KR960015693A - Substrate Processing Equipment - Google Patents

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KR960015693A
KR960015693A KR1019950028384A KR19950028384A KR960015693A KR 960015693 A KR960015693 A KR 960015693A KR 1019950028384 A KR1019950028384 A KR 1019950028384A KR 19950028384 A KR19950028384 A KR 19950028384A KR 960015693 A KR960015693 A KR 960015693A
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Abstract

간단한 구성으로 바닥의 점유면적이 작고 생산성이 좋은 기판처리장치를 제공한다. 4층 구조의 1층에 반입부(1), 미기판처리이송부(2), 처리부(3), 처리용로보트(31), 처리완료기판이송부(4), 반출부(5), 세정부(10)를, 1∼4층에 캐리어대기부(6)를, 4층에 캐리어 반송기구(9)를 설치하고, 1층∼4층 사이에서 캐리어를 반송하는 제1, 제2의 캐리어반송로보트를 1∼4층에 걸쳐 설치하고 있다.The simple configuration provides a substrate processing apparatus having a small footprint and high productivity. Input part 1, unsubstrate processed transfer part 2, processing part 3, processing robot 31, processed substrate transfer part 4, carrying out part 5, washing part on the first floor of a four-layer structure. 1st and 2nd carrier conveyance which conveys a carrier between 1st-4th layer, and installs the carrier standby part 6 in 1st-4th layer, and the carrier conveyance mechanism 9 in 4th layer, and (10). The robot is installed on the first to fourth floors.

제1, 제2의 캐리어 반송로보트 부근에는 반입부(1), 미처리기판이송부(2), 처리완료기판이송부(4), 반출부(5), 캐리어대기부(6), 세정부(10)등이 설치되어 있다. 장치내에서의 캐리어 반송은 제1, 제2의 캐리어 반송로보트(7,8), 캐리어반송기구(9)에 의해 행하여진다.In the vicinity of the first and second carrier conveying robots, an import unit 1, an unprocessed substrate transport unit 2, a finished substrate transport unit 4, an ejection unit 5, a carrier standby unit 6, and a cleaning unit ( 10) is installed. Carrier conveyance in an apparatus is performed by the 1st, 2nd carrier conveyance robots 7 and 8 and the carrier conveyance mechanism 9.

Description

기판처리장치Substrate Processing Equipment

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음As this is a public information case, the full text was not included.

제1도는 본 발명의 제1실시예에 관계되는 기판처리장치의 개략구성을 나타내는 정면도,1 is a front view showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to a first embodiment of the present invention;

제2도는 제1실시예 장치의 각층의 구성을 개별로 나타내는 평면도,2 is a plan view showing the configuration of each layer of the device of the first embodiment individually;

제3도는 제1의 캐리어반송로보트의 구성을 나타내는 도면,3 is a view showing the configuration of the first carrier transport robot,

제4도는 제1의 캐리어반송로보트의 동작을 설명하기 위한 도면,4 is a view for explaining the operation of the first carrier transport robot,

제5도는 미처리기판 이송부의 구성을 나타내는도면,5 is a view showing the configuration of an unprocessed substrate transfer unit,

제6도는 처리로보트의 구성을 나타내는 도면,6 is a view showing the configuration of the processing robot,

제7도는 캐리어 반송기구의 구성을 나타내는 도면,7 is a view showing the configuration of a carrier conveyance mechanism;

제8도는 제1의 캐리어 반송로보트와 캐리어 반송기구사이의 캐리어의 교환을 설명하기 위한 도면,8 is a view for explaining the exchange of carriers between the first carrier transport robot and the carrier transport mechanism;

제9도는 제1, 제2의 캐리어 반송로보트의 변형예를 설명하기 위한 도면.9 is a diagram for explaining modifications of the first and second carrier transport robots.

