KR970001343Y1 - Bubble size controlling apparatus for photoresist - Google Patents
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Abstract
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Description
제1도는 종래의 포토레지스트 코우팅장치의 구성도.1 is a block diagram of a conventional photoresist coating apparatus.
제2도는 본 고안에 의한 포토레지스트 버블크기별 제어장치의 구성도.2 is a block diagram of a device for controlling the size of the photoresist bubble according to the present invention.
제3도는 제2도의 버블제어기의 세부구성도.3 is a detailed block diagram of the bubble controller of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 포토레지스트버블 2 : 필터 및 펌프하우징1: photoresist bubble 2: filter and pump housing
3 : 밸브 4 : 쿨링워터3: valve 4: cooling water
5 : 펌프제어기 6 : 노즐5: pump controller 6: nozzle
7 : 포일렉트릭 리퀴드 센서 8 : 버블제어기7: electric liquid sensor 8: bubble controller
9 : 프로세서제어기 10 : 메인스위치9 processor processor 10 main switch
11 : 부저발생기 R1,R2 : 릴레이11: buzzer generator R1, R2: relay
LED1,LED2 : 발광다이오드 T/S : 토글스위치LED1, LED2: Light Emitting Diode T / S: Toggle Switch
본 고안은 푸토레지스트 버블 크기별 제어장치에 관한 것으로, 특히 포토레지스트의 코우팅 불량을 개선하기 위한 포토레지스트 버블 크기별 제어장치에 관한 것이다.The present invention relates to a control device according to the size of the futoresist bubble, and more particularly to a control device by the size of the photoresist bubble for improving the coating defect of the photoresist.
제1도는 종래의 포토레지스트 코우팅장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional photoresist coating apparatus.
종래의 포토레지스트 코우팅장치는 제1도에 도시한 바와 같이 포토레지스트 버블이 발생되는 포토레지스트 버블(1), 포토레지스트 바블(1)에 전단이 연결된 필터 및 펌프 하우징(2), 필터 및 펌프하우징(2)에 연결되어 필터 및 펌프하우징(2)의 동작을 제어하는 펌프제어기(5), 공기에 의히 펌핑된 포토레지스트가 필터 및 펌프하우징(2)으로 부터 분사되는 노즐(6), 필터 및 펌프하우징(2)으로 유입되는 공기의 양을 조절하는 솔레노이드 밸브(3)로 구성된다.In the conventional photoresist coating apparatus, as shown in FIG. 1, a photoresist bubble (1) in which photoresist bubbles are generated, a filter and pump housing (2) having a front end connected to the photoresist bubble (1), a filter and a pump A pump controller (5) connected to the housing (2) to control the operation of the filter and pump housing (2), a nozzle (6) in which photoresist pumped by air is injected from the filter and pump housing (2), and a filter And a solenoid valve 3 for adjusting the amount of air introduced into the pump housing 2.
사용자가 작성한 프로그램의 시퀀스에 따라서 암프로그램이 작동되면 솔레노이드밸브(3)가 작동하고 이에 따라 공기가 필터 및 펌프하우징(2)으로 유입되어 필터 및 펌프하우징(2)을 동작시킨다.When the arm program is operated in accordance with the sequence of the program written by the user, the solenoid valve 3 is operated and air is introduced into the filter and pump housing 2 to operate the filter and pump housing 2.
필터 및 펌프하우징(2)이 동작되면 포토레지스트 버블(1)에 있는 포토레지스트가 필터 및 펌프하우징(2)로 부터 쿨링워터(4)를 거치고 노즐(6)을 통해 웨이퍼위에 분사된다.When the filter and pump housing 2 are operated, the photoresist in the photoresist bubble 1 is injected from the filter and pump housing 2 through the cooling water 4 and through the nozzle 6 onto the wafer.
