KR960012584A - 광 도파관 브래그 반사기 및 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법 - Google Patents

광 도파관 브래그 반사기 및 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법 Download PDF

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호워드 헨리 챨스
존 라스코브스키 에드워드
앤 밀브롯트 미쉘
호워드 야페 헨리
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Abstract

본 발명은 언더클래딩 혹은 코어에 주기적으로 배열되는 홈을 형성하고, 상기 홈이 형성된 표면위에 고 굴절 지수 물질로의 코팅을 수행하며, 선택적으로 상기 표면의 수평 면으로 부터는 코팅을 제거하고 수직 면으로 부터의 코팅을 남겨두는 단계를 수행함으로써 제조되는 도파관 브래그 반사기에 관한 것이다. 도파관은 이후 완성된다.

Description

광 도파관 브래그 반사기 및 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제9도는 프로세스에 따라 제조된 반사기의 전송 특성을 도시한 도면.

Claims (11)

  1. 언더클래딩 층(an undercladding layer)을 포함하는 기판(a substrate)을 제공하고, 세로 방향(a longitudinal direction)으로 연장하는 도파관 코어 층(a waveguide core layer)을 형성하며, 코어에 대해 수평및 수직 면(parallel and perpendicular surface)을 갖는 주기적으로 배열된 홈(periodic grooves)을 에칭하고, 외부 플래딩 층(an outer cladding layer)을 인가하는 단계를 포함하는 개선된 광 도파관 브래그 반사기(an optical waveguide Bragg reflector) 제조 방법에 있어서, 상기 수직 면은 상기 형성된 홈의 25% 이하의 두께를 가지며 상기 코어 물질보다 더 높은 굴절 지수(an index of refraction)를 갖는 물질층으로 선택적으로 코팅되는 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수직 면은 홈이 형성된 표면을 코팅함으로써 선택적으로 코팅되고, 상기 수직면으로 부터 상기 코팅을 선택적으로 제거하는 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 홈이 형성된 표면은 저압력 화학적 증기 침착(low pressure chemical vapor deposition : LPCVD)에 의해 코팅되는 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 물질 층은 상기 형성된 홈 폭의 5%이하의 두께를 갖는 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 코팅 층의 상기 물질은 1.8-2.5의 영역에서 굴절 지수를 갖는 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 코팅 층은 실리콘 질화물(silicon nitride)인 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법.
  7. 제1항, 혹은 2항, 혹은 3항, 혹은 4항, 혹은 5항, 혹은 6항의 프로세스에 의해 제조된 광 도파관 브래그 반사기.
  8. 세로 방향으로 연장하는 언더클래딩 층을 포함하는 기판을 제공하고, 언더클래딩에 대해 수평 및 수직면을 갖는 주기적으로 배열된 홈을 에칭하며, 도파관을 형성하고, 외부 클래딩 층을 인가하는 단계를 포함하는 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법에 있어서, 상기 가로 면은, 상기 형성된 홈 폭의 절반보다 작은 두께를 가지며 코어 물질보다 더 높은 굴절 지수를 갖는 물질 층으로 선택적으로 코팅되는 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 도파관 코어를 형성하기 전에 부가적인 클래딩으로 상기 코팅된 홈을 채우는 단계를 포함하는 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 물질 층은, 상기 형성된 홈 폭의 5%이하의 두께를 가지며 영역 1.8-2.5의 굴절 지수를 갖는 개선된 광 도파관 브래그 반사기 제조 방법.
  11. 제8항, 혹은 9항, 혹은 10항의 프로세스에 의해 제조된 광 도파관 브래그 반사기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
KR1019950028702A 1994-09-09 1995-09-04 광도파관 브래그 반사기 및 광도파관 브래그 반사기 제조방법 KR100384909B1 (ko)

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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU729612B2 (en) * 1996-11-19 2001-02-08 Alcatel Optical waveguide with Bragg grating
KR100211063B1 (ko) * 1996-12-04 1999-07-15 정선종 비선형 박막이 첨가된 격자-도움형 방향성 결합기
US5915051A (en) * 1997-01-21 1999-06-22 Massascusetts Institute Of Technology Wavelength-selective optical add/drop switch
EP1218973A4 (en) * 1999-09-03 2005-11-16 Univ California LASER SOURCE ACCORDABLE OPTICAL MODULATOR INT GR
US6628876B1 (en) * 2000-09-15 2003-09-30 Triquint Technology Holding Co. Method for making a planar waveguide
US6858834B2 (en) * 2000-10-18 2005-02-22 Fibera, Inc. Light wavelength meter
US6795459B2 (en) 2000-10-18 2004-09-21 Fibera, Inc. Light frequency locker
US6705124B2 (en) * 2001-06-04 2004-03-16 Lightwave Microsystems Corporation High-density plasma deposition process for fabricating a top clad for planar lightwave circuit devices
US6782013B2 (en) * 2001-07-25 2004-08-24 Jds Uniphase Corporation Waveguide wavelength locker
US6732550B2 (en) * 2001-09-06 2004-05-11 Lightwave Microsystems, Inc. Method for performing a deep trench etch for a planar lightwave circuit
US6748138B2 (en) * 2001-09-14 2004-06-08 Fibera, Inc. Optical grating fabrication
US6804060B1 (en) 2001-09-28 2004-10-12 Fibera, Inc. Interference filter fabrication
JP4161745B2 (ja) * 2003-03-06 2008-10-08 株式会社デンソー 光学素子およびその製造方法
US7639911B2 (en) * 2005-12-08 2009-12-29 Electronics And Telecommunications Research Institute Optical device having optical waveguide including organic Bragg grating sheet
US10753908B2 (en) * 2017-02-22 2020-08-25 The Hong Kong Polytechnic University Resonator for force detection

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3884549A (en) * 1973-04-30 1975-05-20 Univ California Two demensional distributed feedback devices and lasers
US4464762A (en) * 1982-02-22 1984-08-07 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Monolithically integrated distributed Bragg reflector laser
US4729641A (en) * 1983-06-10 1988-03-08 Canon Kabushiki Kaisha Functional optical element having a non-flat planar interface with variable-index medium
FR2660440B1 (fr) * 1990-04-03 1992-10-16 Commissariat Energie Atomique Composant optique integre protege contre l'environnement et son procede de fabrication.
US5157537A (en) * 1991-02-01 1992-10-20 Yeda Research And Development Co., Ltd. Distributed resonant cavity light beam modulator
US5367588A (en) * 1992-10-29 1994-11-22 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of Communications Method of fabricating Bragg gratings using a silica glass phase grating mask and mask used by same
GB2256477B (en) * 1991-06-07 1995-03-08 Marconi Gec Ltd An optical sensor
US5347533A (en) * 1991-09-17 1994-09-13 Fujitsu Limited Optical semiconductor device, method of producing the optical semiconductor device, and laser device using optical semiconductor devices
US5208882A (en) * 1991-11-14 1993-05-04 Eastman Kodak Company Hybrid thin film optical waveguide structure having a grating coupler and a tapered waveguide film
US5195161A (en) * 1991-12-11 1993-03-16 At&T Bell Laboratories Optical waveguide comprising Bragg grating coupling means
US5309260A (en) * 1992-12-23 1994-05-03 At&T Bell Laboratories Method for forming distributed bragg reflectors in optical media

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US5500916A (en) 1996-03-19
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EP0701150B1 (en) 2003-07-23
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