KR950034508A

KR950034508A - 기판의 열처리장치

Info

Publication number: KR950034508A
Application number: KR1019950009222A
Authority: KR
Inventors: 도시히로 나카지마; 다카도시 치바; 기요후미 니시이; 도오루 사토
Original assignee: 이시다 아키라; 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Priority date: 1994-05-30
Filing date: 1995-04-19
Publication date: 1995-12-28
Also published as: US5611685A; JPH07326588A; JP3073886B2; KR0157706B1

Abstract

기판의 열처리장치는 전체가 편평한 형상이고, 내부에 기판이 수용되는 공간을 가지는 열처리노를 갖는다. 열처리노는 일측 단면측에 가스공급부를 가지고, 타측 단면에 공간이 외부로 연이어 통하는 개구와 개구의 근방에 배치된 공간내에서 가스를 배출하기 위한 가스배출부를 갖는다. 열처리노는 또 개구를 개폐 가능하게 폐쇄하는 뚜껑을 갖는다. 가스배출부에는 타측의 측단면상에 개구에 따라서, 또 개구와 칸막이 벽을 떨어지게 해서 배기실이 형성되어 있다. 배기실에는 외부와 연이어 통하는 배기구가 형성된다. 칸막이 벽의 선단이 뚜껑의 내측면에서 떨어지도록 칸막이 벽이 형성되어 있다. 그것에 의해 개구를 폐쇄한 경우 뚜껑과 칸막이 벽의 사이에 공간의 폭방향으로 연장하는 슬리트 형상의 통기로가 형성된다. 기판의 열처리노에서 기판의 반입/반출의 경우도, 열처리중도, 통기로의 근방에서는 가스의 흐름은 동일하게 되고, 외기가 노내로 침입하는 것도, 처리가스의 막임이 노내에 생기는 것도 없다.

Description

기판의 열처리장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제6도는 본 원 발명의 제1 실시예인 램프 어리장치의 주요부를 나타내고, 그 측면에서 본 종단면도, 제7도는 제6도에 도시한 장치의 부설부가 설치된 측의 단부를 확대해서 나타내는, 측면에서 본 종단면도.

