하게 제거할 수 있게 한다.

바람직하기로는, 상기 레일부재(33)는 연마제 분사작업에 의해 발생될 수도 있는 정전기전하를 피하기 위하여 전기적으로 도전성인 금속으로 만들어진 것이 유리하다. 결과적으로, 일단 리드프레임(F)으로부터 떨어진 핀 먼지는 정전기 때문에 상기 리드프레임에 다시 붙는 일이 방지된다.

상기 체인(36)의 수평운반경로(36a)의 입구끝에는 리드프레임(F)을 상기 운반체인(36)의 움직임과 동기하여 상기 레일부재쌍(33)으로 도입하기 위하여 공급어셈블리(38)가 제공된다. 실제 작업중에는 그와 같은 복수의 리드프레임이 계속해서 상기 레일부재(33)에 공급됨을 알 수 있다.

제5도 및 제6도에는 리드프레임(F)의 운반방향으로 서로 떨어져 있는 한쌍의 컷아웃(cutout)(39a)을 갖는 공급가이드(39)를 포함하는 공급어셈블리(38)가 나타내어져 있다. 상기 공급가이드(39)는 사실상 수평으로 뻗어 있고 레일부재쌍(33)과 사실상 동일한 레벨에 배치된다.

상기 공급어셈블리(38)는 또한 각각의 회전샤프트(40a)상에 유지되고 상기 공급가이드(39)의 컷아웃(39a)에 대응하는 관계에서 리드프레임(F)의 운반방향으로 서로 떨어져 위치된 한쌍의 공급도르래(40)를 포함한다. 상기 각각의 공급도르래(40)는 한쌍의 고무공급벨트(41)에 의해 서로에게 연결된다. 한쌍의 백업로울러(43)가 상기 각각의 고무공급벨트(41)와 접촉하여 상기 각 공급가이드(39)의 컷아웃(39a)에 회전할 수 있게 배치된다.

상기 공급어셈블리(38)는 또한 미도시된 모터에 연결된 구동도르래(42a)를 포함한다. 상기 구동도르래(42a)는 또한 운반벨트(42c)를 통해 상기 공급도르래(40)의 각 회전샤프트(40a)상에 지지된 구동된 도르래(42b)에 연결된다.

일단 리드프레임(F)의 앞쪽모서리가 상기 공급가이드(39)와 상기 입구측 공급도르래(40) 사이에 수동으로 또는 자동정렬장치에 의해 삽입되기만 하면, 상기 공급벨트(41)는 상기 리드프레임(F)을 상기 운반체인(36)의 움직임과 동기하여 공급하기 위해 수지패캐이지(M) 열 양측의 리드프레임(F)을 맞문다(제6도를 보시요). 레일부재쌍(33)에 도달한 후, 상기 리드프레임(F)의 전적모서리는 앞서 설명한 바와 같이, 레일부재(33)를 따라 움직이기 위해 맞물림톱니멈춤쇠(37)들중의 드러난 것에 의해 붙잡힌다.

상기 운반어셈블리(4)의 출구끝에는, 처리된 리드프레임(F)을(미도시된) 모음상자나 또는 상기 리드프레임(F)으로부터 포장된 반도체장치를 분리하기 위한 절단장치일 수도 있는(미도시된) 그다음 공정처리장으로 가져가기 위한 투하장치(44)가 제공된다.

제8도 내지 제17도에는 본 발명의 제2구체적 실시예에 따른 핀 제거장치가 나타내어진다. 이러한 구체적 실시예의 핀 제거장치는 수정된 운반어셈블리(4')를 합병한 것을 제외하고는 제1구체적 실시예(제1도 내지 제7도)와 유사하다. 따라서, 간단히 하기 위해 이러한 수정된 운반어셈블리만을 이후에 설명한다.

상기 수정된 운반어셈블리(4')는 서로서로로부터 수평으로 약간 떨어져 있고 그 각각이 운반경로(45a)를 갖는 한쌍의 평행무한운반체인(45)을 포함한다. 상기 무한운반체인(45)은 입구콘테이너(2)내에서 각각의 입구측 사슬톱니바퀴(47a)와(제8도 및 제10도), 그리고 출구콘테이너(3)내에서 각각의 출구측 사슬톱니바퀴(47b)와 (제8도 및 제13도) 맞물려 유지된다.

상기 제2구체적 실시예에 따르면, 상기 출구측 사슬톱니바퀴(47b)는 운반체인(45)을 움직이기 위하여 교대로 구동된다. 또한, 상기 입구측 사슬톱니바퀴(47a) 사이의 간격은 조정될 수 있으며, 출구측 사슬톱니바퀴(47b)사이의 간격도 또한 마찬가지이다.

