Claims (3)
초음파 발진소자와, 상기 초음파 발진소자로부터 나오는 초음파를 소정의 초점거리위치에 점 형상으로 수속시키는 구면 형상의 음향렌즈와, 상기 음향렌즈의 볼록면과 끼워 맞추는 오목부가 상부 바닥부에 형성되고, 상기 음향렌즈로부터 나오는 초음파를 전파시켜서 선단부로부터 출사시켜 피측정물로부터 반사되어 오는 초음파를 상기 선단면으로부터 입사시켜 상기 음향렌즈로 되돌리기 위한 대체로 역원뿔대 형상의 딜레이재를 구비하여 이루어지는 초음파 두께측정센서에 있어서, 상기 초음파 발진소자의 반지름을 S, 상기 음향렌즈의 볼록면의 굴곡 반지름을 R, 상기 딜레이재의 선단 반지름을 C, 그 높이를 L, 상기 음향렌즈 내의 음속을 V1, 상기 딜레이재 내의 음속을 V2라고 할 때, 이들 파라미터간의 관계가 다음의 부등식을 충족시키는 범위에 있도록 상기 딜레이재의 높이(L)를 설정한 것을 특징으로 하는 초음파 두께측정센서.A spherical acoustic lens for converging the ultrasonic waves emitted from the ultrasonic oscillation element in a point shape at a predetermined focal distance position; and a concave portion fitted to the convex surface of the acoustic lens, And a delay member having a generally inverted truncated cone shape for propagating an ultrasonic wave emitted from an acoustic lens and emitting the ultrasonic wave reflected from the object to be irradiated from the distal end and returning the ultrasonic wave to the acoustic lens, The radius of curvature of the convex surface of the acoustic lens is R, the radius of the tip of the delay member is C, the height thereof is L, the sound velocity in the acoustic lens is V1, the sound velocity in the delay material is V2 , The relationship between these parameters is in the range satisfying the following inequality And a height (L) of the delay material is set so as to satisfy the following expression.
(수 1)(Number 1)
초음파 발진소자와. 상기 초음파 발진소자로부터 나오는 초음파를 초점거리위치로 선 형상으로 수속시키는 비 구면 형상의 음향렌즈와, 상기 음향렌즈의 볼록면과 끼워 맞추는 오목면이 상부 바닥부에 형성되고, 상기 음향렌즈로부터 나오는 초음파를 전파시켜 선단면으로부터 출사시키고, 피측정물로부터 반사되어 오는 초음파를 상기 선단면으로부터 입사시켜 상기 음향렌즈로 되돌리기 위한 역뿔대 형상의 딜레이재를 구비하여 이루어지는 초음파 두께측정센서에 있어서, 상기 초음파 발진소자의 짧은 지름을 S, 상기 음향렌즈의 볼록면의 중심위치로 부터 짧은 지름 방향으로 S만큼 떨어진 위치의 기울기 각도를 α, 상기 딜레이재의 선단 짧은 지름을 C, 그 높이를 L, 상기 음향렌즈내의 음속을 V1, 상기 딜레이재내의 음속을 V2라고 할 때, 이들 파라미터간의 관계가 다음의 부등식을 충족하는 범위에 있도록 상기 딜레이재의 높이(L)를 설정한 것을 특징으로 하는 초음파 두께측정센서Ultrasonic oscillation element and. A concave surface to be fitted to the convex surface of the acoustic lens is formed on an upper bottom portion of the acoustic lens, and an ultrasonic wave emitted from the acoustic lens And a reverse delay element for returning the ultrasonic wave reflected from the measured object to the acoustic lens by making the ultrasonic wave incident on the front end face to propagate back to the acoustic lens, the ultrasonic wave thickness measuring sensor comprising: A short diameter of the element is S, a tilt angle of a position spaced by S in a short radial direction from a center position of the convex surface of the acoustic lens is α, a short diameter of a tip of the delay material is C, a height thereof is L, When the sound velocity is V1 and the sound velocity in the delay material is V2, the relationship between these parameters is So that the inequalities in the range that meet the measurement ultrasonic sensor, characterized in that setting the height (L) wherein the delay member
(수 2)(Number 2)
초음파 발진소자와, 상기 초음파 발진소자로부터 나오는 초음파를 소정의 초점거리위치에 수속시키는 음향 렌즈와, 옆둘레에 흡음재가 장치되고 상기 음향렌즈의 볼록면과 끼워 맞추는 오목면이 상부 바닥면에 형성되고, 상기 음향렌즈로부터 나오는 초음파를 전파시켜 선단면으로부터 출사시키고, 피측정물로부터 반사되어 오는 초음파를 상기 선단면으로부터 입사시켜서 상기 음향렌즈로 되돌리기 위한 역뿔대 형상의 딜레이재를 구비하여 이루어지는 초음파 두께측정센서,An acoustic lens for converging the ultrasonic wave emitted from the ultrasonic oscillation element to a predetermined focal distance position; a concave surface for fitting a sound absorbing material to the side surface of the acoustic lens and fitting with the convex surface of the acoustic lens is formed on the upper floor surface An ultrasonic wave thickness measurement device comprising a reverse delay element for propagating an ultrasonic wave from the acoustic lens and emitting the ultrasonic wave from a front end face and returning the ultrasonic wave reflected from the measured object to the acoustic lens, sensor,
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: It is disclosed by the contents of the first application.