그러나, 종래의 포토레지스트 코우팅장치는 포토레지스트 버블(1)에 포토레재스트가 없어도 계속해서 코우팅 공정이 진행되므로, 포토레지스트 버블(1)내에 포토레지스트 공급가인 끝부분까지 포토레지스트가 모두 소모되었을때 버블이 노즐(6)을 통해 웨이퍼에 분사되면 코우팅 불량이 발생하는 문제점이 있었다.However, in the conventional photoresist coating apparatus, since the coating process continues without the photoresist in the photoresist bubble 1, all of the photoresist is consumed up to the end of the photoresist supply in the photoresist bubble 1. When the bubble is sprayed on the wafer through the nozzle (6) there was a problem that the coating failure occurs.
또한 종래의 포토레지스트 코우팅장치는 필터 및 펌프하우징(2)내에 벤트기능이 있지만 알람 및 공정이 정지되지 않고, 약랙레벨 센싱기능이 있지만 버블크기에 따라 제어할 수 없는 문제점이 있었다.In addition, the conventional photoresist coating apparatus has a vent function in the filter and pump housing (2), but the alarm and the process is not stopped, there is a weak rack level sensing function, but there was a problem that can not be controlled according to the bubble size.
상기 문제점을 개선하기 위해 본 고안은 포토레지스트 코우팅 불량을 방지하기 위해 포토레지스트 버블크기에 따라 제어할 수 있도록 하는 포토레지스트 버블크기별 제에장치를 제공함에 그 목적이 있다.In order to solve the above problems, the present invention has an object to provide a device for each photoresist bubble size to control according to the photoresist bubble size to prevent photoresist coating defects.
상기 목적을 달성하기 위해 본 고안은 포토레지스트 버블의 크기를 감지하는 포토일렉트릭 리퀴드센서, 상기 포토일렉트릭 리퀴드센서로 부터 출력되는 신호에 따라 부저를 발생시키는 버블제어기, 및 상기 버블제어기로 부터 출력되는 신호에 따라포토레지스트 코우팅 동작을 제어하는 프로세서 제어기로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a photoelectric liquid sensor for detecting a size of a photoresist bubble, a bubble controller for generating a buzzer according to a signal output from the photoelectric liquid sensor, and a signal output from the bubble controller. According to the invention characterized in that it is configured as a processor controller for controlling the photoresist coating operation.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 일실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention;
제2도는 본고안에의한 포토레지스트 버블크기별 제어장치의 구성도이다.2 is a block diagram of a photoresist bubble size control device according to the present invention.
본 고안에 의한 포토레지스트 버블크기별 제어장치는 제2도에 도시한 바와 같이 포토일펙트릭 리퀴드 센서(Photo Electric Liquid Sensor)(7), 버블 제어기(8), 및 프로세서 제어기(9)로 구성한다.The photoresist bubble size control device according to the present invention is composed of a photoelectric liquid sensor (7), a bubble controller (8), and a processor controller (9) as shown in FIG.
포토일렉트릭 리퀴드센서(7)는 게인조정가능한 센서로 구성되어, 버블크기를 조정할 수 있고, 포토레지스트 버블(1)과 필터 및 펌프하우징(2)사이에 부착되며, 포토레지스트 버블(1)로 부터 발생되어 필터 및 펌프하우징(2)으로 전달되는 포토레지스트의 버블크기를 감지하여 버블제어기(8)로 출력한다.The photoelectric liquid sensor 7 consists of a gain-adjustable sensor, which can adjust the bubble size, is attached between the photoresist bubble 1 and the filter and the pump housing 2, and from the photoresist bubble 1 The bubble size of the photoresist generated and delivered to the filter and the pump housing 2 is sensed and output to the bubble controller 8.
베블제어기(8)는 포토일펙트릭 리퀴드 센서(7)로 부터 출력되는 신호를 이용하여 버블크기에 따라 제어한다.The bevel controller 8 controls the bubble size by using a signal output from the photofective liquid sensor 7.
