KR101278058B1 - 써모크로믹 글라스 제조방법 - Google Patents

써모크로믹 글라스 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101278058B1
KR101278058B1 KR1020110131219A KR20110131219A KR101278058B1 KR 101278058 B1 KR101278058 B1 KR 101278058B1 KR 1020110131219 A KR1020110131219 A KR 1020110131219A KR 20110131219 A KR20110131219 A KR 20110131219A KR 101278058 B1 KR101278058 B1 KR 101278058B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
vanadium
thermochromic
thin film
seed layer
heat treatment
Prior art date
Application number
KR1020110131219A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130064553A (ko
Inventor
최용원
정영진
문동건
차지윤
Original Assignee
삼성코닝정밀소재 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성코닝정밀소재 주식회사 filed Critical 삼성코닝정밀소재 주식회사
Priority to KR1020110131219A priority Critical patent/KR101278058B1/ko
Priority to US13/446,699 priority patent/US8801905B2/en
Priority to EP12164255.7A priority patent/EP2615071A1/en
Priority to CN201210148598XA priority patent/CN103158301A/zh
Publication of KR20130064553A publication Critical patent/KR20130064553A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101278058B1 publication Critical patent/KR101278058B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/06—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3423—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings comprising a suboxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/218—V2O5, Nb2O5, Ta2O5
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/32—After-treatment
    • C03C2218/322—Oxidation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

본 발명은 써모크로믹 글라스 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 써모크로믹 박막의 결정성을 향상시킬 수 있는 써모크로믹 글라스 제조방법에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 글라스 기판 상에 순수 바나듐(pure vanadium) 금속을 코팅하여 시드층(Seed Layer)을 형성하는 시드층 형성 단계; 상기 시드층을 열처리하는 열처리 단계; 및 열처리된 상기 시드층 상에 이산화바나듐(VO2) 박막을 코팅하여 써모크로믹 박막을 형성하는 써모크로믹 박막 형성 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 써모크로믹(thermochromic) 글라스 제조방법을 제공한다.

