KR970003181U - 반도체 소자 제조용 화학가스 배출장치 - Google Patents
반도체 소자 제조용 화학가스 배출장치Info
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KR2019950013921U KR970003181U (ko) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | 반도체 소자 제조용 화학가스 배출장치 |
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KR2019950013921U KR970003181U (ko) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | 반도체 소자 제조용 화학가스 배출장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR970003181U true KR970003181U (ko) | 1997-01-24 |
Family
ID=60871809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR2019950013921U KR970003181U (ko) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | 반도체 소자 제조용 화학가스 배출장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR970003181U (ko) |
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1995
- 1995-06-20 KR KR2019950013921U patent/KR970003181U/ko not_active Application Discontinuation
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