KR950015682A - 아우터리드본딩장치 - Google Patents

아우터리드본딩장치 Download PDF

Info

Publication number
KR950015682A
KR950015682A KR1019940029862A KR19940029862A KR950015682A KR 950015682 A KR950015682 A KR 950015682A KR 1019940029862 A KR1019940029862 A KR 1019940029862A KR 19940029862 A KR19940029862 A KR 19940029862A KR 950015682 A KR950015682 A KR 950015682A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mounting
cover
punching
chip
substrate
Prior art date
Application number
KR1019940029862A
Other languages
English (en)
Other versions
KR0172189B1 (ko
Inventor
야스토 오니쯔카
Original Assignee
모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 모리시타 요이찌, 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤 filed Critical 모리시타 요이찌
Publication of KR950015682A publication Critical patent/KR950015682A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0172189B1 publication Critical patent/KR0172189B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67144Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/60Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49121Beam lead frame or beam lead device
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49204Contact or terminal manufacturing
    • Y10T29/49208Contact or terminal manufacturing by assembling plural parts
    • Y10T29/49222Contact or terminal manufacturing by assembling plural parts forming array of contacts or terminals
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/51Plural diverse manufacturing apparatus including means for metal shaping or assembling
    • Y10T29/5193Electrical connector or terminal

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

본 발명에 의한 아우터리드본딩장치는, 필름 캐리어테이프로부터 칩을 분리해내는 펀칭수단과, 펀칭된 TAB칩을 기판상에 장착하는 장착수단과, 상기 펀칭수단을 포위하는 제1 덮개수단과, 상기 펀칭수단을 포위하는 제2 덮개수단과, 외부보다 압력이 높은 공기를 상기 제1 덮개수단의 내부 공간에 공급하는 가압수단과, 상기 제2 덮개수단의 내부의 공기를 배기하는 배기수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
이러한 본 발명에 의한 아우터리드 본딩장치에 의하면, 가압수단으로부터 공기를 공급함과 동시에, 펀칭수단에 의해 오염된 공기를 배기수단에 의해 배기함으로써 장착수단주위의 분위기를 항상 청정하게 유지할 수 있으므로, 생산품도 외부분위기도 오염시키지 않게 된다.

Description

아우터리드본딩장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 및
제2도는 본 발명의 아우터리드본딩장치의 사시도.

Claims (7)

  1. 필름캐리어테이프로부터 칩을 분리해내는 펀칭수단과, TAB칩을 기판상에 장착하는 장착수단과, 상기 펀칭수단을 포위하는 덮개수단과, 상기 덮개수단의 내부공간으로부터의 공기를 배기하는 배기수단을 구비한 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 장착수단은, TAB칩을 상기 덮개수단의 외부로 인출하는 인출수단과, 인출된 TAB칩을 기판상에 이송하는 이송수단과, 이송된 TAB칩을 기판상에 압착하는 압착수단을 구비한 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 장착수단은, 상기 펀칭수단의 하부다이를 상기 덮개수단의 안쪽과 바깥쪽 사이에 있어서 왕복 이동시키는 이동수단과, 상기 덮개수단의 바깥쪽에서, 해당 덮개수단의 안쪽에서부터 바깥쪽으로 이동되는 상기 펀칭수단의 하부다이에 있는 TAB칩을 이송하는 이송수단과, 이송된 TAB칩을 기판상에 압착하는 압착수단을 구비한 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치.
  4. 필름캐리어테이프로부터 칩을 분리해내는 펀칭수단과, 펀칭된 TAB칩을 기판상에 장착하는 장착수단과, 상기 장착수단을 포위하는 제1 덮개수단과, 상기 펀칭수단을 포위하는 제2 덮개수단과, 상기 제2 덮개수단의 내부의 공기를 배기하는 배기수단을 구비한 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 장착수단은, TAB칩을 상기 제 1덮개수단의 내부공간으로부터 상기 제2 덮개 수단의 내부공간으로 인출하는 인출수단과, 인출된 TAB칩을 기판상에 이송하는 이송수단과, 이송된 TAB칩을 기판상에 압착하는 압착수단을 구비한 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 장착수단은, 상기 펀칭수단의 하부다이를 상기 제1 및 제2 덮개수단의 내부공간사이에 있어서 왕복이동시키는 이동수단과, 상기 제2 덮개수단의 안쪽에서, 상기 제1 덮개수단의 안쪽으로부터 상기 제2 덮개수단의 안쪽으로 이동되는 상기 펀칭수단의 하부다이에 있는 TAB칩을 이송하는 이송수단과, 이송된 TAB칩을 기판상에 압착하는 압착수단을 구비한 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치.
  7. 필름 캐리어테이프로부터 칩을 분리해내는 펀칭수단과, 펀칭된 TAB칩을 기판상에 장착하는 장착수단과, 상기 장착수단을 포위하는 제1 덮개수단과, 상기 펀칭수단을 포위하는 제2 덮개수단과, 외부보다 압력이 높은 공기를 상기 제1 덮개수단의 내부공간에 공급하는 가압수단과, 상기 제2 덮개수단의 내부의 공기를 배기하는 배기수단을 구비한 것을 특징으로 하는 아우터리드본딩장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940029862A 1993-11-17 1994-11-15 아우터리드본딩장치 KR0172189B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP93-288024 1993-11-17
JP05288024A JP3132269B2 (ja) 1993-11-17 1993-11-17 アウターリードボンディング装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR950015682A true KR950015682A (ko) 1995-06-17
KR0172189B1 KR0172189B1 (ko) 1999-03-30