Description

써모크로믹 글라스 제조방법{MANUFACTURING METHOD OF THERMOCHROMIC GLASS}
본 발명은 써모크로믹 글라스 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 써모크로믹 박막의 결정성을 향상시킬 수 있는 써모크로믹 글라스 제조방법에 관한 것이다.
써모크로미즘(thermochromism) 이란 어떤 천이금속 (transition metal)의 산화물 및 황화물이 특정한 온도(Tc ， transition temperature, 이하 천이온도)를 전·후하여 그 결정구조가 바뀌어서 물리적 성질(전기전도도 및 적외선 투과율)이 급격히 변하는 현상을 말한다.
이와 같은 써모크로믹(thermochromic) 효과를 지닌 박막을 글라스 위에 코팅하면 글라스가 어떤 일정한 온도 이상이 되면 가시광선은 들어오지만 근적외선 및 적외선이 차단되어 실내온도가 상승하지 않게 되는 “smart window"를 만들 수 있게 되어, 이를 자동차의 유리창이나 건물의 창문에 응용하면 에너지 절약에 큰 효과를 가질 수 있다. 써모크로믹 효과를 나타내는 재료에는 여러 가지 천이금속의 산화물과 황화물이 있으나 그 중에서 이산화바나듐(VO2)은 그 천이온도가 68℃로써 비교적 실용 가능한 온도에 가까워 많은 연구가 진행 중이다.
이에, V2O3, V3O5, V4O7, V6O11, V5O9, V6O13, V4O9, V3O7, V2O5, VO2 등과 같이 다양한 결정상으로 존재하는 바나듐(Vanadium) 산화물을 써모크로믹 효과를 갖는 VO2 결정상으로 제조하기 위해, 글라스 기판을 고온으로 가열한 후 바나듐 산화물을 코팅하거나, 바나듐 산화물을 코팅한 후에 어닐링(post annealing)하는 방법 등이 사용되고 있다.
그러나, 이와 같은 방법은 글라스 기판으로써 일반적으로 사용되는 소다라임계 글라스(Soda-Lime Glass) 상에 바나듐 산화물을 코팅하는 경우 글라스가 비정질(amorphous) 형태를 가져 이에 코팅되는 바나듐 산화물도 비정질의 형태를 나타내게 된다는 문제가 발생한다.
또한, 소다라임계 글라스 내의 나트륨(Na) 이온이 350℃ 이상의 온도에서 써모크로믹 박막으로 나트륨 확산(sodium diffusion)하여 써모크로믹 박막의 특성을 악화시키는 문제가 발생한다.
이에, 종래에는 글라스 기판과 써모크로믹 박막 사이에 Oxide 계열 또는 Nitride 계열의 박막을 추가하였으나, 이 경우 써모크로믹 박막의 구성 물질과 박막 물질이 달라 써모크로믹 박막의 결정성이 저하되고 써모크로믹 박막 형성 공정이 복잡하다는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 우수한 결정성 및 써모크로믹 특성을 갖는 써모크로믹 글라스 제조방법을 제공하는 것이다.
이를 위해, 본 발명은 글라스 기판 상에 순수 바나듐(pure vanadium) 금속을 코팅하여 시드층(Seed Layer)을 형성하는 시드층 형성 단계; 상기 시드층을 열처리하는 열처리 단계; 및 열처리된 상기 시드층 상에 이산화바나듐(VO2) 박막을 코팅하여 써모크로믹 박막을 형성하는 써모크로믹 박막 형성 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 써모크로믹(thermochromic) 글라스 제조방법을 제공한다.
그리고, 상기 열처리 단계에 의해 상기 순수 바나듐 금속이 이산화바나듐(VO2)으로 상변화된다.
여기서, 상기 시드층의 두께는 5 ~ 10㎚ 인 것이 바람직하다.
그리고, 상기 열처리 단계는 진공 분위기에서 이루어질 수 있다.
또한, 상기 열처리 단계는 산소를 주입하며 이루어질 수 있으며, 상기 산소의 주입량은 10 ~ 100sccm인 것이 바람직하다.
또한, 상기 열처리 단계는 300 ~ 500℃의 온도에서 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 300 ~ 500℃의 온도에서 10 ~ 60분 동안 이루어질 것이다.
그리고, 상기 이산화바나듐(VO2) 박막의 코팅은 순수 바나듐 또는 바나듐 산화물로 이루어진 스터터링 타겟을 이용한 스퍼터링 증착법에 의해 이루어질 수 있으며, 바람직하게는, 상기 이산화바나듐(VO2) 박막의 코팅은 순수 바나듐(Pure Vanadium) 또는 삼산화바나듐(V2O3)과 오산화바나듐(V2O5)이 혼합된 이산화바나듐(VO2)으로 이루어진 스퍼터링 타겟을 이용한 DC 스퍼터링 증착법에 의해 이루어질 것이다.
본 발명에 따르면, 써모크로믹 박막의 결정성을 향상시킬 수 있고, 장기적인 신뢰성을 개선할 수 있다.
또한, 글라스 기판으로부터의 나트륨 확산을 방지하여 써모크로믹 박막의 써모크로믹 특성을 향상시킬 수 있다.
또한, 써모크로믹 글라스 제조 공정을 단순화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 써모크로믹 글라스의 제조방법을 개략적으로 나타낸 흐름도.
도 2는 종래방법에 의해 형성된 이산화바나듐(VO2) 박막의 XRD 그래프.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 형성된 이산화바나듐(VO2) 박막의 XRD 그래프.
도 4는 종래방법에 의해 형성된 이산화바나듐(VO2) 박막의 결정성을 촬영한 사진.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 형성된 이산화바나듐(VO2) 박막의 결정성을 촬영한 사진.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 써모크로믹 글라스에 대해 상세히 설명한다.