Claims (7)

복수장의 미처리기판이 수납된 반송용 캐리어를 장치내에 반입하는 반입부와, 상기 복수장의 미처리 기판에 소정의 기판처리를 행하는 처리부와, 상기 처리부에 있어서 상기 각 미처리기판을 지지하는 기판지지수단과, 상기 기판지지수단에 지지된 각미처리기판을 상기 처리부내에서 반송함과 동시에, 상기 처리부에서의 기판처리를 상기 각 미처리 기판에 행하게 하는 처리로보트와, 상기 미처리기판을 반입된 반송용 캐리어에서 상기 기판지지수단에 이송하는 미처리기판 이송부와, 상기 처리부에서의 기판처리가 종료된 각 처리완료 기판을 상기 기판지지수단에서 비어 있는 반송용 캐리어로 이송하는 처리완료기판 이송부와, 상기 각 처리완료기판이 수납된 반송용 캐리어를 장치밖으로 반출하는 반출부와, 장치내에서 적어도 반송용 캐리어를 반송하는 캐리어 반송수단과, 장치내에서 적어도 반송용 캐리어를 대기시키는 캐리어 대기부를 구비한 기판처리장치에 있어서, 장치를 N층(N은 2이상의 자연수)의 다층구조로 구성하여, 상기 다층구조의 1층 부분에, 상기 반입부와 상기 미처리기판 이송부와 상기 처리부와 상기 처리완료기판 이송부와 상기 반출부를 설치하며 상기 미처리기판 이송부를 상기 처리부의 한쪽끝에, 상기 처리완료 기판 이송부를 상기 처리부의 다른한끝에 배치하고, 상기 미처리기판 이송부의 부근 및 그 상방이며, 상기 다층구조의 1∼N층 사이에서 적어도 반송용 캐리어를 반송하는 제1의 캐리어 반송로보트와, 상기 처리완료기판이송부의 부근 및 그 상방이며 상기 다층구조의 1∼N층 사이에서, 적어도 반송용 캐리어를 반송하는 제2의 캐리어 반송로보트와, 상기 다용구조의 2∼N층 중 어느 하나의 층에 설치되며, 상기 제1의 캐리어 반송로보트와 상기 제2의 캐리어 반송로보트 사이에서 적어도 반송용 캐리어를 반송하는 캐리어 반송기구로 상기 캐리어 반송수단을 구성하고, 상기 제1의 캐리어 반송로브트 또는/및 상기 제2의 캐리어반송로보트의 부근이며, 상기 다층구조 l∼N층의 모든층 또는 임의의 어느 하나의 층에 상기 캐리어 대기부를 설치하고, 상기 반입부와 상기 반출부를 상기 제1의 캐리어 반송로보트 또는/및 상기 제2의 캐리어 반송로보트의 부근이며, 동시에 상기 미처리기판이송부 또는/및 상기 처리완료기판 이송부의 부근에 배치하고, 상기 제1, 제2의 캐리어반송로보트는 각각의 부근에 배치된 상기 반입부, 상기 반출부, 상기 미처리기판이송부, 상기 처리완료기판 이송부, 상기 캐리어대기부, 상기 캐리어반송기구 사이에서 적어도 반송용 캐리어를 교환하도록 구성한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.A carrying-in unit for carrying a carrier for carrying a plurality of unprocessed substrates into the apparatus, a processing unit for performing predetermined substrate processing on the plurality of unprocessed substrates, substrate supporting means for supporting each of the unprocessed substrates in the processing unit; The processing robot which conveys the unprocessed substrate supported by the said substrate support means in the said processing part, and performs the substrate processing in the said processing part to each said unprocessed board | substrate, and the said board | substrate in the conveyance carrier which carried the said unprocessed board | substrate. An unprocessed substrate transfer unit for transferring to the supporting means, a processed substrate transfer unit for transferring each processed substrate having finished substrate processing in the processing unit from the substrate support unit to the empty carrier, and the processed substrates A carrying-out portion for carrying out the conveying carrier out of the apparatus, and at least the conveying carrier in the apparatus. In the substrate processing apparatus provided with the carrier conveyance means for sending and the carrier waiting part which waits at least a carrier for conveyance in an apparatus, the apparatus is comprised by the multilayer structure of N layer (N is natural number of 2 or more), On the first floor, the carrying-in portion, the raw substrate transfer portion, the processing portion, the processed substrate transfer portion, and the carrying out portion are provided, and the unprocessed substrate transfer portion is located at one end of the processing portion, and the processed substrate transfer portion is placed on the other side of the processing portion. A first carrier conveyance robot disposed at the end and conveying at least the carrier for conveyance between 1 to N layers of the multi-layer structure, in the vicinity of and above the unprocessed substrate conveying portion, and the vicinity of the processed substrate conveying portion and its 2nd carrier conveyance robot which conveys a carrier for conveyance at least between 1-N layers of the said multilayered structure, and the said multi-purpose tool The carrier conveyance means is comprised by the carrier conveyance mechanism which is installed in any one of the 2nd-Nth layer of this, and conveys at least the carrier for conveyance between the said 1st carrier conveyance robot and the said 2nd carrier conveyance robot, The carrier holding part is provided in all layers or any one of the layers 1 to N layers in the vicinity of the first carrier conveyance robot and / or the second carrier conveyance robot, and the carry-in portion And the carry-out unit in the vicinity of the first carrier conveying robot and / or the second carrier conveying robot, and at the same time in the vicinity of the unprocessed substrate conveying unit and / or the processed substrate conveying unit. Carrier carrying robot of 2 is the carry-in portion, the carry-out portion, the unprocessed substrate transfer portion, the processed substrate transfer portion, the carrier standby portion, the carry arranged in each vicinity Substrate processing apparatus, characterized in that configured to exchange at least the carrier for transport between the transport mechanism. