KR960008333B1 - 갈륨비소 시드 가공용 슬라이싱 머시인의 마운팅블럭 - Google Patents

갈륨비소 시드 가공용 슬라이싱 머시인의 마운팅블럭 Download PDF

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KR960008333B1
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윤현재
이만우
윤정수
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박원근
엘지전선주식회사
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
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Abstract

내용 없음.

Description

갈륨비소 시드 가공용 슬라이싱 머시인의 마운팅블럭
제1도는 종래의 마운팅 블럭의 사시도.
제2도 (a)와 (b)는 본 발명인 마운팅 블럭의 평면도 및 정면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 고정대 2 : 접속부 나사홈
3 : 블록면 10 : 시드용 갈륨비소 인곳
본 발명은 갈륨비소(GaAs) 시드 가공용 슬라이딩 머시인의 마운팅 블럭에 관한 것으로 더욱 상세하게는 단결정 성장시 사용하는 시드를 가공하기 위하여 슬라이싱 머시인에 고정하기 위한 마운팅 블럭에 관한 것이다.
종래에는 갈륨비소(GaAs) 단결정 성장용 시드(Seed)를 가공하기 위해서는 접속부가 한곳에만 있는 마운팅 블럭(12)에 시드용 갈륨비소 인곳(10)을 마운팅 시킨 후 X레이 측정기를 이용하여 정확한 방향을 잡은 후 슬라이싱 하여 시드를 가공한다. 이때 시드용 갈륨비소 인곳(10)의 방향은 (111) 방향으로 그림 1과 같이 고정되어 있으며 시드로 가공하기 위해서는 (110) 방향을 정확히 잡아 슬라이싱 하여야 한다. 이(110)방향은 단결정 인곳마다 다르기 때문에 X-레이로 방위를 측정한 후 각도를 조정하여 주어야 한다. 갈륨비소(GaAs)용 슬라이싱 머시인에는 각도조절용 옵션(Option)이 부착되어 있어 상,하 및 우측으로 7도씩, 좌측으로 54.7도까지 조절할 수 있도록 되어 있다. 시드(Seed)용 갈륨비소 인곳(10)의 경우 윗면과 아랫면이 (11)방향과 일치하도록 가공되어 있기 때문에 상,하 조절각도가 7도 이내 이면 충분하지만 (110)방향은 통상 5도-15도 정도 틀어져 있기 때문에 우측으로 7도 이상 벗어났을 경우 다시 마운팅을 한 후 방향을 찾아야 한다. 또한 시드를 가공하기 위해서는 (110)방향에 수직으로도 가공하여 직육면체 모양으로 만들어야 하기 때문에 이때도 다시 마운팅을 하여야 하므로 마운팅을 하는데 많은 시간을 소비해야 하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기의 문제점을 제거하기 위하여 안출한 것으로, 팔각기둥형상의 마운팅 블록의 각 블록면(3)마다 2개의 접속부 나사홈(2)을 갖도록 제작하여 45도 각도로 마운팅블록을 회전시킬 수 있도록 하여 한번 마운팅한 시드 인곳(110)방향은 어느각도에서나 가공이 가능하도록 한 것이다.
이하, 첨부된 도면에 의하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다.
제2도에서 보는 바와 같이 상단에는 시드용 갈륨비소 인곳(10)을 고정하기 위한 정팔각형 단면의 고정대(1)를 갖고, 직사각형 단면의 각 블록면(3) 마다 슬라이싱 머시인의 지지대와 나사로 연결될 수 있도록 2개의 접속부 나사홈(2)이 형성된 구조로 되어 있으며, 본 발명의 마운팅 블록은 재질이 두랄루민으로 되어 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 작동방법 및 효과를 설명하면 다음과 같다.
본 마운팅블럭을 슬라이싱 머시인의 지지대에 부착시킨후 X-레이를 이용하여 시드용 갈륨비소(GaAs)인 곳(10)의 방위를 측정하여 (110)방위를 찾아 상.하 및 좌.우방향 조절옵션을 이용하여 방향을 맞춘후 다시 X-레이를 갈륨비소인곳(10)에 투사하여 (110) 방향을 확인한다. 정확한 방위로 맞추어진 시드용 갈륨비소인곳(10)을 7mm 간격으로 슬라이싱을 한후 마운팅블럭을 90도 돌려 다시 슬라이싱 머시인의 지지대에 나사로 고정시키면 (110)방향의 수직방향으로 5mm 간격으로 슬라이싱을 하여 시드가공을 완료한다. 이 과정에서 (110)방향이 슬라이싱 머시인의 각도조절용 옵션의 각도 조절한계를 벗어났을 경우 마운팅 블럭의 블록면(13)을 바꾸어 조절하면 어느 각도에서나 시드가공이 가능하다.
이상에서와 같은 본 발명에 의하면 45도 각도로 각 블록면(3)마다 접속부 나사홈(2)이 2개씩 있기 때문에 슬라이싱 머시인의 각도 조절용 옵션을 이용하여 360도 자유자재로 가공이 가능하기 때문에 (110)방향이 어느 방향으로 틀어져 있더라도 가공할 수 있으며 수직방향의 가공도 마운팅블럭을 90도 돌리는 것만으로 가공할 수 있기 때문에 마운팅시간을 상당히 단축시킬 수있는 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 상단에는 시드용 갈륨비소 인곳(10)을 고정하기 위한 정팔각형 단면의 고정대(1)를 갖고, 직사각형 단면의 각블록면(3) 마다 슬라이싱 머시인의 지지대와 나사로 연결될 수 있도록 2개의 접속부 나사홈(2)이 형성된 것을 특징으로 하는 갈륨비소 시드 가공용 슬라이싱 머시인의 마운팅 블럭.
KR1019930001238A 1993-01-30 1993-01-30 갈륨비소 시드 가공용 슬라이싱 머시인의 마운팅블럭 KR960008333B1 (ko)

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