KR960015797A - 박막패턴의 적층구조 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판표시소자의 금속전극의 형성에 적합한 박막패턴의 적층구조를 개시한다.
금속전극을 기판등에 적층하면 양자간의 열팽창 계수의 차이에 의해 금속전극이 분리되어 변형 손상되는 문제가 야기된다.
본 발명에서는 기판에 고부착율의 제1박막층을 형성한 뒤, 그 상부에 이를 감싸도록 고전도성의 제2박막층을 적층함으로써 양자간의 부착성을 크게 향상시켰다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 버스라인을 보이는 단면도.
Claims (6)
- 기판상에 적층되는 박막패턴의 적층구조에 있어서, 상기 기판상에 고접착율 금속으로 된 제1박막층을 적층하고, 상기 제1박막층 위에 이를 감싸도록 고도전성 금속으로 된 제2박막층을 적층하는 것을 특징으로 하는 박막패턴의 적층구조.
- 제1항에 있어서, 상기 제1박막층이 적정간격으로 이격되는 복수개로 구성되는 것을 특징으로 하는 박막패턴의 적층구조.
- 제1항에 있어서, 상기 박막패턴이 평판표시소자의 금속전극인 것을 특징으로 하는 박막패턴의 적층구조.
- 제3항에 있어서, 상기 평판표시소자가 TFT LCD이고, 상기 금속전극이 버스라인을 구성하는 것을 특징으로 하는 박막패턴의 적층구조.
- 제3항 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속전극이 저항감소를 위한 다층배선구조인 것을 특징으로 하는 박막패턴의 적층구조.
- 제1항에 있어서 상기 제1박막층이 Cr으로 구성되고, 상기 제2박막층이 Al 또는 Ta로 구성되는 것을 특징으로 하는 박막패턴의 적층구조.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940026338A KR960015797A (ko) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | 박막패턴의 적층구조 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940026338A KR960015797A (ko) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | 박막패턴의 적층구조 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960015797A true KR960015797A (ko) | 1996-05-22 |
Family
ID=66766734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940026338A KR960015797A (ko) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | 박막패턴의 적층구조 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960015797A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101239200B1 (ko) * | 2011-11-25 | 2013-03-05 | (주)다이솔티모 | 태양전지용 전면 전극기판과 후면 전극기판 자동부착장치 |
-
1994
- 1994-10-12 KR KR1019940026338A patent/KR960015797A/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101239200B1 (ko) * | 2011-11-25 | 2013-03-05 | (주)다이솔티모 | 태양전지용 전면 전극기판과 후면 전극기판 자동부착장치 |
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