Claims (9)
광을 생성하여 스테이지로 조사하는 세개의 광원과, 이 각각의 광원에서 출사된 광중 특정편광의 광만이스테이지로 향하도록 각각의 광축상에 위치한 슬릿과, 상기 슬릿을 통과한후 상기 스테이지의 적어도 세점에서 반사된 광을 수광하는 적어도 세개의 선형 촬상소자와, 이 각각의 촬상소자에서 수광된 신호로부터 초점 및 수평오차를 검출하는오차검출수단과, 이 오차검출수단에 의해 검출된 신호로부터 스테이지를 구동하는 액츄에이터를 구비한 것을 특징으로 하는 스테이지 수평 및 초점 조정장지.Three light sources that generate light and irradiate it to the stage, slits positioned on each optical axis such that only light of a specific polarization of light emitted from each light source is directed to the stage, and at least three points of the stage after passing through the slit At least three linear image pickup elements for receiving the light reflected from the image pickup unit, error detection means for detecting focus and horizontal error from the signals received at the respective image pickup elements, and driving the stage from the signals detected by the error detection unit. The stage horizontal and focus adjustment device characterized in that it comprises an actuator to.
제1항에 있어서, 상기 각각의 광원과 스테이지 사이의 광경로 상에 상기 광원에서 출사된 광을 평행광으로바꾸어 주거나 집속광으로 바꾸어 주는 렌즈를 구비한 것을 특징으로 하는 스테이지의 수평 및 초점 조정장치.The horizontal and focus adjusting apparatus of claim 1, further comprising a lens for converting the light emitted from the light source into parallel light or converting the focused light into a focused light on an optical path between each light source and the stage. .
제1항에 있어서, 상기 액츄에이터는 상기 각각의 선형 촬상소자에 의한 신호로 부터 독립적으로 구동되도록 상기 스테이지의 다른 부분에 적어도 세개 구비된 것을 특징으로 하는 스테이지 수평 및 초점 조정장치.The stage horizontal and focus adjusting apparatus of claim 1, wherein at least three actuators are provided at different portions of the stage to be driven independently from signals by the respective linear image pickup devices.
광을 생성하여 스테이지의 세개의 점에 조사하는 단계와, 상기 스테이지에서 반사되는 광들을 각각의 선형촬상소자를 통하여 수광하는 수광단계와, 상기 선형 촬상소자에서 수광된 광으로 부터 수평 및 초점오차를 검출하는 오차검출단계와, 이 오차검출단계에 의해 검출된 신호로 부터 스테이지를 구동하는 구동단계로 이루어진 것을 특징으로 하는스테이지 초점 및 수평 조정방법.Generating light and irradiating three points of the stage; receiving light reflected from the stage through each linear image pickup device; and adjusting horizontal and focus errors from the light received from the linear image pickup device. And an error detecting step of detecting, and a driving step of driving a stage from the signal detected by the error detecting step.
제4항에 있어서, 상기 초점오차 검출하는 단계는 상기 세개의 선형 촬상소자중 어느 하나의 선형 촬상소자에서 검출된 신호로부터 스테이지의 높이를 측정하는 제1단계와, 이 제1단계에서 측정된 높이와 기준위치를 비교하여 그차를 계산하는 제2단계와, 상기 제2단계에서 계산된 값이 허용오차 범위내에 포함되는지를 판단하는 제3단계와, 상기 제3단계에서 허용오차 범위를 벗어나는 경우로 판단된 경우 상기 액츄에이터의 각 부분의 이동량을 계산하고 이동신호를 전달하는 제4단계로 이루어지고, 상기 제4단계를 완료후 제1단계로 피드백하여 상기 제2단계에서 계산된 신호가 상기 제3단계에서 허용오차 범위내에 포함되도록 반복하는 루프를 가지는 것을 특징으로 하는 스테이지 초점 및 수평 조정방법.The method of claim 4, wherein the detecting of the focus error comprises a first step of measuring a height of a stage from a signal detected by one of the three linear image pickup devices, and the height measured in the first step. A second step of calculating the difference by comparing the reference position with a reference position, a third step of determining whether the value calculated in the second step is within the tolerance range, and a case out of the tolerance range in the third step. If it is determined, the fourth step of calculating the movement amount of each part of the actuator and transmitting the movement signal is completed, the fourth step is completed and fed back to the first step so that the signal calculated in the second step is the third step. And a loop that repeats to fall within the tolerance range in the step.
제5항에 있어서, 상기 선형 촬상소자에 상기 제1단계에서 신호가 검출되지 않는 경우 그 상황을 분석하는프로그램으로 신호가 전달되도록 판별하는 단계를 상기 제1단계와 상기 제2단계 사이에 더 구비한 것을 특징으로 하는 스테이지 수평 및 초점 조정방법.6. The method of claim 5, further comprising determining between the first step and the second step that the linear image pickup device transmits a signal to a program for analyzing a situation when a signal is not detected in the first step. Stage horizontal and focus adjustment method characterized in that.
제4항에 있어서, 상기 오차검출 단계는 상기 세개의 선형 촬상소자로 상기 스테이지의 세부분 각각의 높이를 측정하는 제1단계와, 제1단계에서 측정된 높이와 기준위치와의 위치차를 계산하는 제2단계와, 상기 제2단계에서 계산된 위치차가 허용오차범위 내인지의 여부를 판단하는 제3단계와, 상기 제3단계에서 허용오차 범위를 벗어나는 경우로 판단된 경우 상기 액츄에이터의 각 부분의 이동량을 계산하고 이동신호를 전달하는 제4단계로 이루어지고, 상기 제4단계를완료후 제1단계로 피드백하여 상기 제2단계에서 계산된 신호가 상기 제3단계에서 허용오차 범위내에 포함되도록 반복하는 루프를 가지는 것을 특징으로 하는 수평 및 초점 조정방법.5. The method of claim 4, wherein the error detecting step comprises: a first step of measuring the height of each part of the stage with the three linear image pickup devices, and calculating a position difference between the height measured in the first step and the reference position; And a third step of determining whether or not the position difference calculated in the second step is within a tolerance range, and each part of the actuator when it is determined that it is out of the tolerance range in the third step. Comprising a fourth step of calculating the amount of movement and transfer the movement signal, the fourth step is fed back to the first step after completion of the fourth step so that the signal calculated in the second step is included within the tolerance range in the third step Horizontal and focus adjustment method characterized by having a repeating loop.
제7항에 있어서, 상기 선형 촬상소자에 상기 제1단계에서 신호가 검출되지 않는 경우 그 상황을 분석하는 프로그램으로 신호가 전달되도록 판별하는 단계를 상기 제1단계와 상기 제2단계 사이에 더 구비한 것을 특징으로 하는 스테이지 수평 및 초점 조정방법.The method of claim 7, further comprising determining between the first step and the second step that the linear image pickup device transmits a signal to a program for analyzing the situation when a signal is not detected in the first step. Stage horizontal and focus adjustment method characterized in that.
제4항에 있어서, 상기 수평 오차검출 단계와, 상기 초점 오차검출 단계가 독립적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 스테이지 수평 및 초점 조정방법.5. The method as claimed in claim 4, wherein the horizontal error detection step and the focus error detection step are performed independently.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.