KR960035769A - 포토레지스터 및 포토레지스터 도포장치 - Google Patents

포토레지스터 및 포토레지스터 도포장치 Download PDF

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KR960035769A
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KR
South Korea
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photoresist
coated
substrate
film
coating device
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Application number
KR1019950007103A
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English (en)
Inventor
남효락
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

이 발명은 포토레지스터 및 포토레지스터 도포 장치에 관한 것으로서, 액상의 포토레지스터 도포시의 문제점을 개선하기 위한 액상의 상태가 아닌 막 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 포토레지스터 및 코팅할 기판이 이동할 수 있게 되어 있는 이동수단과; 상기 이동수단 위에 올려져 있는 막형포토레지스터와; 상기 코팅할 기판의 모양이 새겨진 마스크와; 상기 포토레지스터를 상기 코팅할 기판에 부착시키는 압력 수단으로 이루어진 포토레지스터 도포 장치에 관한것이다.

Description

포토레지스터 및 포토레지스터 도포장치.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 이 발명의 박막형 포토레지스터의 모양을 나타낸 외형도이고, 제3도는 이 발명의 박막형 포토레지스터의 또다른 모양을 나타낸 외형도이고, 제4도는 이발명의 박막형 포토레지스터의 도포 장치를 나타낸 방법도이다.

Claims (5)

  1. 액상의 상태가 아닌 막 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 포토레지스터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 막 모양의 포토레지스터는 로울형으로 감겨져 있어 부피를 줄일 수 있고 쓰기에 편리하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 포토레지스터.
  3. 제1항에 있어서, 상기 막 모양의 포토레지스터는 낱장으로 되어 있어 사용 목적에 맞게 편리하게 사용할 수 있게 되어 있는 것을 특징으로 하는 포토레지스터.
  4. 코팅할 기판이 이동할 수 있게 되어 있는 이동수단과; 상기 이동수단 위에 올려져 있는 막형 포토 레지스터와; 상기 코팅할 기판의 모양이 새겨진 마스크와; 상기 포토레지스터를 상기 코팅할 기판에 부착시키는 압력수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 포토레지스터 도포 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 이동수단에 베이크 영역(bake zone)이 있어 포토레지스터의 코팅을 돕는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 도포 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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