아울러, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단된 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 써모크로믹 글라스의 제조방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 써모크로믹 글라스의 제조방법은 시드층 형성 단계(S100), 열처리 단계(S200), 및 써모크로믹 박막 형성 단계(S300)를 포함하여 구성될 수 있다.
써모크로믹(thermochromic) 글라스를 제조하기 위해, 우선 글라스 기판 상에 순수 바나듐 금속을 코팅하여 시드층을 형성한다(S100).
글라스 기판은 투명 또는 유색의 일정한 넓이 및 두께를 갖는 기재로, 바람직하게는 소다라임계 글라스가 사용될 수 있다.
순수 바나듐 금속의 코팅은 스퍼터링(sputtering) 증착법 등 다양한 방법에 의해 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 DC 스퍼터링 증착법에 의해 형성될 수 있다.
이후, 바나듐 금속으로 이루어진 시드층을 열처리 하여(S200) 바나듐 금속이 이산화바나듐(VO2)으로 상변화되도록 한다.
열처리는 진공 분위기에서 이루어질 수 있고, 바람직하게는 진공 분위기에서 300 ~ 500℃의 온도에서 이루어질 것이며, 더욱 바람직하게는 300 ~ 500℃의 온도에서 10 ~ 60분 동안 이루어질 것이다. 이에 의해 우수한 특성을 갖는 이산화바나듐(VO2)으로 이루어진 시드층을 형성할 수 있다.
또한, 열처리 단계에서 약간의 산소를 주입하여 순수 바나듐 금속이 이산화바나듐(VO2)으로 상변화가 잘 일어나게 할 수 있다. 산소의 주입량은 열처리 챔버(chamber)의 크기 및 진공도에 따라 달라질 수 있으나, 바람직하게는 10 ~ 100sccm 의 산소를 주입할 것이다. 더욱 바람직하게는 과도한 산소 주입으로 인해 순수 바나듐 금속이 오산화바나듐(V2O5)으로 상변화되지 않도록 10 ~ 50sccm의 산소가 주입될 것이다.
시드층은 5 ~ 10㎚의 두께의 두께를 갖도록 형성될 것이나, 바나듐은 금속 특성을 가지고 있어 두께가 두꺼우면 반사율이 높아지고 가시광선 투과율이 낮아지므로 시드층의 두께가 얇을수록 바람직할 것이다.
마지막으로, 열처리된 시드층 상에 이산화바나듐(VO2) 박막을 코팅하여 써모크로믹 박막을 형성함으로써 써모크로믹 글라스를 제조할 수 있다(S300).
이산화바나듐(VO2) 박막의 코팅은 순수 바나듐 또는 바나듐 산화물으로 이루어진 스퍼터링 타겟을 이용한 스퍼터링 증착법에 의해 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 순수 바나듐(Pure Vanadium) 또는 삼산화바나듐(V2O3)과 오산화바나듐(V2O5)이 혼합된 이산화바나듐(VO2)으로 이루어진 스퍼터링 타겟을 이용한 DC 스퍼터링 증착법에 의해 이루어질 것이다. 순수 바나듐(Pure Vanadium) 또는 삼산화바나듐(V2O3)과 오산화바나듐(V2O5)이 혼합된 이산화바나듐(VO2) 이외의 바나듐 산화물은 부도체로 이를 글라스 기판 상에 코팅할 경우 RF 스퍼터링 증착법에 의하여야 하지만, 순수 바나듐(Pure Vanadium) 또는 삼산화바나듐(V2O3)과 오산화바나듐(V2O5)이 혼합된 이산화바나듐(VO2)은 도체로서 DC 스퍼터링 증착법도 가능하다. 일반적으로 DC 스퍼터링 증착법은 RF 스퍼터링 증착법에 비해 5배 정도 빠른 속도로 증착이 가능하다.
이산화바나듐(VO2)으로 상변화된 시드층 상에 순수 바나듐 또는 바나듐 산화물을 코팅하면, 바나듐 금속은 시드층의 결정상과 동일한 이산화바나듐(VO2)으로 증착되게 되므로 시드층 상에 써모크로믹 박막을 형성할 수 있다.
도 2는 종래방법에 의해 형성된 이산화바나듐(VO2) 박막의 XRD 그래프이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 형성된 이산화바나듐(VO2) 박막의 XRD 그래프이다.
도 2와 도 3을 비교하면, 25 ~ 30° 에서 본 발명에 따른 이산화바나듐(VO2) 박막이 종래방법에 의한 이산화바나듐(VO2) 박막보다 높은 피크 값을 가짐을 알 수 있다. 즉, 본 발명에 의할 때 이산화바나듐(VO2) 박막이 높은 peak intensity를 가짐을 알 수 있다.
도 4는 종래방법에 의해 형성된 이산화바나듐(VO2) 박막의 결정성을 촬영한 사진이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 형성된 이산화바나듐(VO2) 박막의 결정성을 촬영한 사진이다.
도 4와 도 5를 비교하면, 본 발명에 의해 형성된 이산화바나듐(VO2) 박막의 결정성이 종래 방법에 의해 형성된 이산화바나듐(VO2) 박막보다 우수함을 알 수 있다.
이와 같이, 글라스 기판 상에 써모크로믹 특성을 갖는 이산화바나듐(VO2) 박막과 동일한 격자 상수 및 동질(homogenous)한 계면 특성을 갖는 시드층을 형성시킨 후, 이산화바나듐(VO2) 박막을 형성시킴으로써, 이산화바나듐(VO2) 박막의 결정성 향상 및 장기적인 신뢰성을 개선할 수 있다.
또한, 시드층이 이산화바나듐(VO2) 박막의 형성을 위한 고온 공정에서 글라스 기판으로부터 발생하는 나트륨 확산을 방지하는 나트륨 확산 방지층(sodium diffusion barrier) 역할을 동시에 수행함으로써, 써모크로믹 글라스의 써모크로믹 특성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 시드층과 써모크로믹 박막의 형성 시 동일한 물질로 이루어진 스퍼터링 타겟을 사용할 수 있어, 써모크로믹 글라스 제조 공정을 단순화시킬 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (10)

