KR960031660A - 써모크로믹 스마트 윈도우용 박막의 결정화 방법 - Google Patents
써모크로믹 스마트 윈도우용 박막의 결정화 방법 Download PDFInfo
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Abstract
외부의 온도 변화에 따라 근적외선의 투과율이 변하여 기온이 올라가는 여름철에 근적외선을 차단하여 실내온도의 상승을 막아서 전기에너지를 절약할 수 있는 지능을 갖는 유지로 되는 써모크로믹 스마트 윈도우의 코팅재료로 쓰이는 박막은 박막을 제조한 후에 그 박막을 결정화 시켜야 비로서 서모크로믹 효과를 나타내므로 시간이 많이 걸리는 종래의 아르곤 가스에 의한 기판 가열법으로 하여 박막의 화학양론비(stoichimetry)에 영향을 미쳐 그 성공이 불확실한 방법을 지양하고, RTA(Rapid Thermal Annealing) 또는 RTP(Rapid Thermal Processing) 방법을 이 써모크로믹 박막에 적용하여 아주 짧은 시간에 아르곤 가스가 필요없고 제조된 박막의 화학양론비에도 영향을 주지 않으며 확실한 결정성을 갖는 박막을 제조할 수 있게 하므로써 현저하고도 확실한 써모크로믹 효과를 갖는 써모크로믹 스마트 윈도우를 제조하기 위한 써모크로믹 스마트 윈도우용 박막의 결정화 방법.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예로서 본 발명의 의해 제조된 VO2박막을 400℃에서 30초간 RTA(Rapid Thermal Annealing) 처리하여 얻어진 VO2박막을 X-선 회절 패턴으로 나타낸 것이다.
Claims (2)
- 써모크로믹 스마트 윈도우용 박막의 결정화를 위해 진공 챔버내에 이산화 바나듐(VO2)의 의 원자비를 정확히 1 : 2이 되게 하고 이와 같이하여 만들어진 VO2박막을 결정화함에 있어서, 텅스텐(W) 원소의 칩을 상기 진공챔버 내에 있는 바나듐 타겟트에 미량 부착하고 이를 프라즈마 상태로 하여 상기 바나듐(V)가 텅스텐(W) 원자와 반응하여V1-XWXO2로 되는 비정질의 박막 물질로 중착되게 하고, 이를 RTA(Rapid Thermal Annealing) 방법으로 5분내 특히 그중에서도 1분 이내에 약 350~500℃에서 아닐링 열처리 하므로써 상기 박막이 결정화 되는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 스마트 윈도우용 박막의 결정화 방법. (단, 여기에서 x는 x0.02)
- 제1항에 있어서, 상기 RTA 방법에 적용함시, 상기 기판유리에 코팅하는 박막 코팅재료VO2는 그 전이온도를 실용가능한 상온으로 낮추어주기 위하여 텅스텐(W)을 첨가원소로 도우핑할 경우 V1-XWXO2박막에서 x는 x0.01인 것을 특징으로 하는 서모크로믹 스마트 윈도우용 박막의 결정화 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950002069A KR960031660A (ko) | 1995-02-06 | 1995-02-06 | 써모크로믹 스마트 윈도우용 박막의 결정화 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950002069A KR960031660A (ko) | 1995-02-06 | 1995-02-06 | 써모크로믹 스마트 윈도우용 박막의 결정화 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960031660A true KR960031660A (ko) | 1996-09-17 |
Family
ID=66531655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950002069A KR960031660A (ko) | 1995-02-06 | 1995-02-06 | 써모크로믹 스마트 윈도우용 박막의 결정화 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960031660A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013025000A3 (ko) * | 2011-08-12 | 2013-05-30 | (주)엘지하우시스 | 저온 금속 증착공정을 적용한 열변색성 유리의 제조방법 및 이에 의한 열변색성 유리 |
| WO2015065012A1 (ko) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 코닝정밀소재 주식회사 | 써모크로믹 윈도우 제조방법 및 이에 의해 제조된 써모크로믹 윈도우 |
-
1995
- 1995-02-06 KR KR1019950002069A patent/KR960031660A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2013025000A3 (ko) * | 2011-08-12 | 2013-05-30 | (주)엘지하우시스 | 저온 금속 증착공정을 적용한 열변색성 유리의 제조방법 및 이에 의한 열변색성 유리 |
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