KR960008269A - 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치 - Google Patents

기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다자유도운동을 수행하는 기계시스템에 있어서 기계이송측의 5자유도 운동오차를 측정하는 장치에 괸한 것으로, 종래에는 이송축의 5자유도 운동도차들의 불가능하거나 부분적으로만 가능하였다. 본 발명은 복수의 빔분리기와, 복수의 수광소자, 컴퓨터 및 다양한 입출력장치를 결합구성하여 1회의 세팅으로 수평진직도오차, 수직진직도오차, 롤오차, 피치오차, 요오차의 5자유도 운동오차를 실시간에서 동시에 측정하고 평가할 수 있다.(대표도면:제4도)

Description

기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치에 의하여 측정할 수 있는 5자유도오차를 설명하기 위한 개략도.
제2도는 진직도오차만을 측정할 수 있는 종래의 운동오차 측정장치의 개략도.
제3도는 롤오차만을 측정할 수 있는 종래의 운동오차 측정장치의 개략도.
제4도는 본 발명에 따른 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치를 나타내는 전체시스템의 구성도.
제5도의 (가),(나)는 본 발명에 따른 광학부의 배치를 나타내는 사시도.
제6도는 본 발명에 따른 신호처리부의 구성을 나타내는 회로도.
제7도는 본 발명에 따라 수평진직도오차의 측정결과를 나타내는 그래프.
제8도는 본 발명에 따라 수직진직도오차의 측정결과를 나타내는 그래프.
제9도는 본 발명에 따라 롤오차의 측정결과를 나타내는 그래프.
제10도는 본 발명에 따라 피치오차의 측정결과를 나타내는 그래프.
제11도는 본 발명에 따라 요오차의 측정결과를 나타내는 그래프이다.

Claims (3)

  1. 광원과; 이 광원으로부터 방출되는 빛을 연속적으로 복수의 가닥으로 분리하는 적어도 2이상의 빔분리기들과; 이 빔분리기들로부터 방출되는 복수의 가닥이 빛이 입사되는 적어도 3이상의 수광소자들과; 상기 수광소자들로부터 출력되는 신호들을 처리하여 컴퓨터에 입력시키는 수단과; 모터드라이버를 개재하여 상기 컴퓨터의 작동적으로 접속되어 있는 모터에 의하여 구동되며 상기 수광소자들이 놓여 있는 테이블을 이송시키는 이송축으로 이루어진 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치.
  2. 제1항에 있어서, 수광소자들의 출력신호들을 처리하여 컴퓨터에 입력시키는 수단은 상기 출력신호들을 처리하는 신호처리부와, 이 신호처리부로부터의 출력신호를 변환시키는 아날로그디지탈변환기로 된 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 신호처리기는, 수광소자들의 출력신호인 출력전류를 전압으로 변환시키는 1차 증폭회로와, 1차 증폭회로의 출력전압을 커넥터를 개재하여 적절한 전압으로 증폭시키는 2차 증폭회로와, 2차 증폭회로에 의하여 증폭된 전압신호가 입력되는 멀티플랙서로 된 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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