  1. 글라스 기판 상에 순수 바나듐(pure vanadium) 금속을 코팅하여 시드층(Seed Layer)을 형성하는 시드층 형성 단계;
    상기 시드층을 열처리하는 열처리 단계; 및
    열처리된 상기 시드층 상에 이산화바나듐(VO2) 박막을 코팅하여 써모크로믹 박막을 형성하는 써모크로믹 박막 형성 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 써모크로믹(thermochromic) 글라스 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 열처리 단계에 의해 상기 순수 바나듐 금속이 이산화바나듐(VO2)으로 상변화되는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 글라스 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 시드층의 두께는 5 ~ 10㎚ 인 것을 특징으로 하는 써모크로믹 글라스 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 열처리 단계는 진공 분위기에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 글라스 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 열처리 단계는 산소를 주입하며 이루어지는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 글라스 제조방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 산소의 주입량은 10 ~ 100sccm인 것을 특징으로 하는 써모크로믹 글라스 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 열처리 단계는 300 ~ 500℃의 온도에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 글라스 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 열처리 단계는 10 ~ 60분 동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 글라스 제조방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 이산화바나듐(VO2) 박막의 코팅은 순수 바나듐 또는 바나듐 산화물로 이루어진 스터터링 타겟을 이용한 스퍼터링 증착법에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 글라스 제조방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 이산화바나듐(VO2) 박막의 코팅은 순수 바나듐(Pure Vanadium) 또는 삼산화바나듐(V2O3)과 오산화바나듐(V2O5)이 혼합된 이산화바나듐(VO2)으로 이루어진 스퍼터링 타겟을 이용한 DC 스퍼터링 증착법에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 글라스 제조방법.

