KR960039126A - 반도체소자 제조방법 및 제조장치 - Google Patents
반도체소자 제조방법 및 제조장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체소자 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로, 반도체소자 제조공정중의 금속막의 스퍼터링공정시 발생하는 박막의 플레이킹을 방지하여 불순문입자의 발생을 억제할 수 있도록 한 것이다.
본 발명은 물리적 중착장비를 이용한 스퍼터링방법에 의해 소정의 박막을 증착시키는 반도체소자 제조방법에 있어서, 상기 소정의 박막을 증착시키기 전에 장비 내부를 고압으로 유지시킨 상태에서 사전증착공정을 행하여 인장력을 갖는 박막을 형성한 후에 실제의 반도체소자 제조를 위한 주증착공정을 진행하여 응축력을 갖는 소정의 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조방법을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 물리적증착장치의 구성도.
Claims (3)
- 물리적 증착장비를 이용한 스퍼터링방법에 의해 소정의 박막을 증착시키는 반도체소자 제조방법에 있어서, 상기 소정의 박막을 증착시키기 전에 장비 내부를 고압으로 유지시킨 상태에서 사전증착공정을 행하여 인장력을 갖는 박막을 형성한 후에 실제의 반도체소자 제조를 위한 주증착공정을 진행하여 응축력을 갖는 소정의 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 소정의 박막이 텅스텐막임을 특징으로 하는 반도체소자 제조방법.
- 스퍼터링에 의해 소정의 막을 증착하는 반도체 제조장치에 있어서, 전원의 인가에 의해 장치내부에 플라즈마를 형성시켜 주는 자석과, 기판을 장착시켜며 상기 형성된 플라즈마입자와 타켓표면과의 충돌에 의해 타켓으로부터 나온 입자가 기판상에 증착되도록 열을 가해주는 히터데이블, 및 장치 내부를 고압으로 유지시키기 위한 크라이오 리스트릭터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950008054A KR960039126A (ko) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 반도체소자 제조방법 및 제조장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950008054A KR960039126A (ko) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 반도체소자 제조방법 및 제조장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960039126A true KR960039126A (ko) | 1996-11-21 |
Family
ID=66553378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950008054A KR960039126A (ko) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 반도체소자 제조방법 및 제조장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960039126A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7831194B2 (en) | 2004-10-01 | 2010-11-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image forming apparatus |
-
1995
- 1995-04-07 KR KR1019950008054A patent/KR960039126A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7831194B2 (en) | 2004-10-01 | 2010-11-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image forming apparatus |
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