KR950703730A - 직교형 열질량흐름 센서를 구비하는 열질량흐름 제어기(thermal mass flow controller having orthogonal thermal mass flow sensor) - Google Patents

직교형 열질량흐름 센서를 구비하는 열질량흐름 제어기(thermal mass flow controller having orthogonal thermal mass flow sensor) Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른, 직교형 열질량흐름 센서를 갖는 열질량흐름 계량기를 구비하는 열질량흐름 제어기는 계량할 유체흐름을 이송하기 위한 주 유체흐름 경로가 내부에 형성되어 있는 베이스를 구비하고 있다. 주 유체흐름 경로내에는 압력강하용 우회부재가 배치되어 있다. 주 유체흐름 경로와는 열질량흐름 센서의 흐름계량부가 연통하는데, 이 흐름계량부는 주 유체흐름 경로에 대해 대체로 횡으로 또는 직교하는 배향으로 배향되어 있다. 흐름계량부는 센서의 온도를 결정하기 위한 전기적인 브리지 부분을 포함하며 그에 응답하여 질량흐름을 신호를 발생시킨다. 주 흐름경로의 출구에는 질량 흐름을 신호에 응답하여 유체흐름을 제어할 수 있도록 벨브가 연결되어 있다.

Description

직교형 열질량흐름 센서를 구비하는 열질량흐름 제어기(THERMAL MASS FLOW CONTROLLER HAVING ORTHOGONAL THERMAL MASS FLOW SENSOR)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 센서부와 정상시 개방되는 밸브를 갖는 밸브부를 포함하는 직교형 열질량흐름 제어기와, 센서부 및 밸브에 대한 연결을 위한 전자패키지를 구비하는 열질량흐름 제어기의 사시도,
제2도는 센서부의 베이스를 통해 주 유체흐름 경로에 대항 열질량흐름 센서의 배향을 구체적으로 도시하도록 부분적으로 절개된, 제1도의 열질량흐름 제어기의 입면도,
제3도는 제2도의 선3-3의 단면도,
제4도는 제3도의 선4-4의 단면도.

Claims (7)

  1. 가스의 흐름을 제어하기 위한 열질량흐름 제어기에 있어서, 가스의 흐름을 수용하도록 작용하여 내부에 주 가스흐름경로가 형성되어 있으며, 상기 가스의 흐름을 수용하는 베이스입구, 상기 주 가스흐름경로내에 위치되어 주 가스흐름경로의 입구부와 출구부를 구분시키는 압력강하 우회부재, 그리고 상기 가스흐름을 수용하도록 상기 주 가스흐름경로의 출구부와 연통하는 베이스출구를 포함하는 베이스와, 상기 가스흐름의 센서부분을 수용하도록 상기 베이스의 주 가스흐름경로의 입구부와 연통하는 센서입구와, 상기 베이스의 주 가스흐름경로에 대해 대체로 횡으로 배향되고 상기 센서입구로 부터 상기 가스흐름의 센서부분을 수용할 수 있도록 센서입구와 연통하는 센서흐름계량부와, 상기 센서흐름계량부와 결합되어 그 센서흐름계량부에 응답하여 흐름신호를 발생시키는 온도감응 부재와, 상기 센서흐름계량부로 부터 상기 가스흐름의 센서부분을 수용하도록 상기 센서흐름계량부와 연통하고, 상기 베이스의 주 흐름경로의 출구부와 연통하는 센서출구와, 상기 흐름신호에 응답하여 상기 주 가스흐름경로를 통과하는 가스흐름을 계량하도록 상기 주 가스흐름경로와 연통할 수 있게 상기 베이스에 연결된 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 열질량흐름 제어기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 센서입구는 상기 센서흐름계량부와 일체로 형성되어 있으며, 상기 센서출구는 상기 센서흐름계량부와 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 열질량흐름 제어기.
  3. 제2항에 있어서, 상기 센서흐름계량부는 센서튜브로 구성되는 것을 특징으로 하는 열질량흐름 제어기.
  4. 가스 또는 증기의 흐름율을 계량하기 위한 열질량흐름 계량기에 있어서, 질량흐름율이 측정될 가스흐름을 수용하기 위한 입구와 가스흐름을 수용하도록 상기 입구에 연결된 주 가스흐름경로와, 흐르는 가스에 압력강하를 제공하도록 상기 입구와 연동하고 우회방향으로 연장되는 우히부재와, 상기 주 가스흐름경로의 상류측에 연결된 센서튜브, 상기 주 가스흐름 경로의 하류측에 연걸된 상기 센서튜브의 제2부분, 그리고 상기 주 가스흐름경로에 대해 대체로 횡으로 연장되는 센서튜브의 부분과 양호한 열적 연경을 이루는 열적 응답수단을 포함하는 열질량흐름 센서와, 상기 가스흐름을 수용하도록 상기 주 가스흐름계로에 연계된 출구를 구비하는 것을 특징으로 하는 열질량흐름 계량기.
  5. 가스 또는 증기의 흐름율을 계량하기 위한 열질량흐름 계량기에 있어서, 질량흐름율이 측정될 가스흐름을 수용하기 위한 입구와, 흐르는 가스에 압력강하를 제공하도록 상기 입구와 연동하고, 우회방향으로 연장되는 우회부재와, 상기 우회부재의 상류측에 센서튜브, 상기 우회부재의 하류측에 연결된 상기 센서튜부의 제2부분, 그리고 상기 우회배향에 대해 대체로 횡으로 연장되는 센서튜브의 부분과 양호한 열적 연결을 이루는 열적 응답 수단을 포함하는 열센서와, 상기 가스흐름을 수용하도록 상기 우회부재에 연결되고 상기 센서로부터의 센싱흐름을 나타내는 신호를 수신하도록 밸브에 연결되어 밸브를 통한 흐름율을 제어하는 출구를 구비하는 것을 특징으로 하는 열질량흐름 계량기.
  6. 가스의 흐름을 제어하는 질량흐름 제어기에 있어서, 질량흐름율이 측정될 가스흐름을 수용하기 위한 입구와 흐르는 가스에 압력강하를 제공하도록 상기 입구와 연동하고, 우회방향으로 연장되는 우회부재와, 상기 우회부재의 상류측에 연계된 튜브, 상기 우회부개의 하류측에 연결된 상기 튜브의 제2부분, 그리고 상기 우회방향에 대해 대체로 횡으로 연장되는 튜브의 부분과 양호한 열적 연결을 이루는 혈적 응답수단을 포함하는 열센서와, 상기 가스흐름을 수응하도록 상기 우회부재에 연결된 출구를 구비하는 것을 특징으로 하는 열질량흐름 계량기.
  7. 가스의 흐름을 제어하는 질량흐름 제어기에 있어서, 질량흐름율이 측정될 가스흐름을 수용하기 위한 입구와, 흐르는 가스에 압력강하를 제공하도록 상기 입구와 연동하고, 우회방향으로 연장되는 우회부재와, 상기 우회부재의 상류측에 연결된 튜브, 상기 우회부재의 하류측에 연결된 상기 튜브의 제2부분, 그리고 상기 우희방향에 대해 대체로 횡으로 연장되는 튜브의 부분과 양호한 열적 연결을 이루는 열적 응답수단을 포함하는 열센서와, 상기 가스흐름을 수응하도록 상기 우회부재에 연결되고 상기 센서로부터의 센싱흐름을 나타내는 신호를 수신하도록 밸브에 연결되어, 밸브를 통한 흐름율을 제어하는 출구를 구비하는 것을 특징으로 하는 열질량흐름 계량기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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