KR1020110131219A 2011-12-08 2011-12-08 써모크로믹 글라스 제조방법 KR101278058B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110131219A KR101278058B1 (ko) 2011-12-08 2011-12-08 써모크로믹 글라스 제조방법
US13/446,699 US8801905B2 (en) 2011-12-08 2012-04-13 Thermochromic substrate and method of manufacturing the same
EP12164255.7A EP2615071A1 (en) 2011-12-08 2012-04-16 Thermochromic substrate and method of manufacturing the same
CN201210148598XA CN103158301A (zh) 2011-12-08 2012-05-14 热致变色基板及其制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110131219A KR101278058B1 (ko) 2011-12-08 2011-12-08 써모크로믹 글라스 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130064553A KR20130064553A (ko) 2013-06-18
KR101278058B1 true KR101278058B1 (ko) 2013-06-24

Family

ID=46000905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110131219A KR101278058B1 (ko) 2011-12-08 2011-12-08 써모크로믹 글라스 제조방법

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8801905B2 (ko)
EP (1) EP2615071A1 (ko)
KR (1) KR101278058B1 (ko)
CN (1) CN103158301A (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015047016A1 (ko) * 2013-09-30 2015-04-02 코닝정밀소재 주식회사 써모크로믹 윈도우 및 이의 제조방법
DE102014018464A1 (de) 2014-12-12 2016-06-16 Schott Ag Thermochrome pigmente, thermochrome beschichtung, verfahren zu deren herstellung sowie deren verwendung
CN106012014A (zh) * 2016-06-06 2016-10-12 电子科技大学 二氧化钒薄膜生长方法
CN108558203A (zh) * 2018-06-05 2018-09-21 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 一种热致变色铝硅酸盐玻璃及其制备方法
CN113652640B (zh) * 2021-08-20 2022-10-04 电子科技大学 溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法及薄膜
CN116200712B (zh) * 2023-02-21 2024-07-23 电子科技大学 一种高开关比二氧化钒薄膜及制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000137251A (ja) 1998-08-28 2000-05-16 Itaru Yasui サ―モクロミック体及びその製造方法
JP2006206398A (ja) 2005-01-28 2006-08-10 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 高断熱自動調光ガラス及びその製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU546405B2 (en) 1982-02-01 1985-08-29 Ppg Industries, Inc. Vanadium oxide coating
FR2809388B1 (fr) 2000-05-23 2002-12-20 Saint Gobain Vitrage Vitrage comprenant au moins une couche a proprietes thermochromes
CN101265036A (zh) * 2008-04-07 2008-09-17 中国科学院广州能源研究所 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法
KR101137373B1 (ko) * 2010-01-07 2012-04-20 삼성에스디아이 주식회사 스마트 창호

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000137251A (ja) 1998-08-28 2000-05-16 Itaru Yasui サ―モクロミック体及びその製造方法
JP2006206398A (ja) 2005-01-28 2006-08-10 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 高断熱自動調光ガラス及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20130150238A1 (en) 2013-06-13
US8801905B2 (en) 2014-08-12
EP2615071A1 (en) 2013-07-17
KR20130064553A (ko) 2013-06-18
CN103158301A (zh) 2013-06-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101278058B1 (ko) 써모크로믹 글라스 제조방법
KR101278059B1 (ko) 써모크로믹 글라스 제조방법
KR101286170B1 (ko) 써모크로믹 글라스 및 이의 제조방법
KR101520741B1 (ko) 도펀트가 도핑된 써모크로믹 윈도우 및 이의 제조방법
US9146408B2 (en) Thermochromic window
Koo et al. Thermochromic properties of VO2 thin film on SiNx buffered glass substrate
KR20140001541A (ko) 써모크로믹 윈도우 제조방법
Yang et al. Transmittance change with thickness for polycrystalline VO2 films deposited at room temperature
EP2743239B1 (en) Production method for thermochromatic glass in which use is made of a low-temperature metal-vapour-deposition process, and thermochromatic glass obtained thereby
JP6259711B2 (ja) サーモクロミックウィンドウ及びその製造方法
Fallah Vostakola et al. Structural, morphological, and optical properties of W‐doped VO 2 thin films prepared by sol‐gel spin coating method
Wang et al. Fabrication of AZO and FAZO films using low-cost spin-coating method
KR20140133985A (ko) 이산화바나듐 코팅 기판 제조방법
KR101281467B1 (ko) 써모크로믹 글라스 제조방법 및 이에 의해 제조된 써모크로믹 글라스
CN106045332B (zh) 一种低相变温度的热色智能调光膜及其制备方法
Shaiju et al. Controlled oxygen incorporation into DC sputtered vanadium coatings for high-efficiency infrared shielding
KR101279397B1 (ko) 써모크로믹 유리 및 그 제조방법
KR101917040B1 (ko) 저온 증착에 의해 형성된 이산화 바나듐 박막을 포함하는 스마트 글래스 및 그의 제조 방법
KR101792403B1 (ko) 저온 증착에 의해 형성된 이산화 바나듐 박막을 포함하는 스마트 글래스 및 그의 제조 방법
WO2015065012A1 (ko) 써모크로믹 윈도우 제조방법 및 이에 의해 제조된 써모크로믹 윈도우
KR20140006215A (ko) 써모크로믹 윈도우 제조방법 및 써모크로믹 윈도우
Jin et al. Notable Enhancement of Phase Transition Performance and Luminous Transmittance Films via Simple Method of Ar/O in VO2 Plasma Post-Treatment
KR101367828B1 (ko) 써모크로믹 윈도우 제조방법
Kaufman et al. Design and Scalable Synthesis of Thermochromic VO2-Based Coatings for Energy-Saving Smart Windows with Exceptional Optical Performance
CN106082695A (zh) 一种智能调光膜及其制备与应用

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee