KR960705206A - 일산화질소 및 암모니아의 검출을 위한 검출기(nitrogen monoxide no and ammonia nh_3 detector) - Google Patents
일산화질소 및 암모니아의 검출을 위한 검출기(nitrogen monoxide no and ammonia nh_3 detector)Info
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Abstract
과잉의 공기로 디젤기관의 NOx-방출의 분명한 감소가 SCR-방법을 이용하여 달성된다. 이 방법에서 NH3는 배기가 관류하는 촉매에 분사되고, 이때 이것은 산소와 수소에 대해 NO2와 반응한다. 상기 배기가 NO도 그리고 또한 NH3도 포함하지 않기 때문에, 상기 NH3-공극=q의 제어를 위한 또는 상기 NH3-누출의 제어를 위한 알맞은 검출기가 필요하다.
본 발명에 따른 검출기는 가스에 대한 감도 엘리먼트로서 AIVO4-또는 FeVO4-박층을 포함한다. 특별한 스퍼터링 방법에 의해 제보되는 바나듐 산염층의 NO- 및 NH3-감도가 여러기 단위만큼 산소와 수소에 대한 횡방향 감도 위에 있다. 상기 검출기는 메탄, 일산화탄소 및 이산화탄소에 반응하지 않는다. 어떠한 매스킹 표과도 생기지 않는, 즉 상기 검출기의 NO- 및 NH3-감도가 다른 가스의, 존재에 의해 영향을 받지 않는다.
본 발명은 공기 품질 센서, NH3-누출 감시장치, DENOx-촉매의 제어를 위한 센서로서 적합하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 및 제2도는 본 발명에 따른 검출기의 구성을 나타낸 사시도이고,
제3도는 상기 검출기의 콤(comb)형전극의 평면도이며,
제4도는 상기 콤형 전극의 제조를 위한 공적을 나타낸 단면도이고,
제5도는 상기 콤형 전극에 디포짓된(deposited) Al2O3-V2O5-샌드위치-구조를 나타낸 단면도이다.
Claims (14)
- 절연성 본체(1)에 배열된 센서층(3)과 이 센서층(3)과 접촉하는 전국 쌍(2,2')으로 일산화질소와 암모니아를 검출하기 우한 검출기에 있어서, 상기 센서층(3)이 바나듐산염(3)이 바나듐산염 MeVO4또는 금속 산화물 ME2O3의 혼합물을 포함하는 바나듐산염 MeVO4로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검출기.
- 제1항에 있어서, 상기 전극 쌍(2,2')과 그 사이에 있는 본체(1)표면이 다수의 금속 산화층으로 덮혀, 일련의 층이 Me2O3-V2O5-Me2O|3-V2O5-등 생기며, 및-상기 금속 산화층들이 템퍼링되는 공정으로 제조되는 센서층을 포함하는 것을 특징으로 하는 검출기.
- 제2항에 있어서, 상기 금속 산화물 Me2O3의 몫이50% 내지 최대 70%인 것을 특징으로 하는 검출기.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 센서층(3)이 두께 d〈10㎛를 가지는 것을 특징으로 하는 검출기.
- 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 3가의 금속 Me는 알루미늄 또는 철인 것을 특징으로 하는 검출기.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전극 쌍(2,2')이 교대 매열 구조로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검출기.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 온도 센서(4,10) 및/또는 가열 엘리먼트(8)가 상기 본체(1)에 배열되는 것을 특징으로 하는 검출기.
- -절연 재료로 이루어지는 층(11)이 절연 본체(1)로 디포짓되고, -서로 도전되게 연결되지 않은 적어도 하나의 전극 상(2,2')이 상기 측(11)의 구조화를 통해 형성되고, -상기 전극 쌍(2,2') 및 그 사이에 있는 상기 본체(1)의 표면에 다수의 금속 산화층이 디포짓되어, 일련의 층이 Me2O3-V2O5-V2O5-Me2O3-V2O5-등 생기고, Me는 3가의 금속을 나타내고, 및 -상기 금속 산화층이 수시간 동안 탬퍼링되고, 바나듐산염 MeVO4이 형성되도록 상기 온도가 선택되는, 일산화질소와 암모니아의 검출을 위한 검출기의 제조 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 금속 산화층이 아르곤-산소 기체에서 반응서 캐소드 분사에 의해 또는 반응성 전자빔 증발에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항 또는 제9항에 있어서, 50개 이상의 Me2O3- 또는 V2O5-층이 디포짓되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 두께 d〈20nm를 가지는 층만이 만들어지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속-산화물-몫이 50%와 70% 사이의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 일련의 층이 Me2O3-V2O5-Me2O3-V2O5-등 생기고, 550℃와 640℃의 범위에 있는 온도에서 템퍼링되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 공기 품질 센서 또는 NH3-누출 감시 장치로서의 제1항 내지 제7항 중 하나 또는 다수항에 따른 검출기의 용도.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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