KR960024644A - 노광기용 마스크 정렬장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 노광기용 마스크 정렬장치에 관한 것으로서, 특히 마스크를 홀더에 정밀하게 장착할 수 있는 정렬장치에 관한 것이다.
본 발명 정렬장치는 마스크에 적어도 2개소에 형성되는 위치결정용 마크를 촬영하는 것으로 홀더에 대한 마스크의 정상위치에 부응하는 마크에 대응하게 마련되는 카메라와, 카메라로부터의 영상을 확대 표시하는 것으로 상기 마크에 대응하는 기준 마크를 화상으로 표시하여 상기 마스크의 마크와 기준 마크를 중첩 표시하여 이들 간의 상대 위치를 포착가능케하는 모니터를 포함한다.
이러한 본 발명 장치는, 홀더에 대한 마스크의 정렬을 고정밀하게 이룰 수 있기 때문에 포토리소그래피법등에 매우 유용하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 마스크 정렬장치를 개략적으로 보인 사시도.
Claims (3)
- 노광용 필름으로 사용되는 마스크를 이를 지지하는 홀더에 정렬시키는 장치에 있어서, 상기 마스크에 적어도 2개소에 형성되는 위치 결정용 마크를 촬영하는 것으로 홀더에 대한 마스크의 정상위치에 부응하는 마크에 대응하게 마련되는 카메라와, 상기 카메라로부터의 영상을 확대 표시하는 것으로 상기 마크에 대응하는 기준 마크를 화상으로 표시하여 상기 마스크의 마크와 기준 마크를 중첩 표시하여 이들 간의 상대 위치를 포착가능케하는 모니터를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광기용 마스크 정렬장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기준 마크를 상기 카메라에서 발생하도록 하여 된 것을 특징으로 하는 노광기용 마스크 정렬장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 카메라는 상기 홀더의 대향된 양측에 각각 하나씩 마련되는 것을 특징으로 하는 노광기용 마스크 정렬장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940038994A KR960024644A (ko) | 1994-12-29 | 1994-12-29 | 노광기용 마스크 정렬장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940038994A KR960024644A (ko) | 1994-12-29 | 1994-12-29 | 노광기용 마스크 정렬장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960024644A true KR960024644A (ko) | 1996-07-20 |
Family
ID=66769432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940038994A KR960024644A (ko) | 1994-12-29 | 1994-12-29 | 노광기용 마스크 정렬장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960024644A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102289723B1 (ko) * | 2021-02-01 | 2021-08-17 | 풍원정밀(주) | 대면적 디스플레이용 미세 금속 마스크 제작을 위한 복수의 포토 마스크 정렬장치 및 정렬방법 |
| KR102295228B1 (ko) * | 2021-02-01 | 2021-08-31 | 풍원정밀(주) | 대면적 디스플레이용 미세 금속 마스크 제작을 위한 복수의 포토 마스크 정렬장치 및 정렬방법 |
-
1994
- 1994-12-29 KR KR1019940038994A patent/KR960024644A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102289723B1 (ko) * | 2021-02-01 | 2021-08-17 | 풍원정밀(주) | 대면적 디스플레이용 미세 금속 마스크 제작을 위한 복수의 포토 마스크 정렬장치 및 정렬방법 |
| KR102295228B1 (ko) * | 2021-02-01 | 2021-08-31 | 풍원정밀(주) | 대면적 디스플레이용 미세 금속 마스크 제작을 위한 복수의 포토 마스크 정렬장치 및 정렬방법 |
| WO2022164123A1 (ko) * | 2021-02-01 | 2022-08-04 | 풍원정밀㈜ | 대면적 디스플레이용 미세 금속 마스크 제작을 위한 복수의 포토 마스크 정렬장치 및 정렬방법 |
| WO2022164113A1 (ko) * | 2021-02-01 | 2022-08-04 | 풍원정밀㈜ | 대면적 디스플레이용 미세 금속 마스크 제작을 위한 복수의 포토 마스크 정렬장치 및 정렬방법 |
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