KR950012668A - 반도체 디바이스 자동 수납장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 다수의 자동수납장치와 리테스트 카테고리를 위한 수동수납 장치를 까지고, 검사나 소트공정을 글낸 반도체디바이스를 집어서 자동 또는 수동 수납장치의 트레이에 올려 놓는 로봇 아암을 포함하여 이루 어지는 반도체 디바이스 자동 수납장치로서, 빈트레이 탑재장치와, 반도체 디바이스 수납용 트레이의 방향 전환을 로테이터와, 자동수납장치 두 세트 사이에 하나의 로테이터를 설치하고. 빈트레이 탑재장치 두세트 사이에 수동수납장치와 로테이터 하나를 설치하고, 빈트레이 탑재장치와 수동수납장치에는 트레이를 밀어주 기 위한 트레이푸썬를 설티하고, 빈트레이 탑재장치, 수동수납장치, 자동수납장치, 및 로테이터 상호간에 트레이를 이송하기 위한 다수의 팬벨트장치를 설치하여서 된 것이다.

Description

반도체 디바이스 자동 수납장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 반도체 디바이스 자동 수납장치의 일실시예를 개략적으로 보인 평면도,

제2도는 본 발명의 자동 수납장치를 개략적으로 보인 측 단면도,

제3도는 본 발명의 로테이트 및 스톱퍼를 개략적으로 보인 측 단면도,

제4도는 본 발명의 빈 트레이 푸셔를 개략적으로 보인 측 단면도

Claims (8)

1. 다수의 자동수납장치와 리테스트 카테고리를 위한 수동수납장치를 까지고, 검사나 소트공정을 끝낸 반도체디바이스를 집어서 자동 또는 수동 수납장치의 트레이에 올려 놓는 로봇 아암을 포함하여 이루어지는 반도체 디바이스 자동 수납장치에 있어서, 빈트레이 탑재장치와, 반도테 디바이스 수납용 트레이의 방향전환용 로테이터와, 자동수납장치 두 세트 사이에 하나의 로테이터를 설치하고, 빈트레이 탑재장치 두세트 사이에 수동수납장치와 로테이터 하나를 설치하고, 빈트레이 탑재장치와 수동수납장치에는 트레이를 밀어주기 위한 트레이 푸셔를 설치하고, 빈트레이 탑재장치, 수동수납장치. 자동수납장치, 및 로테이터 상호간에 트레이를 이송하기 위한 다수의 팬벨트장치를 설치하여서 된 반도체 디바이스 자동 수납장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 트레이 방향 전환용 로테이터에는 트레이 이송정지용 트레이 고정 스톱퍼가 각각 설치되는 반도체 디바이스 자동 수납장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 트레이 방향 전환용 로테이터에는 에어 실린더 및 펄스스텝모터에 의해 반송용 트레이가 올려 놓아진 트레이 로테이터 테이블이 상하 및 좌우로 움직일 수 있게 구성되고, 반송트레이 고정용스톱터 E는 자동자가 에어실린더에 의하여 상호로 움직이게 되어 있는 반도체 디바이스 자동 수납장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 팬벨트장치는, 팬벨트가 구동축 및 안내로라에 의하여 움직이게 되어 있고, 이구동축에는 스텝모터가 연결되어서 구동력을 발생하며, 이 팬벨트와는 직각방향으로 또 하나의 팬벨트가 설치 된 것이 특징인 반도체 디바이스 자동 수납장치.
5. 제2항에 있어서, 상기 트레이 고정 스톱퍼는 에어 실린더에 의하여 개폐되는 것이 특징인 반도체 디바이스 자동 수납장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 빈트레이 탑재장치는 전기스텝모터에 의하여 스크류축이 상하로 움직이고, 이스크류축에 연결된 테이블상에 탑재된 최상단 트레이가 최상단위치를 포착하는 센서의 신호에 따라 상승 또는 하강하도록 구성되어 있는 것이 특징인 반도체 디바이스 자동 수납장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 트레이 푸셔는 고정대에 고정된 에어실린더의 팔이 트레이를 일어서 팬벨트에 연결시켜 트레이가 이송되도록 구성된 것이 특징인 반도체 디바이스 자동 수납장치.
8. 다수의 자동수납장치와 리테스트 카테고리를 위한 수동수납장치를 까지고, 검사나 소트공정을 끝낸 반도체디바이스를 집어서 자동 또는 수돈 수납장치의 트레이에 올려놓는 로봇 아암을 포함하여 이루어지는 반도체 디바이스 자동 수납장치로서, 빈트레이 탑재장치와, 반도체 디바이스 수납용 트레이의 방향전환용 로 테이터와, 자동수납장치 두 세트 사이에 하나의 로테이터를 설치하고, 빈트레이 탑재장치 두세트 사이에 수동수납장치와 로테이터 하나를 설치하고, 빈트레이 탑재장치와 수동수납장치에는 트레이를 밀어주기 위한 트레이푸셔를 설치하고, 빈트레이 탑재장치, 수동수납장치. 자동수납장치, 및 로테이터 상호간에 트레이를 이송하기 위한 다수의 팬벨트장치를 설치하고, 트레이 방향 전환용 로테이터에는 트레이 이송정지용 트레이 고정 스톱퍼가 각각 설치되어 있는 반도체 디바이스 자동 수납장치를 이용하여 트레이에 반도체 디바이스를 자동적으로 수납하는 방법에 있어서, 1) 빈 트레이 탑재장치 (B)에 여러장 겹쳐 탑재된 트레이는 센서 (Hl,H2)에 의해서 검출되고, 최상단의 트레이가 센서 포인트에 위치할 때까지 에어 실린더에 의해 하강하도록하여 빈 트레이 탑재장치(B)에 비어있는 트레이를 탑재하고, 2) 트레이푸셔에 의하여 수동수납장치(C)에 빈 트레이 1매를 장착하고, 3) 수평 핸들러를 가동시키고, 4) 상기 "1) 단계"에서 탑재된 최상단의 빈 트레이를 빈트레이 푸셔가 앞으로 밀어주고 동시에 수동수납장치 C와 빈트레이 탑재장치 사이에 있는 트레이반송용 팬벨트 G가 구동을 구동시켜 밀려오는 빈 트레이를 수동수납장치 하단으로 반송하고, 5) 수동수납 장치 하단에 위치한 트레이 조저용 스톱퍼가 동작되면서 반송된 빈트레이를 멈추게 하고, 6) 수동수납장치 하단의 트레이 방향 전환용 로테이터가 상승하고나서 90°방향을 전환하고, 7) 방향전환 후 상승했던 로테이터가 원 위치로 하강하고, 8) 트레이 푸셔 13가 빈트레이를 앞으로 밀어주고. 9) 동시에 중앙부의 트레 이 반송용 팬벨트가 구동을 시작하고, 10)상기 구동과 함께 빈 트레이는 앞으로 반송되고, 11) 트레이 조정용 스톱퍼(El)은 항상 온(ON : ↑방향)되어 고정된 고정 스톱퍼로 트레이가 El스톱퍼에 의해 멈춰질때까지 이동하고, 12) El 스톱퍼에 의해 멈춰진 트레이는 트레이가 놓여진 위치의 트레이 방향 전환용 로테이터에 의해 올라가고 이후 로테이터가 90° 회전하고 다시 상승되었던 로테이터는 하강하고, 13) 자동수납장치와 로테이터의 사이에 있는 트레이 반송용 팬벨트가 구동하여 빈 트레이를 자동 수납장치로 반송시키고, 14)반송된 트레이는 센팅된 트레이 고정스톱퍼 위에 고정되고, 15) 한편 "5 단계"의 동작이 진행됨과 동시에 빈트레이 탑재장치는 센서의 작용에 의해 하단의 펄스스탭모터가 동작하여 상단에 위치해 있는 트레이를 센서의 높이까지 끌어올리고, 16) 펄스 스탭모터의 동작으로 상승한 트레이는 좌,우측의 트레이 고정용 스톱퍼가 에어실린더의 상하운동을 행함에 따라 최상단에 고정되고 "4"∼"10" 단계를 다시 반복하고, 17) 최초의 트레이는 스톱퍼 El에 의해 정지되었지만 그 뒤를 이은 "16단계"를 이용한 두번째 트레이는 스톱퍼 E2의 온(ON : ↑방향)되면 다음칸의 자동수납장치에 탑재된 준비를 하고, 18) 시이쿼퀸스 "12"∼"17" 단계를 4회 반복하여 상단부의 자동수납장치에 빈트레이가 모두 탑재되고 이어 다시 같은 시이퀸스를 동작하여 하단부의 자동수단장치에 빈트레이틀 모두 탑재시키고, 19) 이후 테스트가 진행되고 디바이스로 자동수납장치가 모두 채위지면 "4 ∼15" 단계를 진행하면서 빈트레이를 자동수납장치에 탑재하고, 이때 디바이스로 가득 한 트레이는 자동수납장치 하단의 펄스스텝모터 구동에 의해 밑으로 내려보내고 20) 테스트가 완료되면 수평핸들러의 테스트 완료 시그널에 의해서 각 자동수납장치는 물론 빈 트레이 탑재장치도 최하단 트레이까지 위로 상승하는 단계로 이루어지는 반도체 디바이스 자동 수납 방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.