KR960038705A - 전계 방출형 표시소자의 스페이서 제조방법 - Google Patents

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KR960038705A
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정효수
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김준성
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Abstract

전계 방출형 표시소자의 스페이서 제조시 내부를 초진공 상태로 유지시키기 위해, 스페이서에 게터물질을 입혀서, 기체분자를 흡착함으로써, 챔버내에서 실링이 이루어지며, 고진공을 오래 유지 시킬 수 있고, 선명도가 매우 뛰어나고, 이웃화소와의 대비가 양호하게 된다.

Description

전계 방출형 표시소자의 스페이서 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 방출형 표시소자의 정면도, 제2도는 본 발명의 전계 방출형 표시소자의 스테이서 제조용 마스크패턴의 평면도, 제3도는 본 발명의 전계 방출형 표시소자의 스페이서 정면도, 제4도는 본 발명의 전계 방출형 표시소자의 에칭부가 도시되어 있는 스페이스의 정면도, 제5도는 본 발명의 전계 방출형 표시소자의 게터물질을 입힌 스페이서의 정면도.

Claims (4)

  1. 상부기관에는 투명전극과 형광체를 순차적으로 증착하는 단계와, 하부기판인 유리기판 상부에는 실리콘팁 이미터와 절연체 및 그 상부에 게이트 전극을 형성하는 단계와, 포토센시티브 글라스 표면에 패턴을 만들어서 열처리한 후, 에칭 용액에 담구어 소정 두께로, 등방성 에칭을 하여, 스페이서를 형성하는 단계와, 상기 스페이서의 등방성 에칭부에 게터물질을 도포하는 단계와, 상기 상부기판과 하부기판 각각의 가장자리에 게터물질과 실런트를 도포하여 대기중에서 기본 소성을 하는 단계와, 상기 상, 하부기판과 스페이서를 마이크로 스코프를 이용하여 정렬한 후 실런트로 실링을 완성하여 봉입하는 단계를 포함하는 전계 방출형 표시소자의 스페이서 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 스페이서의 동방성 에침부에 증착법 또는 졸겔법을 사용하여 게터물질을 도포하는 것을 특징으로 하는 전계 방출형 표시소자의 스페이서 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 하부기판의 실리콘 이미터 팀과 유리는 정전접합을 이용하여 접합하는 것을 특징으로 하는 전계 방출형 표시소자의 스페이서 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 상, 하부기판의 가장자리의 게터물질의 모양은 손가락 형상으로 엇갈리게 제작하여 상, 하부기판이 기어가 맞물리도록 제조하는 것을 특징으로 하는 전계 방출형 표시소자의 스페이서 제조방법.
KR1019950008740A 1995-04-14 1995-04-14 전계 방출형 표시소자의 스페이서 제조방법 KR0144588B1 (ko)

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