제10도 내지 제12도에는 계속해서 이동가능한 부재(49)에 탑재된 수직지지샤프트(48)의 상측단부에 장착된 각각의 입구측 사슬톱니바퀴(47a)가 나타내어진다. 상기 이동가능한 부재(49)는 상기 입구콘테이너(2)내에 고정된 한쌍의 가이드부재(50a) 사이에 미끄러질 수 있게 지지되므로, 상기 이동가능한 부재(49)가 상기 리드프레임 운반경로와 교차하여 미끄러질 수 있게 된다. 상기 이동가능한 부재(49)는 상기 리드프레임 운반경로를 횡단하여 뻗어 있는 한쌍의 대응하는 조정막대(53)을 수용하기 위한 한쌍의 가이드구멍(51)을 갖는다.

제12도에 나타내어진 바와 같이, 각각의 조정막대(53)는 입구콘테이너(2)의 벽에 고정된 안쪽으로 나삿니가 형성된 부재(52a)에 나사못으로 고정하기 위한 바깥쪽의 나삿니(53a)를 갖는다. 또한 상기 조정막대는 상기 이동가능한 부재(49)의 대응하는 가이드구멍(51)에 수용된 직경이 더 작은 조립부(53b)와, 상기 이동가능한 부재(49)와 맞물리기 위하여 상기 막대(53)의 내측끝에 있는 확대된 헤드(53c)와, (미도시된)적절한 회전기구와 연동하기 위한 외측맞물림단부(53d)를 갖는다. 따라서 상기 조정막대(53)을 회전시킴에 의해 상기 이동가능한 부재(49)가 또 다른 이동부재쪽으로 및 멀어지는 쪽으로 상기 운반경로와 교차하여 변위하도록 만들어질 수 있고, 그에 의해 상기 각 입구측 사슬톱니바퀴(47a) 사이의 간격을 조정할 수 있다.

제8도 및 제10도에는 상기 입구측 사슬톱니바퀴(47a)쌍 사이에 즉, 상기 무한운반체인(45)쌍 사이에 리드프레임(F)(제12도)을 도입하기 위하여 상기 입구콘테이너(2)에 제공된 공급가이드(54)가 나타내어진다.

제13도 내지 제15도에는 입구측 사슬톱니바퀴(47a)와 사실상 동일한 방식으로 지지된 출구측 사슬톱니바퀴(47b)가 나타내어져 있다. 상세히 설명하면, 상기 각 출구측 사슬톱니바퀴(47b)는 계속해서 이동가능한 부재(56)상에 탑재된 수직지지샤프트(55)의 상측끝에 장착된다. 상기 이동가능한 부재(56)는 상기 출구콘테이너(3)에 고정된 한쌍의 가이드부재(50b)에 의해 미끄러질 수 있게 지지되고, 따라서 상기 이동가능한 부재(56)는 상기 리드프레임 운반경로와 교차하며 미끄러질 수 있다. 상기 이동가능한 부재는 대응하는 한쌍의 조정막대(58)를 수용하기 위하여 한쌍의 가이드구멍(57)을 갖는다.

제15도에 나타내어진 바와 같이, 상기 각 조정막대(58)는 출구콘테이너(3)의 벽에 고정된 내측에 나삿니가 형성된 부재(52b)에 나사못으로 고정하기 위하여 외측으로 나삿니(58a)를 갖는다. 또한 상기 조정막대(58)는 상기 이동가능한 부재(56)의 대응하는 가이드구멍(57)에 수용된 직경이 더 작은 조립부(58b)와, 상기 이동가능한 부재(56)와 맞물리기 위하여 상기 막대(58)의 안쪽끝의 확대된 헤드(58c)와, (미도시된)적절한 회전기구와 맞물리기 위하여 바깥쪽 맞물림단부(58d)를 갖는다. 따라서, 상기 조정막대(58)를 회전함에 의해 상기 이동가능한 부재(56)는 다른 이동가능한 부재의 쪽 및 멀어지는 쪽으로 상기 운반경로와 교차하여 변위하도록 만들어질 수 있고, 그에 의해 상기 각 출구측 사슬톱니바퀴(47b) 사이의 간격을 조정할 수 있게 된다.