프로세서제어기(9)는 버블제어기(8)로 부터 출력되는 신호에 따라 포토레지스트 코우팅 프로그램을 제어한다.The processor controller 9 controls the photoresist coating program according to the signal output from the bubble controller 8.
사용자 프로그램의 시퀀스에 따라 암프로그램이 동작하여 디스팬스암이 동작하고, 솔레노이드 밸브(3)를 작동시켜 에어가 필터 및 펌프하우징(2)을 작동시킨다.The arm program operates according to the sequence of the user program to operate the dispensing arm, and actuates the solenoid valve 3 to operate the air filter and the pump housing 2.
포토레지스트버블(1)내의 포토레지스트에 불량이 발생하여 이미버블이 존재하거나 포토레지스트 버블(1)을 상온보다 높은 온도에서 보관한 경우에 크기별로 다양한 포토레지스트버블이 존재하는데 이때 포토레지스트 버블을 포토일렉트릭 리퀴드센서(7)에서 감지하여 버블제어기(8)로 출력시킨다.When the photoresist in the photoresist bubble 1 is defective and there is an image bubble or the photoresist bubble 1 is stored at a temperature higher than room temperature, photoresist bubbles vary in size. It is detected by the electric liquid sensor 7 and output to the bubble controller 8.
버블제어기(8)에서는 포토일렉트릭 리퀴드센서(7)로 부터 출력되는 신호에 따라 부저를 발생시키고 프로세서제어기(9)가 코우팅시키는 프로세서의 프로그램을 제어하도록 한다.The bubble controller 8 generates a buzzer according to the signal output from the photoelectric liquid sensor 7 and controls the program of the processor to be coated by the processor controller 9.
즉, 크기가 일정치 않은 레지스트 버블이 발생되면 버블제어기(8)에서 부저를 울리고 릴레이를 동작시켜 프로세서 제어기(9)가 프로그램 수행을 정지시키도록 한다.That is, when a resist bubble having a non-uniform size is generated, the buzzer sounds in the bubble controller 8 and the relay is operated to cause the processor controller 9 to stop program execution.
또한 사용자가 포토레지스트버블을 제거한후 다시 프로그램을 동작시키면 포토레지스트 버블이 발생되고 포토일렉트릭 리퀴드센서(7)에서 이를 감지하는 동작을 반복하게 된다.In addition, if the user removes the photoresist bubble and then operates the program again, photoresist bubbles are generated and the photoelectric liquid sensor 7 repeats the operation of detecting the photoresist bubble.
제3도는 제2도의 버블제어기(8)의 세부 구성도이다.3 is a detailed block diagram of the bubble controller 8 of FIG.
버블제어기(8)는 제3도에 도시한 바와같이 24V의 전원이 입력되며(+)단자는 포토릴렉트릭 리퀴드센서(7)의 출력신호가 입력되는 메인스위치(10), 메이스위치(10)의 (+)단자에 애노우드가 연결되고(-)단자에 캐소우드가 연결되어 정상적으로 포토레지스트 버블이 발생되는 것을 나타내는 발광다이오드(LED1),발광다이오드(LED1)의애노우드에 일단이 연결된 릴레이(R1), 상기 릴레이(R1)의 타단에 애노우드가 연결되고 발광다이오드(LED1)의 캐소우드에 캐소우드가 연결되어 비정상적으로 포토레지스트 버블이 발생되는 것을 나타내는 발광다이오드(LED2), 릴레이(R1)의 타단에 일단이 연결된 토글스위치(T/S), 토글스위치(T/S)의 타단과 발광다이오드(LED1)의 캐소우드에 연결되 부저발생기(11), 릴페이(R1),의 타단과발광다이오드(LED1)의 캐소우드에 연결되어 발광다이오드(LED2)가 온되면 동작하여 프로세서제어기(9)를 제어하는 릴레이(R2)로 구성된다.As shown in FIG. 3, the bubble controller 8 has a 24V power supply (+) terminal and a main switch 10 and a mayswitch 10 to which an output signal of the photoelectric liquid sensor 7 is input. A relay connected to the anode of the light emitting diode (LED1) and the light emitting diode (LED1) indicating that the anode is connected to the (+) terminal of the cathode and the cathode is connected to the (-) terminal of the photoresist bubble. R1), a light emitting diode LED2 indicating that an anode is connected to the other end of the relay R1 and a cathode is connected to the cathode of the light emitting diode LED1 to generate an abnormal photoresist bubble, and a relay R1. The other end of the toggle switch (T / S), the other end of the toggle switch (T / S) connected to the other end of the buzzer generator (11), the reel (R1), connected to the cathode of the light emitting diode (LED 1) and The light emitting diode (LED1) is connected to the cathode of the light emitting diode (LED1). When LED2) is turned on, it operates as a relay (R2) for controlling the processor controller (9).
