KR960038755A - 헤드 드럼용 비디오 헤드의 스퍼터링 장치 - Google Patents

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KR960038755A
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • G—PHYSICS
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    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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Abstract

본 발명은 헤드 드럼용 비디오 헤드의 스퍼터링 장치를 개시한다.
본 발명은 아르곤 가스가 충진되는 진공실과, 진공실의 상부에 마련되는 실드의 내부에 설치되는 캐소드와, 캐소드의 하측면에 장착되는 산화실리콘의 타겟과, 진공실의 하부에 페라티오 코어와 놓여지도록 설치되는 홀더로 이루어지는 헤드 드럼용 비디오 헤드 스퍼터링 장치에 있어서, 캐소드의 상부에 마그네트가 설치되고, 실드의 외주면에는 마그네트가 설치되며, 마그네트들은 N.S.N극의 순으로 자극이 착자되어 그 자력선이 중앙의 S극으로 집중되도록 자기장 분포가 형성된다.
따라서, 아르곤 가스가 이온화되는 확률이 높아짐과 동시에 산화실리콘 원자가 페라이트 코어에 증착되는 시간이 단축되어 제품의 생산성이 향상되고, 페라이트 코어와 산화실리콘 원자의 결합력이 향상되어 제품의 불량율이 감소되는 것이다.

Description

헤드 드럼용 비디오 헤드의 스퍼터링 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 비디오 헤드의 스퍼터링 장치를 나타낸 단면도.

Claims (1)

  1. 아르곤 가스가 충진되는 진공실과, 상기 진공실의 상부에 마련되는 실드의 내부에 설치되는 캐소드와, 상기 캐소드의 하측면에 장착되는 산화실리콘의 타겟과, 상기 캐소드의 하측면에 장착되는 산화실리콘의 타겟과, 상기 진공실의 하부에 페라이트 코어가 놓여지도록 설치되는 홀더로 이루어지는 헤드 드럼용 비디오 헤드 스퍼터링 장치에 있어서, 상기 캐소드(12)의 상부에 마그네트(20)가 설치되고, 상기 실드(11)의 외주면에는 마그네트(21)가 설치되며, 상기 마그네트(20, 21)들은 N.S.N극의 순으로 자극이 착자되어 그 자력선이 중앙의 S극으로 집중되도록 자기장 분포가 형성되는 헤드 드럼용 비디오 헤드 스퍼터링 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105200384A (zh) * 2015-10-27 2015-12-30 中国科学院兰州化学物理研究所 一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置及方法

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