Claims

적어도 2개의 측단면을 가지고, 전체가 편평한 형상이며, 내부에 기판이 수용되는 공간을 가지는 열처리노(爐)를 구비는 기판의 열처리장치에서, 상기 열처리 노는, 상기 2개의 측단면의 일측에 상기 공간내로 가스를 공급하는 가스공급부와, 또 상기 2개 측단면의 타측에 상기 공간이 외부로 연통하는 개구와, 상기 개구 근방에 배치되어 상기 공간내부로부터 가스를 배출하기 위한 가스 배출부 및 상기 개구를 개폐 가능하게 폐쇄하는 뚜껑을 가지며, 상기 가스배출부에는 상기 타측의 측단면 상에서 상기 개구에 따라서, 또 상기 개구와는 칸막이 벽을 사이에 두고 배기실이 형성되어 있고. 상기 배기실에는 외부와 연이어 통하는 배기구가 형성되며, 상기 칸막이 벽의 선단의 적어도 일부가 상기 타측의 측단면보다도 상기 일측의 측단면에 위치하도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있고, 이것에 의해서 상기 개구를 폐쇄한 경우 상기 뚜껑의 내측면과 상기 칸막이 벽의 선단 사이에 상기 공간의 폭방향으로 연장하는 통기로가 형성되게 한 기판의 열처리장치.
제1항에 있어서, 상기 칸막이 벽의 선단이, 상기 공간 폭의 거의 전체에 걸쳐 상기 타측의 측단면보다도 상기 일측의 측단면 측에 위치하도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있고, 이것에 의해 상기 개구를 폐쇄한 경우 상기 뚜껑의 내측면과 상기 칸막이 벽의 선단 사이에 상기 공간 폭의 거의 전체에 걸치는 길이를 가지는 연속한 통기로가 형성되게 한 기판의 열처리장치.
제2항에 있어서, 상기 칸막이 벽의 선단이, 상기 공간 폭의 거의 전체에 걸쳐 상기 타측의 측단면보다도 상기 일측의 측단면 측에 소정의 길이만큼 가까운 위치에 위치하도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있고, 이것에 의해 상기 개구를 폐쇄한 경우 상기 뚜껑의 내측면과 상기 칸막이 벽의 선단 사이에 상기 공간 폭의 거의 전체에 걸치는 길이를 가지며, 또 일정의 폭을 가지는 연속한 통기로가 형성되게 한 기판의 열처리장치.
제1항에 있어서, 상기 칸막이 벽의 선단이, 상기 공간폭의 복수개 개소에서 상기 타측의 측단면보다도 상기 일측의 측단면 측에 위치하고, 또 다른 개소에서는 상기 타측의 측단면과 면이 일치하게 되도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있고 이것에 의해, 상기 개구를 폐쇄한 경우 상기 뚜껑의 내측면과 상기 칸막이 벽의 선단 사이에 상기 공간 폭방향으로 배치된 복수개의 통기로가 형성되게 한 기판의 열처리장치.
제4항에 있어서, 상기 복수개의 통기로가 상기 공간 폭 방향으로 거의 전체에 걸쳐 거의 등간격으로 배치되도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있게 한 기판의 열처리장치.
제5항에 있어서, 상기 열처리 노의 상기 개구를 폐쇄한 경우 상기 뚜껑의 내측면과 상기 칸막이 벽의 선단 사이에 형성되는 상기 복수개의 통기로 각각이 거의 일정한 폭을 가지는 슬리트 형상이 되도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있게 한 기판의 열처리장치.
제6항에 있어서, 상기 복수개의 통기로가 동일 형상을 가지도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있게 한 기판의 열처리장치.
제5항에 있어서, 상기 복수개의 통기로가 동일 형상을 가지도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있게 한 기판의 열처리장치.
제1항에 있어서, 상기 열처리 노가, 상기 일측의 측단면 측에 상기 가스공급부를 가지며, 또 상기 타측의 측단면 측에 개구하는 상기 공간을 규정하는 열처리 노본체와, 상기 열처리 노본체의 상기 개구를 가지는 단면에 부착되는 부설부(付設部)를 포함하고, 상기 부설부는 상기 공간과 연이어 통함과 동시에 상기 열처리 노의 상기 개구를 형성하는 전실(前室)을 가지며, 상기 가스배출부가 상기 부설부에 설치되어 있게 한 기판의 열처리장치.
제9항에 있어서, 상기 칸막이 벽의 선단이, 상기 공간 폭의 거의 전체에 걸쳐서 상기 타측의 측단면보다도 상기 일측의 측단면측에 위치하도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있고, 이것에 의해 상기 개구를 폐쇄한 경우 상기 뚜껑의 내측면과 상기 칸막이 벽의 선단 사이에 상기 공간 폭의 거의 전체에 걸친 길이를 가지는 연속한 통기로가 형성되게 한 기판의 열처리장치.
제10항에 있어서, 상기 칸막이 벽의 선단이, 상기 공간폭의 거의 전체에 걸쳐 상기 타측의 측단면보다도 상기 일측의 측단면측에 소정의 일정 길이 만큼 가까운 위치에 위치하도록 상기 칸막이 벽이 형성되어있고 이것에 의해 상기 개구를 폐쇄한 경우 상기 뚜껑의 내측면과 상기 칸막이벽의 선단 사이에 상기 공간폭의 거의 전체에 걸친 길이를 가지며, 또 일정의 폭을 가지는 연속한 통기로가 형성되게 한 기판의 열처리장치.
제9항에 있어서, 상기 칸막이 벽의 선단이, 상기 공간 폭의 복수 개소에서 상기 타측의 측단면보다도 상기 일측의 측단면 측에 위치하고, 또 다른 개소에서는 상기 다른쪽 측의 측단면과 면이 일치하도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있으며, 이것에 의해 상기 개구를 폐쇄한 경우 상기 뚜껑의 내측면과 상기 칸막이 벽의 선단 사이에 상기 공간 폭방향으로 배치된 복수개의 통기로가 형성되게 한 기판의 열처리장치.
제12항에 있어서, 상기 복수개의 통기로가 상기 공간 폭방향의 거의 전체에 걸쳐 거의 등간격으로 배치되도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있게 한 기판의 열처리장치.
제13항에 있어서, 상기 열처리노의 상기 개구를 폐쇄한 경우 상기 뚜껑의 내측면과, 상기 칸막이 벽의 선단 사이에 형성되는 상기 복수개의 통기로 각각이 거의 일정한 폭을 가지는 슬리트 형상이 되도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있게 한 기판의 열처리장치.
제14항에 있어서, 상기 복수개의 통기로가 동일 형상을 갖도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있게 한 기판의 열처리장치.
제13항에 있어서, 상기 복수개의 통기로서 동일 형상을 갖도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있게 한 기판의 열처리장치.
적어도 2개의 측단면을 가지고, 전체가 편평한 형상이며, 내부에 기판이 수용되는 공간을 가지는 열처리노를 구비하는 기판의 열처리 장치에서, 상기 열처리 노는 상기 2개의 측단면의 일측에 상기 공간내로 가스를 공급하는 가스공급부를 가지고, 또 상기 2개의 측단면의 타측에서 상기 공간이 외부로 연통하는 개구와 상기 개구근방에 배치된 상기 공간내에서 가스를 배출하기 위한 가스배출부를 가지며, 또 상기 열처리 노는 상기 개구를 개폐 가능하게 폐쇄하는 뚜껑을 가지고, 상기 공간은 상기 타측의 측단면에서 다른 부분의 높이보다도 큰 높이가 되도록 상기 타측의 측단면의 부근에 형성된 단차부면을 가지며, 상기 단차부면에는 외부와 연통하는 배기구가 형성되고, 상기 가스배출부는 상기 단차부면의 단차에 따라서 상기 공간폭의 전체에 걸쳐, 또는 상기 타측의 측단면으로 향해 형성된 칸막이 벽을 포함하고, 상기 칸막이 벽의 선단의 적어도 일부가 상기 타측의 측단면보다도 상기 일측의 측단면측에 위치하도록 상기 칸막이 벽이 형성되어 있고, 이것에 의해 상기 개구를 폐쇄한 경우 상기 뚜껑의 내측면과 상기 칸막이 벽의 선단 사이에 상기 공간 폭방향으로 연장하는 통기로가 형성되게 한 기판의 열처리장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.