KR960035769A - 포토레지스터 및 포토레지스터 도포장치 - Google Patents
포토레지스터 및 포토레지스터 도포장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR960035769A KR960035769A KR1019950007103A KR19950007103A KR960035769A KR 960035769 A KR960035769 A KR 960035769A KR 1019950007103 A KR1019950007103 A KR 1019950007103A KR 19950007103 A KR19950007103 A KR 19950007103A KR 960035769 A KR960035769 A KR 960035769A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- photoresist
- coated
- substrate
- film
- coating device
- Prior art date
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
이 발명은 포토레지스터 및 포토레지스터 도포 장치에 관한 것으로서, 액상의 포토레지스터 도포시의 문제점을 개선하기 위한 액상의 상태가 아닌 막 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 포토레지스터 및 코팅할 기판이 이동할 수 있게 되어 있는 이동수단과; 상기 이동수단 위에 올려져 있는 막형포토레지스터와; 상기 코팅할 기판의 모양이 새겨진 마스크와; 상기 포토레지스터를 상기 코팅할 기판에 부착시키는 압력 수단으로 이루어진 포토레지스터 도포 장치에 관한것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 이 발명의 박막형 포토레지스터의 모양을 나타낸 외형도이고, 제3도는 이 발명의 박막형 포토레지스터의 또다른 모양을 나타낸 외형도이고, 제4도는 이발명의 박막형 포토레지스터의 도포 장치를 나타낸 방법도이다.
Claims (5)
- 액상의 상태가 아닌 막 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 포토레지스터.
- 제1항에 있어서, 상기 막 모양의 포토레지스터는 로울형으로 감겨져 있어 부피를 줄일 수 있고 쓰기에 편리하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 포토레지스터.
- 제1항에 있어서, 상기 막 모양의 포토레지스터는 낱장으로 되어 있어 사용 목적에 맞게 편리하게 사용할 수 있게 되어 있는 것을 특징으로 하는 포토레지스터.
- 코팅할 기판이 이동할 수 있게 되어 있는 이동수단과; 상기 이동수단 위에 올려져 있는 막형 포토 레지스터와; 상기 코팅할 기판의 모양이 새겨진 마스크와; 상기 포토레지스터를 상기 코팅할 기판에 부착시키는 압력수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 포토레지스터 도포 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 이동수단에 베이크 영역(bake zone)이 있어 포토레지스터의 코팅을 돕는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 도포 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950007103A KR960035769A (ko) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 포토레지스터 및 포토레지스터 도포장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950007103A KR960035769A (ko) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 포토레지스터 및 포토레지스터 도포장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960035769A true KR960035769A (ko) | 1996-10-24 |
Family
ID=66553201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950007103A KR960035769A (ko) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 포토레지스터 및 포토레지스터 도포장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR960035769A (ko) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US700887A (en) * | 1902-01-22 | 1902-05-27 | Frank Holway | Game device. |
US4193797A (en) * | 1971-03-22 | 1980-03-18 | E. I. Dupont De Nemours And Company | Method for making photoresists |
JPH05234871A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-10 | Nec Kagoshima Ltd | フォトレジストの塗布装置 |
JPH0637004A (ja) * | 1992-07-14 | 1994-02-10 | Ryoden Semiconductor Syst Eng Kk | 半導体製造装置 |
JPH0689855A (ja) * | 1992-09-07 | 1994-03-29 | Casio Comput Co Ltd | レジスト塗布方法およびその塗布装置 |
JPH0729809A (ja) * | 1993-07-15 | 1995-01-31 | Hitachi Ltd | ホトレジスト塗布装置 |
-
1995
- 1995-03-30 KR KR1019950007103A patent/KR960035769A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US700887A (en) * | 1902-01-22 | 1902-05-27 | Frank Holway | Game device. |
US4193797A (en) * | 1971-03-22 | 1980-03-18 | E. I. Dupont De Nemours And Company | Method for making photoresists |
US4193797B1 (ko) * | 1971-03-22 | 1985-02-05 | ||
JPH05234871A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-10 | Nec Kagoshima Ltd | フォトレジストの塗布装置 |
JPH0637004A (ja) * | 1992-07-14 | 1994-02-10 | Ryoden Semiconductor Syst Eng Kk | 半導体製造装置 |
JPH0689855A (ja) * | 1992-09-07 | 1994-03-29 | Casio Comput Co Ltd | レジスト塗布方法およびその塗布装置 |
JPH0729809A (ja) * | 1993-07-15 | 1995-01-31 | Hitachi Ltd | ホトレジスト塗布装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DK0569520T3 (da) | Trykningsmateriale og trykningsapparat til at anvende dette | |
FI906300A (fi) | Anordning foer limning av maerken fraon en praegelfolie. | |
KR970000559A (ko) | 재배치가능한 벽커버링 및 그것을 위한 중간시트의 제조 방법 | |
EP1061094A3 (en) | Coated film | |
DE69715168T2 (de) | Personalisierbare sicherheitsmarkierungsvorrichtung | |
KR960035769A (ko) | 포토레지스터 및 포토레지스터 도포장치 | |
KR870008989A (ko) | 표면피복제 | |
JPS57208296A (en) | Heat-sensitive recording paper | |
DE59400829D1 (de) | Folie und verfahren für den transfer geschnittener graphik aus klebefolie | |
GB1522887A (en) | Visual information media | |
JPS53118440A (en) | Pressure sensitive adhesive taperoll having thin film at its side | |
JPS52834A (en) | Coating process | |
JPS574265A (en) | Coating device | |
JPS5569676A (en) | Production of paper adhesive tape | |
KR910005101A (ko) | 레지스트패턴 형성방법 | |
JPH0477679B2 (ko) | ||
KR970076004A (ko) | 배향막 형성 및 러빙 방법 | |
KR940016389A (ko) | 칼라플라즈마 표시장치의 형광체 도포방법 | |
JPS6420285A (en) | Production of double coated pressure-sensitive adhesive tape | |
JPS5373237A (en) | Coating of viscous | |
JPS63106700U (ko) | ||
KR900002109A (ko) | 블랙 마스크(Black Mask)층을 형성한 네가티브형 칼라 액정표시 소자의 제조방법 | |
JPS51128336A (en) | Double faced adhesive tape | |
KR910007071A (ko) | 접촉 인쇄 공정 | |
JPS5377233A (en) | Device for coating |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |