KR950032733A - 동위원소적으로 순수한 개선된 화학 증착(dvd)다이아몬드 - Google Patents

동위원소적으로 순수한 개선된 화학 증착(dvd)다이아몬드 Download PDF

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리차드 안토니 토마스
얼 윌리엄스 브래들리
Original Assignee
제이 엘. 채스킨
제네랄 일렉트릭 캄파니
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Abstract

본 발명은 약 20W/cm-K 보다 큰 열전도율을 갖는 100 마이크론 이상의 광학적으로 투명한 CVD 필름을 제조하는 방법에 관한 것이며, 상기 방법에서는 약 50 마이크론보다 큰 두께를 가지는 다이아몬드 필름을 증착시키기에 충분한 시간동안 수소 및 단일 동위원소가 풍부한 탄소원을 포함하는 기상 혼합물을 기재상으로 통과시킨다.

Description

동위원소적으로 순수한 개선된 화학 증착(CVD)다이아몬드
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (10)

  1. 두께가 약 50 마이크론보다 큰 다이아몬드 필름을 증착시키기에 충분한 시간동안 수소, 탄소, 및 기타 부가적인 종류를 포함하는 기상 혼합물을 기재상으로 통과시키고 상기 필름을 상기 기재로부터 제거하는 것을 포함하며, 이때 상기 탄소원이 단일 동위원소가 풍부한 탄소로 이루어져 있고, 상기 필름이 50 마이크론 이상의 두께를 가질 때까지 계속 진행되는, 두께가 50 마이크론 이상이고 약 20W/cm-K 보다 큰 열전도율을 갖는 광학적으로 투명한 CVD 필름을 제조하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 불포화 탄소를 포화시키고 상기 필름에 투명성을 부여하기에 적당한 수소의 용적비의 상기 혼합물중 수소와 탄소의 총용적을 기준으로 하여 적합한 수소의 용적% 및 적합한 기재 온도를 유지하는 것을 포함하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 탄소원이 C12또는 C13중 하나의 동위원소가 풍부한 메탄으로 이루어진 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 기상의 혼합물이 수소, 산소, 및 단일 동위원소가 풍부한 탄소원을 포함하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 기재가 상기 증착 동안 약 600 내지 약 1,100℃의 온도를 가지는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 필름이 500 마이크론 이상의 두께를 가질 때까지 계속 증착시키는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 마이크로파에 의해 에너지가 가해진 플라즈마로부터 시간당 약 0.5 내지 약 5 마이크론의 속도로 증착하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 고온 필라멘트에 의해 에너지가 가해진 기체로부터 시간당 약 0.5 내지 5 마이크혼의 속도로 증착하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 증착동안 형성된 상기 다이아몬드 결정이 네 방향으로 결합된 탄소 원자를 50%이상 포함하는 방법.
  10. 제1항에 있어서, 다이아몬드 입자 경계에서 탄소원자를 실질적으로 포화시키는 것을 포함하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950008237A 1994-04-20 1995-04-10 동위원소적으로 순수한 개선된 화학 증착(dvd)다이아몬드 KR950032733A (ko)

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