제13도 내지 제16도에 나타내어진 바와 같이, 출구측 사슬톱니바퀴(47b)를 위한 각각의 지지샤프트(55)는 직경이 동일한 구동된 사슬톱니바퀴(59)가 제공되는 아래단부를 갖는다. 유동사슬톱니바퀴(61)는 상기 출구콘테이너(3)내의 정지마운트(mount)(60a)(제14도를 보시요)상에 교대로 탑재되고, 구동사슬톱니바퀴(62)는 또 다른 정지마운트(60b)상에 탑재된 모터(63)(제14도)에 연결된다. 상기 각 사슬톱니바퀴(59)(61)(62)는 모두 제14도 및 제15도로부터 분명히 알 수 있는 바와 같이 동일한 높이로 유지된다. 무한구동체인(64)은 각각의 사슬톱니바퀴(59)(61)(62)가 맞물려서 인도된다. 상기 각 구동된 사슬톱니바퀴(59)를 반대방향으로 회전시키기 위하여, 제13도 및 제16도에 나타내어진 바와 같이 상기 구동된 사슬톱니바퀴(59)중 하나는 무한구동체인(64)과 안쪽으로 접촉하게 하고, 그밖의 구동된 사슬톱니바퀴(59)는 바깥쪽으로 동일한 체인과 접촉하도록 만들어진다. 결과적으로 상기 각 운반체인(45)의 운반경로(45a)를 동일한 속도 및 동일한 운반방향(즉 입구콘테이너(2)로부터 출구콘테이너(3)쪽)으로 동시에 움직이도록 할 수 있다.

더욱이, 상기 출구측 사슬톱니바퀴(47b)가 간격을 조정하기 위해 리드프레임 운반경로와 교차하여 이동될때, 상기 구동된 사슬톱니바퀴(59)도 또한 대응하여 이동된다. 따라서, 상기 무한구동체인(64)는 상기 간격조정이 양출구측 사슬톱니바퀴(47b)에 대하여 대칭으로 수행되고 있는한, 항상 상기 사슬톱니바퀴(59)(61)(62)와 맞물림이 풀리지 않은채로 유지된다.

제17도에 잘 나타내어져 있는 바와 같이, 상기 각 운반체인(45)은 리드프레임을 운반하는 동안 상기 리드프레임(F)을 유지하기 위하여 그의 장축모서리와 아래쪽으로부터 편리하게 맞물릴 수 있는 하부연결부(65a)를 갖는다. 또한, 상기 각 운반체인(45)은 상기 리드프레임(F)이 예측치 못하게 떨어지는 것을 방지하기 위하여 스토퍼시그먼트(67)에 부착된 솟음부(66)가 제공되는(일정간격으로) 선택된 상부연결부(65b)를 포함한다.

상기 각 운반체인(45)은 상기 하부연결부(65a) 및 상부연결부(65b) 사이 공간속으로 삽입된 각각의 체인가이드(68)에 의해 처지는 것이 방지된다. 상기 체인가이드(68)은 제11도 및 제14도에 나타내어진 바와 같이 높이를 조정할 수 있는 각각의 코넥터(69)에 의해 상기 각 이동가능한 부재(49)(56)에 장착된다. 그러므로, 상기 체인가이드(68)는 수직으로 조정가능함은 물론, 상기 사슬톱니바퀴(47a)(47b)와 함께 교차하여 조정할 수 있다.

바람직하기로는, 상기 체인가이드(68)중 하나가 상기 리드프레임(F)이 분사노즐(5)에 의해 수행되는 고속연마제분사로 인해 아래쪽으로 탄성적으로 구부러지는 것을 막기 위해 위로부터 상기 리드프레임(F)의 중앙부에 접하는 상부백업부재(70)를 고정하여 가질 수도 있다. 또한, 동일한 체인가이드(68)가 상기 리드프레임(F)이 탄성적으로 위로 구부러지는 것을 막기 위하여 하부백업부재(70)를 추가로 혹은 가변적으로 가질 수도 있다.

제18도 및 제19도는 제2구체적 실시예의 운반체인(45)이 한쌍의 무한운반벨트(72)에 의해 대체되고, 제2구체적 실시예의 사슬톱니바퀴(47a)(47b)가 톱니없는 벨트도르래(47')에 의해 대체된 수정형태가 나타내어진다. 상기 운반벨트(72)에는 리드프레임(F)의 장축모서리를 맞물리기 위하여 적어도 하나의 마주보는 V형 그루브쌍(73)이 제공된다. 상기 운반벨트(72)는 리드프레임(F)이 충격을 완화하는 방식으로 유지될 수 있도록 고무로 만들어지는 것이 바람직하다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명은 여러가지 다른 방법으로 변화될 수 있음이 분명하다. 그러한 변화는 본 발명의 개념 및 범위로부터 분리된 것으로 여겨지지 않으며, 모든 그러한 변형은 당분야에 숙련된 사람들에게는 다음에 따르는 청구범위의 범위안에 포함되는 것이 분명할 것이다.

Claims

상기 분사실내에 배치된 적어도 하나의 분사노즐; 상기 분사노즐에 공기를 공급하기 위한 공기공급수단; 상기 공기와 함께 방출하도록 상기 분사노즐에 연마제를 공급하기 위한 연마제 공급수단; 및 상기 방출된 연마제를 모으고 상기 모아진 연마제를 상기 연마제 공급수단으로 다시 순환시키기 위하여 상기 연마제 공급수단에 연결된 연마제 복구수단을 포함하며, 상기 연마제 복구수단은 상기 분사실하부에 배열되어 상기 연마제 공급수단에 연결된 적어도 하나의 연마제 흡입구, 상기 연마제 흡입구에 대하여 여유공간을 갖고 접하는 방출단부를 가지며, 제한되지 않은 공기통로를 가지고 분사노즐에 대하여 상기 공기공급수단으로부터 분리된 송풍기에 연결된 적어도 하나의 공기방출파이프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마제 분사장치.
제1항에 있어서, 상기 연마제 흡입구 및 상기 공기방출파이프중 적어도 하나가 여유공간을 조정하기 위해 위치를 가변할 수 있는 것을 특징으로 하는 분사장치.
제1항에 있어서, 상기 공기방출파이프는 상기 연마제 흡입구와 동축이며, 그의 외경이 상기 연마제 흡입구의 내경보다 더 작은 것을 특징으로 하는 분사장치.
분사실; 상기 분사실내에서 사실상 수평으로 리드프레임을 운반하기 위한 운반어셈블리; 상기 분사실에 배치되고 상기 운반수단에 의해 운반되는 리드프레임을 향하는 적어도 하나의 분사노즐; 상기 분사노즐에 공기를 공급하기 위한 공기공급수단; 상기 리드프레임을 향해 공기와 함게 방출하도록 연마제를 상기 분사노즐에 공급하기 위한 연마제 공급수단; 및 상기 방출된 연마제를 모으고 상기 연마제 공급수단에 모아진 연마제를 다시 순환시키기 위하여 상기 연마제 공급수단에 연결된 연마제 복구수단을 포함하며, 상기 연마제 복구수단은 상기 분사실의 하부에 배열되고 상기 연마제 공급수단에 연결된 적어도 하나의 연마제 흡입구, 상기 연마제 흡입구에 대하여 여유공간을 가지고 접하는 방출단부를 가지며, 제한되지 않는 공기통로를 가지고 분사노즐에 대하여 상기 공기공급수단으로부터 분리된 송풍기에 연결된 적어도 하나의 공기방출파이프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 성형된 리드프레임으로부터 수지핀을 제거하기 위한 장치.
제4항에 있어서, 상기 운반어셈블리는 브이(V)형의 안내그루브가 각각 형성되어 있고 상기 분사실내에 사실상 수평으로 배치되고 리드프레임의 장축모서리를 미끄러질 수 있게 유지하기 위하여 리드프레임 운반경로를 가로질러 간격이 떨어진 평행한 한쌍의 레일부재, 및 상기 레일부재쌍을 따라 리드프레임을 이동시키기 위한 이동메카니즘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 핀 제거장치.
제4항에 있어서, 상기 운반부재는 상기 분사실내에 사실상 수평으로 배열되고, 리드프레임이 이동하는 동안 상기 리드프레임의 장축모서리를 유지하기 위하여 리드프레임 운반경로를 가로질러 간격이진 한쌍의 무한이동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 핀 제거장치.
제6항에 있어서, 상기 한쌍의 무한이동부재가 한쌍의 무한운반체인을 포함하는 것을 특징으로 하는 핀 제거장치.
제6항에 있어서, 상기 한쌍의 무한이동부재가 리드프레임의 장축모서리를 맞물기 위하여 적어도 한쌍의 브이형 그루브를 갖는 한쌍의 무한운반벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 핀 제거장치.
제6항에 있어서, 상기 한쌍의 무한이동부재 사이의 간격이 조정메카니즘에 의해 조정가능한 것을 특징으로 하는 핀 제거장치.
제9항에 있어서, 상기 조정메카니즘은 리드프레임 운반경로를 가로질러 간격이 떨어지고 한쌍의 무한이동부재를 지지하는 적어도 한쌍의 이동가능한 부재, 및 상기 이동가능한 부재를 서로 접근시키거나 멀어지게 이동하기 위한 나사수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 핀 제거장치.
제5항에 있어서, 상기 운반어셈블리의 이동메카니즘은 리드프레임과 맞물려 전진하도록 리드프레임 운반경로를 따라 간격진 다수의 맞물림 톱니머춤쇠를 포함하는 것을 특징으로 하는 핀 제거장치.