KR960026488A - 접촉식 고속가열/냉각 다이본더 - Google Patents
접촉식 고속가열/냉각 다이본더 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것으로 더욱 구체적으로는 반도체 소자와 패키지를 결합시키는 접촉식 고속가열/냉각 다이본더에 관한 것으로 본딩 플레이트가 매우 빠른 온도상승/하강 시간을 갖도록 하기 위하여 본 발명에서는 다이본딩을수행할 윗판인 본딩 플레이트는 열장고 및 본체와 차단되도록 하고 가운데 부분에는 진공으로 기판을 잡을 수 있도록 작은 구멍이 형성되어 있고 가장자리에는 다이본딩 후 재빨리 식힐 수 있고 본딩공정중에 포오밍가스(질소와 수소의 혼합가스)를 흘려줄 수 있도록 가스선과 연결된 구멍이 형성되어 있으며 또한 본체 내부에는 히터, 열전쌍, 그리고 온도 콘트롤러에 의해서 항상 일정한 온도를 유지할 수 있도록 한 열저장고가 구비되며, 열저장고(18)를 상승 하강시켜주는 작동부재는 정확한 수직 운동이 이루어지도록 안내기능을 하는 상하운동 가이딩기둥과 접촉용스프링 및 외부에 노출되어 직접 작동시키는 열장고 착/탈용 스위치로 구성됨을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명이 적용된 접촉식 고속가열/냉각 다이본더의 사시도, 제2도는 본 발명이 적용된 접촉식 고속가열/냉각 다이본더의 내부구조 단면도.
Claims (3)
- 내부에 히터(7), 열전쌍(8)을 구비하고 상·하 이동가능 하도록 본체(19)내에 설치 구성된 열저장고(18)와; 상기 본체(19)와는 단열재(17)에 의해 결합되며 중앙부에 샘플홀딩용 구멍(6)이 형성된 본딩 프레이트(16)와; 상기 본체(19) 내부의 열저장고(18)와 본딩플레이트(16)를 접촉/이탈 시켜주는 작동부재로 구성됨을 특징으로 하는 접촉식 고속가열/냉각 다이본더.
- 제1항에 있어서, 열저장고(18)는 외부의 온도조절기(9)에 의하여 항상 일정한 온도를 유지되도록 하며, 상기 본딩플레이트(16)와의 접촉시자신의 온도변화가 없도록 상대적으로 크게 형성하여 열용량(heat mass)이 매우 크도록 함을 특징으로 하는 접촉식 고속가열/냉각 다이본더.
- 제1항에 있어서, 열저장고(18)를 상승 하강시켜주는 작동부재는 정확한 수직운동이 이루어 지도록 안내기능을 하는 상하운동 가이딩기둥(14)와 접촉용 스프링(13) 및 외부에 노출되어 직접 작동시키는 열장고 착/탈용 스위치(15)로 구성됨을 특징으로 하는 접촉식 고속가열/냉각 다이본더.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1019940033904A KR0137570B1 (ko) | 1994-12-13 | 1994-12-13 | 접촉식 고속가열/냉각 다이본더 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1019940033904A KR0137570B1 (ko) | 1994-12-13 | 1994-12-13 | 접촉식 고속가열/냉각 다이본더 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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KR960026488A true KR960026488A (ko) | 1996-07-22 |
KR0137570B1 KR0137570B1 (ko) | 1998-06-01 |
Family
ID=19401186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1019940033904A KR0137570B1 (ko) | 1994-12-13 | 1994-12-13 | 접촉식 고속가열/냉각 다이본더 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR0137570B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100439181B1 (ko) * | 2001-12-20 | 2004-07-05 | 동부전자 주식회사 | 스냅 큐어 오븐의 히팅 블록 냉각장치 |
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1994
- 1994-12-13 KR KR1019940033904A patent/KR0137570B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100439181B1 (ko) * | 2001-12-20 | 2004-07-05 | 동부전자 주식회사 | 스냅 큐어 오븐의 히팅 블록 냉각장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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KR0137570B1 (ko) | 1998-06-01 |
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