KR970003181Y1 - 웨이퍼 보관통 - Google Patents

Abstract

내용없음.

Description

웨이퍼 보관통

제1도는 본 고안의 분해사시도.

제2도는 종래 보관통의 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 본체 2 : 개방부

2a : 삽입홈 3 : 개폐관

3a : 돌기

본 고안은 웨이퍼(Wafer) 보관통에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼를 보관통에 넣거나 꺼낼 때 웨이퍼에 스크래치(Scratch)가 발생되는 것을 방지할 수 있도록 한 것이다.

종래에는 제2도에 도시한 바와 같이 원통형의 본체(11)에 웨이퍼를 적층시키고 뚜껑(13)을 닫아 웨이퍼(12)가 보관하도록 되어 있다.

따라서 본체(11)에 내장된 웨이퍼(12)를 꺼내고자 할 경우에는 본체(11)를 일측으로 기울여 웨이퍼(12)가 비스듬히 쓰러지도록 되어 있다.

그러나 이러한 종래의 보관통은 웨이퍼(12)를 본체(11) 내에 넣거나, 꺼낼 때 취급이 불안정하게 되므로 웨이퍼(12)에 스크래치가 발생하게 되거나 심한 경우에는 깨지는 경우가 발생되는 결점이 있었다.

본 고안은 종래의 이와 같은 결점을 감안하여 안출한 것으로서, 보관통의 일측에 튀져가 들어갈 수 있도록 개방부를 형성하여 웨이퍼를 손쉽게 넣거나 꺼낼 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 고안은 본체의 일측에 삽입홈을 가진 개방부를 형성하고 개폐판에는 돌기를 형성하여 개폐판이 개방부를 개방 또는 폐쇄시킬 수 있도록 한 웨이퍼의 보관통 구조가 제공된다.

이하, 본 고안을 일실시예로 도시한 첨부된 도면 제1도를 참고로하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제1도는 본 고안의 사시도로서, 상부가 개방된 본체(1)의 일측에 튀져(도시는 생략함)가 들어갈 수 있을 정도의 폭을 가진 개방부(2)가 형성되어 있고 개방부(2)에는 삽입홈(2a)이 형성되어 있다.

또한 개방부(2)와 동일한 형상으로 된 개폐판(3)의 둘레에는 돌기(3a)가 형성되어 있어 개폐판(3)을 개방부(2)에 삽입하면 돌기(3a)가 삽입홈(2a)에 끼워지면서 개폐판(3)이 슬라이딩 이동을 하여 개방부(2)을 폐쇄시키게 된다.

그리고 본체(1)에 웨이퍼(4)를 넣고 외부로부터 보호하기 위해 뚜껑(5)을 덮도록 되어 있다.

이와 같이 구성된 본 고안은 먼저 개폐판(3)을 본체(1)에서 분리시킨 상태에서 웨이퍼(4)로 튀어져 잡아 본체(1) 형성된 개방부(2)를 따라 이동시키면서 차례로 한 개씩 삽입시키게 된다.

그 후 본체(1)에 웨이퍼(4)의 삽입이 완료되면 개방부(2)를 개폐판(3)으로 폐쇄시키고 뚜껑(5)을 덮어 보관하게 된다.

또한 본체(1) 내의 웨이퍼(4)를 꺼내고자 할 경우에는 뚜껑(5)을 열고 개폐판(3)을 본체(1)로부터 분리시킨 후, 웨이퍼를 꺼내게 되는데, 이때 개폐판(3)을 도면상 상방으로 밀어주면 개방부에서 분리되면서 본체(1)내에 보관된 웨이퍼의 측면이 개방부를 통해 외부에 노출되므로 상기 개방부로 튀져를 집어넣고 웨이퍼를 차례로 꺼낼 수 있게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 고안은 본체(1)의 일측에 개방부(2)를 형성하고 상기 개방부에 슬라이딩 가능한 개폐판(3)을 설치하는 간단한 구조에 의해 웨이퍼(4)를 본체(1)에 용이하게 집어넣거나 꺼낼 수 있게 되므로 웨이퍼(4)에 스크래치가 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있게 되고, 본체를 기울이던 종래의 보관통과는 달리 웨이퍼가 깨지는 것도 방지할 수 있게 되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 웨이퍼가 담겨지는 본체(1)의 일측에 웨이퍼 운반용 튀져의 삽입을 위한 개방부(2)와 개폐판의 결합을 위한 삽입홈(2a)을 형성하고 상기 개방부에는 삽입홈에 끼워지도록 돌기(3a)가 형성된 개폐판(3)을 결합하여 개폐판에 의해 개방부를 개폐할 수 있게 되며, 본체의 상부에는 뚜껑(5)을 덮어서 구성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관통.