KR960035767A - 반도체 소자의 중첩 정밀도 측정방법 - Google Patents
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Abstract
본 발명은 반도체소자의 중첩정밀도 측정방법에 관한것으로서, 실리레이션 공정을 진행하는 반도체소자의 제조 공정중 노광장치의 오프셋을 보정하기 위하여 감광막을 선택 노광한 후, 실리레이션 공정을 진행하여 감광막의 측정마크로 예정되어 있는 부분상에 실리레이션막을 형성하고, 상기 감광막과 실리레이션 막 간의 굴절율차 및 토폴로지 차에 따라 레이저 스캐터링 검사 장치를 사용하여 상기 측정마크가 되는 실리레이션막의 위치를 측정하여 측정마크의 중심 위치를 계산하여 노광장비의 오프셋을 보상하였으므로, 실리레이션 공정에서 실리레이션막을 마스크로하는 플라스마 에칭 공정전에 노광장비의 중첩정밀도를 측정할 수 있어 장비의 사용 효율 및 공정수율이 증가된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 표면노광 공정 후의 중첩정밀도 측정 방법을 설명하기 위한 개략도, 제3도는 본 발명에 따른 중첩정밀도 측정장치를 설명하기 위한 개략도, 제4도는 제3도의 장치를 이용하여 측정된 측정마크의 데이타 그래프.
Claims (4)
- 반도체기판상에서 스크라이브 라인으로 예정되어 있는 부분상에 감광막을 도포하는 공정과, 상기 감강막의 측정마크로 예정되어 있는 부분 상측에 실리레이션막을 형성하는 공정과, 상기 측정마크인 실리레이션막의 위치를 측정하여 노광장비의 오프셋을 보상하는 공정을 구비하는 반도체소자의 중첩정밀도 측정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 감광막이 G라인, i라인, 원자외선, 전자빈, X선용 감광막으로 이루어지는 군에서 임의로 선택되는 하나의 감광막인 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 감광막 패턴 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 측정마크가 되는 실리레이션막을 전체적으로 L자형으로 배치된 다수개의 정사각형 패턴으로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 중첩정밀도 측정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 측정마크를 박스-인-박스형이나 버어니어 형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 중첩정밀도 측정방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950006330A KR960035767A (ko) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 반도체 소자의 중첩 정밀도 측정방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950006330A KR960035767A (ko) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 반도체 소자의 중첩 정밀도 측정방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960035767A true KR960035767A (ko) | 1996-10-24 |
Family
ID=66552741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950006330A KR960035767A (ko) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 반도체 소자의 중첩 정밀도 측정방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960035767A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7016184B1 (en) | 2002-09-27 | 2006-03-21 | Casio Computer Co., Ltd. | Electronic device and cover member thereof |
-
1995
- 1995-03-24 KR KR1019950006330A patent/KR960035767A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7016184B1 (en) | 2002-09-27 | 2006-03-21 | Casio Computer Co., Ltd. | Electronic device and cover member thereof |
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