포토일렉트릭 리퀴드센서(7)에서 불량한 포토레지스트 버블이 존재함을 나타내는 출럭신호가 발생되면 출력신호는 릴레이(R1) 를 작동시켜 발광다이오드(LED2)가 온(ON)되도록 하며 이에 따라 부저발생기(11)에서 부저가 울린다.When the output signal indicating that there is a bad photoresist bubble is generated in the photoelectric liquid sensor 7, the output signal operates the relay R1 so that the light emitting diode LED2 is turned on and thus the buzzer generator 11 Buzzer sounds).
그리고 릴레이(R2)가 동작하여 프로세서제어기(9)의 트랜스퍼 스톱스위치(Transfer Stop Switch)를 쇼트시키므로써 프로세서의 동작이 중지된다.The relay R2 operates to short the transfer stop switch of the processor controller 9, thereby stopping the operation of the processor.
이때 사용자가 토글스위치(T/S) 를 오프(OFF)시키고 포토레지스트 버블을 제거하나후 프로세서제어기(9)의 스타트 버튼(start button)을 누르면 프로세서내의 프로그램이 진행된다.At this time, when the user turns off the toggle switch (T / S), removes the photoresist bubble, and presses the start button of the processor controller 9, the program in the processor is processed.
그후 토글 스위치(T/S)를 온시키면 포토레지스트 버블이 발생되고 발광다이오드(LED1)가 온되는 데 다시 불량한 포토레지스트 버블이 발생되면 부저가 울리면서 발광 다이오드(LED2)가 온되는 동작을 계속 반복한다.After that, when the toggle switch (T / S) is turned on, photoresist bubbles are generated, and when the light emitting diode LED1 is turned on again and a bad photoresist bubble is generated, the buzzer rings and the light emitting diode (LED2) is repeatedly turned on. do.
상기와 같이 구성되어 동작하는 본 고안은 사용자가 원하는 포토레지스트 버블크기 별로 제어가 가능하여 코우팅 불량을 줄일 수 있으며 포토레지스트 버블내의 포토레지스트 유무까지도 감지할 수 있어 작업이 편리해지는 효과가 있다.The present invention configured and operated as described above can control the size of the photoresist bubble desired by the user, thereby reducing coating defects and detecting the presence or absence of photoresist in the photoresist bubble, thereby making the operation convenient.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940002377U KR970001343Y1 (en) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | Bubble size controlling apparatus for photoresist |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940002377U KR970001343Y1 (en) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | Bubble size controlling apparatus for photoresist |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR950025888U KR950025888U (en) | 1995-09-18 |
| KR970001343Y1 true KR970001343Y1 (en) | 1997-02-22 |
Family
ID=19377027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019940002377U KR970001343Y1 (en) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | Bubble size controlling apparatus for photoresist |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970001343Y1 (en) |
-
1994
- 1994-02-07 KR KR2019940002377U patent/KR970001343Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR950025888U (en) | 1995-09-18 |
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