KR960042114A - 빔 합성기와 이를 이용한 2 영상 픽업장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 빔 합성기 및 이를 이용한 2영상 픽업장치에 관한 것으로, 특히 대향 방향으로부터 입사된 2개의 상을 입사방향과 직각방향에서 정립된 2입사상의 혼합상을 포착할 수 있는 빔 합성기와 이를 이용한 2영상 픽업장치에 관한 것이다.
상기 빔 합성기는 2 내각이 45°이고 다른 내각이 90°인 직각 삼각형의 제1프리즘과, 상기 제1프리즘의 경사면에 일면이 접합되어 전체적으로 단면형상이 일변의 길이가 다른변의 2배 길이를 갖는 직사각형을 이루는 제2프리즘과, 상기 제1 및 제2프리즘의 접합부를 포함하는 측면에 부착되어 상기 제1프리즘을 통하여 입사하는 빔을 전반사시키기 위한 전반사수단로 구성되어, 상기 전반사수단과 평행하게 입사하는 상호 대향한 2입사빔의 합상을 상기 전반사수단의 수직방향으로 출사시키는 것을 특징으로 한다.
상기 빔 합성기를 이용하여 2영상 픽업장치를 구성하면 상호대향한 2지점의 얼라인먼트 마크를 간단한 구조로 픽업하여 확대된 상을 모니터에 표시할 수 있게 되어 각종의 마스크를 반도체 웨이퍼 또는 PCB와 정렬을 쉽게할 수 있다.

Description

빔 합성기와 이를 이용한 2 영상 픽업장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 빔 합성기의 구조와 동작 설명도, 제5도는 본 발명에 따른 빔 합성기를 이용하여 대향한 2점의 정립영상을 픽업하기 위한 2영상 픽업장치의 단면도.

Claims (18)

  1. 정사각형의 빔 스플리터와, 상기 빔 스플리터의 일측면에 형성되어 입사빔을 전반사시키기 위한 전반사수단으로 구성되어, 상기 전반사수단과 평행하게 입사하는 상호 대향한 2입사빔의 합상을 상기 전반사수단의 수직방향으로 출사시키는 것을 특징으로 하는 빔 합성기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 빔 스플리터의 일측에 빔 스플리터와 동일한 굴절율을 가지며, 빔 스플리터의 2배 길이를 갖는 광학부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 빔 합성기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전반사수단은 금속 코팅막과 전반사 거울 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 빔 합성기.
  4. 제3항에 있어서, 상기 코팅막은 Al, Cr, Ni, Ag, Pt, 및 이들을 주성분으로 하는 합금 중에서 선택된 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 빔 합성기.
  5. 제1항에 있어서, 상기 빔 스플리터와 동일한 굴절율을 가지며 빔 스플리터와 동일한 길이를 갖는 광학부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 빔 합성기.
  6. 2 내각이 45°이고 다른 내각이 90°인 직각 삼각형의 제1프리즘과, 상기 제1프리즘의 경사면에 일면이 접합되어 전체적으로 단면형상이 일변의 길이가 다른변의 2배 길이를 갖는 직사각형을 이루는 제2프리즘과, 상기 제1 및 제2프리즘의 접합부를 포함하는 측면에 부착되어 상기 제1프리즘을 통하여 입사하는 빔을 전반사시키기 위한 전반사수단으로 구성되어, 상기 전반사수단과 평행하게 입사하는 상호 대향한 2입사빔의 합상을 상기 전반사수단의 수직방향으로 출사시키는 것을 특징으로 하는 빔 합성기.
  7. 소정거리를 두고 상호 대향한 2지점의 영상을 픽업하기 위한 2영상 픽업장치에 있어서, 상기 2지점의 상빔을 평행광으로 변한하는 한쌍의 영상 입사부와, 상기 한쌍의 영상 입사부 사이에 배치되어 입사되는 2영상빔의 합성빔을 정립된 상태로 입사방향에 직방향으로 출사시키는 빔 합성수단과, 상기 합성빔의 영상을 소정배율로 확대시키기 위한 상확대수단과, 상기 확대된 영상을 전기적인 신호로 변환하는 수광수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 2지점과 수광수단 사이의 광로값은 서로 동일하게 설정되는 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 수광수단에 대한 입사빔의 광축과 2지점 사이의 거리는 서로 동일하게 설정되는 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
  10. 제9항에 있어서, 대물렌즈가 상기 상확대수단에 배치되며, 상기 빔합성 수단은 배면에 전반사 수단이 설치된 정사각형 빔 스플리터와 상기 빔 스플리터와 동일한 굴절율과 2배 길이를 갖는 광학부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
  11. 제7항에 있어서, 대물렌즈가 상기 한쌍의 영상 입사부에 각각 배치되며, 상기 빔 합성수단은 배면에 전반사 수단이 설치된 정사각형 빔 스플리터와 상기 빔 스플리터와 동일한 굴절율과 2배 길이를 갖는 광학부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기 수광수단에 대한 입사빔의 광축과 2지점 사이의 거리는 서로 다르게 설정되고, 대물렌즈가 상기 한쌍의 영상 입사부에 각각 배치되며, 상기 빔 합성수단은 배면에 전반사 수단이 설치된 정사각형 빔 스플리터와 상기 빔 스플리터와 동일한 굴절율과 동일한 길이를 갖는 광학부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
  13. 제7항에 있어서, 상기 빔 합성수단은 2내각이 45°인 직각삼각형의 제1프리즘과, 제1프리즘과 조합하여 전체적으로 일변이 다른변의 2배 길이를 갖는 직사각형을 이루는 제2프리즘과, 상기 2빔의 입사방향과 평행하며 상기 제1 및 제2프리즘의 접합부를 포함한 측면에 설치된 전반사 코팅막과, 상기 제1 및 제2프리즘의 접합부에 형성되어 입사빔의 일부를 입사방향과 직각방향으로 분광시키기 위한 반투과 코팅막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
  14. 제7항에 있어서, 상기 빔 합성수단은 입사빔의 일부를 직진시키며, 나머지를 직각 방향으로 반사시키는 하프미러와, 상기 하프미러와 45°를 이루면서 상기 2입사빔과 평행하게 배치된 전반사수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
  15. 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 각 대물렌즈와 수광수단 사이의 광로값은 서로 동일하게 설정되는 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
  16. 제10항 내지 12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전반사 수단은 상기 빔 스플리터와 분리되어 탄성적으로 지지되며, 다수의 조절나사에 의해 대향각도와 빔 스플리터와의 거리를 가변시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
  17. 제7항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 대향한 2지점은 반도체 웨이퍼와 마스트 상의 얼라인먼트 마크인 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
  18. 제7항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 대향한 2지점은 PCB와 마스크 상의 얼라인먼트 마크인 것을 특징으로 하는 2영상 픽업장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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