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 반송기구를 상기 다층구조의 N층(최상층)에 설치한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the carrier transport mechanism is provided on the N layer (the uppermost layer) of the multilayer structure. 제1항 또는 제2항 중 어느 하나의 항에 있어서, 비어 있는 반송용 캐리어를 세정하는 세정부를, 상기 제1의 캐리어 반송용로브트 또는 상기 제2의 캐리어 반송로보트의 부근에 설치하고 상기 재1의 캐리어 반송로보트 또는 상기 제2의 캐리어반송로보트 또한 반송함 비어 있는 반송용 캐리어를 상기 세정부와의 사이에서 교환하도록 구성한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.The washing | cleaning part which wash | cleans the empty carrier carrier is provided in the vicinity of the said 1st carrier conveyance robot or the said 2nd carrier conveyance robot, The said washing | cleaning part of any one of Claims 1-5. A substrate processing apparatus comprising: a carrier conveying robot of second grade or a second carrier conveying robot; 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반입부를 상기 미처리기판이송부(또는 처리완료기판이송부)의 부근에 상기 반출부를 상기 처리완료 기판이송부(또는 미처리기판 이송부)의 부근에 각각 분리하여 배치한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.The process of any one of claims 1 to 3, wherein the carrying-out portion is located near the unprocessed substrate transfer part (or the processed substrate transfer part) of the processed substrate transfer part (or the unprocessed substrate transfer part). Substrate processing apparatus, characterized in that arranged separately in the vicinity. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반입부와 상기 반출부를 상기 미처리기판 이송부 또는 처리완료기판 이송부의 어느 한곳의 부근에 모아서 배치한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.The substrate processing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the carrying-in portion and the carrying-out portion are collected and arranged near one of the unprocessed substrate transfer portion or the finished substrate transfer portion. 제4항 또는 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 기판지지수단은 복수장의 기판을 그대로 지지하고 캐리어리스로 상기 처리부에서의 기판처리를 행하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.The substrate processing apparatus according to any one of claims 4 and 5, wherein the substrate supporting means supports a plurality of substrates as they are and performs substrate processing in the processing unit by carrierless. 제4항 또는 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 기판지지수단은 복수자의 기판을 수납하는 처리용 캐리어로 구성하여 처리용캐리어에 기판을 수납한 상태에서 상기 처리부에서의 기판처리를 행하고 상기 캐리어 대기부에는 비어있는 처리용 캐리어도 대기시키며, 상기 제1, 제2의 캐리어리어 반송로보트와 상기 캐리어 반송기구는 비어 있는 처리용 캐리어의 반송도 행함과 동시에 상기 제1, 제2의 캐리어 반송로보트는 각각이 부근에 배치된 상기 미처리기판 이송부, 상기 처리완료기판이송부, 상기 캐리어 대기부, 상기 캐리어 반송기구의 사이에서, 비어 있는 처리용 캐리어의 교환도 행하도록 구성한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.6. The substrate supporting means according to any one of claims 4 and 5, wherein the substrate supporting means comprises a processing carrier for accommodating a plurality of substrates, and performs substrate processing in the processing unit in a state in which the substrate is stored in the processing carrier. The carrier waiting section also holds an empty processing carrier, and the first and second carrier carrier conveying robots and the carrier conveying mechanism also convey empty processing carriers, and the first and second carriers. The conveying robot is configured to exchange empty processing carriers between the unprocessed substrate conveying unit, the processed substrate conveying unit, the carrier waiting unit, and the carrier conveying mechanism, each of which is disposed nearby. Processing unit. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.
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