Family

ID=17724833

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019940029862A KR0172189B1 (ko) 1993-11-17 1994-11-15 아우터리드본딩장치

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5513792A (ko)
JP (1) JP3132269B2 (ko)
KR (1) KR0172189B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101315727B1 (ko) * 2011-11-09 2013-10-08 주식회사 루셈 반도체 칩 패키징 공정에 사용되는 시린지 노즐 폐색장치

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3079501B2 (ja) * 1995-06-26 2000-08-21 株式会社新川 ダイ突き上げ装置の調整装置
US5699602A (en) * 1996-07-05 1997-12-23 Smooth Ocean Enterprise Co., Ltd. Apparatus for adusting position of a machining unit on a chip carrier maker
US6068174A (en) 1996-12-13 2000-05-30 Micro)N Technology, Inc. Device and method for clamping and wire-bonding the leads of a lead frame one set at a time
JP3534583B2 (ja) 1997-01-07 2004-06-07 株式会社ルネサステクノロジ 半導体集積回路装置の製造方法
US6057174A (en) * 1998-01-07 2000-05-02 Seiko Epson Corporation Semiconductor device, method of fabricating the same, and electronic apparatus
KR100519969B1 (ko) * 1998-11-06 2005-11-25 삼성전자주식회사 다이/와이어 본딩 장치
JP2001244279A (ja) * 2000-02-25 2001-09-07 Nec Niigata Ltd 基板の供給方法、基板供給装置、チップ供給装置およびチップ実装装置
US7089984B2 (en) * 2002-09-30 2006-08-15 Intel Corporation Forming folded-stack packaged device using progressive folding tool
TWI413198B (zh) * 2010-12-21 2013-10-21 Powertech Technology Inc 打線接合設備及打線接合方法
JP6301565B1 (ja) * 2016-01-29 2018-03-28 イエーノプティーク オプティカル システムズ ゲーエムベーハー マイクロチップをウェーハーから切り離して該マイクロチップを基板上に装着する方法および装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3696985A (en) * 1969-12-31 1972-10-10 Western Electric Co Methods of and apparatus for aligning and bonding workpieces
JPH067542B2 (ja) * 1984-11-22 1994-01-26 株式会社日立製作所 製造装置
US4944850A (en) * 1989-12-18 1990-07-31 Hewlett-Packard Company Tape automated bonded (tab) circuit and method for making the same
US5065504A (en) * 1990-11-05 1991-11-19 Microelectronics And Computer Technology Corporation Method of forming flexible metal leads on integrated circuits
US5351876A (en) * 1994-01-04 1994-10-04 Texas Instruments Incorporated Apparatus and method for flip-clip bonding

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101315727B1 (ko) * 2011-11-09 2013-10-08 주식회사 루셈 반도체 칩 패키징 공정에 사용되는 시린지 노즐 폐색장치

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07142540A (ja) 1995-06-02
KR0172189B1 (ko) 1999-03-30
US5513792A (en) 1996-05-07
JP3132269B2 (ja) 2001-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR950015682A (ko) 아우터리드본딩장치
KR960030356A (ko) 웨이퍼로부터 다이를 절단하여 분리시키는 방법 및 장치
KR920010784A (ko) 웨이퍼 접착장치 및 웨이퍼 접착방법
EP1420298A3 (en) Immersion lithographic apparatus and device manufacturing method
TW327250B (en) Wafer dicing/bonding sheet and process for producing semiconductor device
EP0901154A3 (en) Method and system for mounting semiconductor device, semiconductor device separating system, and method for fabricating IC card
UA84132C2 (ru) способ и устройство для упаковки
KR920018878A (ko) 가요성 박막 반도체 패키지
JP2009096523A (ja) 電子部品の搬送フレームおよび電子部品の製造方法
CN102668019A (zh) 用于从供给台拾取平面对象的工具
KR880006007A (ko) 박판의 눌림자국 제거용 공구와 제거방법
JPH0629370A (ja) 半導体ウェーハ転送装置
JP2534196B2 (ja) ウエ−ハ貼付方法
CA2172306A1 (en) Bonding apparatus for cutting label continuum having labels formed thereon and bonding label to object
WO2002038855A3 (en) Environmentally-friendly textile conveyor for printers
ES2190046T3 (es) Dispositivo transportador y metodo para transportar bolsas.
TW200520136A (en) Adhesive sheet for processing semiconductors and method for processing semiconductors
MY110958A (en) A lead frame taping machine
TW354282B (en) Adjustment part and press containing the same the invention relates to an adjustment part of the press to allow microfinish of sealed surface
EP0905571A3 (en) Apparatus for advancing substrates
JP2000084898A (ja) テーピング装置及びテーピング方法
FR2795199B1 (fr) Dispositif et procede de fabrication de dispositifs comprenant au moins une puce montee sur un support
KR910008817A (ko) 이너리이드 본딩장치
JP2001223186A (ja) 転写テープマウント装置および転写テープマウント方法
WO2000042636A3 (en) Micromachined device and method of forming the micromachined device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20091009

Year of fee payment: 12

LAPS Lapse due to unpaid annual fee